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1、化学供应系统介绍,2012年8月16日,化工厂化学供应系统课件,目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍,目录:,1.总述：化学品供应系统位于G07的酸碱/有机溶剂房中，为G07的生产设备提供生产原料化学品。,酸碱/有机溶剂房,化学品按照性质分类：1） 酸碱液体2） 有机溶剂,控制系统分为：1） 化学品供应系统2） 化学品泄漏报警系统以上二个系统整合为化学控制系统,化学品供应系统,1.总述：酸碱/有机溶剂房化学品按照性质分类：控制系统分为：,目录:1.系统目的2.化学品的
2、种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍,目录:,2. 厂务集中供应的化学品种类：,酸碱类化学品一共有9种，位于G07酸碱化学房间,有机溶剂类化学品一共有4种，位于G07有机溶剂房间,化学品供应系统,2. 厂务集中供应的化学品种类：化学名称中文名称化学品性质V,EBR,DEV,I2+KI,HCL,G07一楼核心区域化学品VMB分布区域图：,化学品供应系统,H3PO4,BOE,H2O2,NH4OH,IPA,NMP,DEV,EBR,H2SO4,HF+HNO3,Remover,离子注入区晶圆开始化学实验室搬
3、运通道进料检验区出货检验区EB,目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍,目录:,化学供应系统,取样口,G07二楼,机台,G07一楼,G07一楼酸碱/有机溶剂房间,过滤器,化学隔膜泵,照明灯,化学品桶,气液分离器,取样口,Piping(1)PFA&C-PVC(2)SUS316-EP,T-BOX,取样口,3.化学系统流程图(一),有机类：酸碱类：化学供应系统取样口G07二楼机台G07一楼G,I2+KI溶剂供应流程图：,化学系统流程图（二）,化学品供应系统,I2+KI溶剂供应
4、流程图：化学系统流程图（二）化学品供应系统,TOOL机台,PLC,SCADA计算机,CDM化学供应柜,T-BOX,主管路,循环过滤25秒后供酸,化学品供液流程： 机台提出供酸需求，启动CDM（化学供应柜）循环过滤后，打开VMB（分阀箱）内气动阀，将化学品供应至机台。,化学品供应,供酸,VMB分阀箱,泄漏警报,化学系统流程图（三）控制系统,化学供应系统,信号传输,TOOL机台PLCSCADA计算机CDMT-BOX主管路,化学控制要点：1.房內需有UPS 电盘，并將化学品柜的信号连线至中控室。2.化学房及中控室设置紧急停止按鈕于中央监控系統上，在中控室的监控系統上可以关闭供应机台。3.化学控制室和
5、FMCS 系統上监控化学系统设备实施运行状态。,化学品供应系统,化学控制要点：设备种类检测项目控制系统化学供应柜运行状态、阀,目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍,目录:,H2SO4/H3P04 PID,4.化学设备PID图,化学品供应系统,H2SO4/H3P04 P,HCl/BOE/HF/DEV/NH4OH/H2O2 PID,化学品供应系统,HCl/BOE/HF/DEV/NH4OH/,I2+KI PID,化学品供应系统,I2,IPA/EBR/NMP/Remover
6、PID,化学品供应系统,IPA/EBR/NMP/Remover PID化学品供应系统,目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍,目录:,5.酸碱CDM（化学供应柜）外观构造,三色灯,控制柜,设备配套管路,酸桶柜,CDM正面,酸桶柜内部,链条挂钩,抽风口,链条,照明灯,滑轮,波纹管,接头,控制柜正面,控制柜侧面压力表,空桶状态指 示灯按钮,备用状态指 示灯按钮,蜂鸣器静音按钮,EMO紧急停机按钮,触摸屏,PN2气源压力,隔膜泵气源压力,气动阀气源压力,化学品供应系统,5.酸
7、碱CDM（化学供应柜）外观构造 三色灯控制柜设备配套,化学品取样口,过滤器,气动隔膜泵,控制柜压力表,有机溶剂CDM外观构造,CDM正面,CDM侧面,CDM内部正面,酸桶柜,控制柜正面,空桶状态指示灯按钮,备用状态指示灯按钮,蜂鸣器静音按钮,EMO紧急停机按钮,触摸屏,化学品供应系统,化学品取样口过滤器气动隔膜泵控制柜压力表有机溶剂CDM外观构,应急培训,酸碱供应设备（参考图）,酸碱供应柜（参考图）,有机溶剂供应柜（参考图）,I2+KI储罐（参考图）,化学品供应系统,应急培训酸碱供应设备（参考图）酸碱供应柜（参考图）有机溶剂供,应急培训,酸碱VMB (参考图),有机溶剂VMB (参考图),有机
8、溶剂供应柜(参考图),T-BOX (参考图),化学品供应系统,应急培训酸碱VMB (参考图)有机溶剂VMB (参考图)有机,目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍,目录:,箱体内侧下方装设泄漏侦测器,Drain Port,inlet,To Tools,CDA inlet,Drain Port,Exhaust,气动阀,手动阀,4,1,3,2,1.箱体以PP/SUS制成2.CPVC/SUS外盖3.箱体与外盖间以密封 条密合4.管件以PFA/SUS316L -EP材质制成,6
9、.VMB构造,化学品供应系统,箱体内侧下方装设泄漏侦测器Drain PortinletT,目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍,目录:,主管路,主管路,VMB,Drain Port,手动阀,箱体内侧下方装设泄漏侦测器,1.箱体以PP/SUS制成2.CPVC/SUS外盖3.箱体与外盖间以密封条密合4.管件以PFA/SUS316L-EP材质制成,化学品供应系统,7.TEE-BOX构造,主管路主管路VMBDrain Port手动阀箱体内侧下方装,应急培训,酸碱VMB (参考
10、图),有机溶剂VMB (参考图),有机溶剂供应柜(参考图),T-BOX (参考图),化学供应系统,应急培训酸碱VMB (参考图)有机溶剂VMB (参考图)有机,化学系统主要材料介绍：,化学供应系统,气动隔膜泵（参考图）,过滤器外壳（参考图）,滤芯（参考图）,气动隔膜阀（参考图）,化学系统主要材料介绍：化学供应系统气动隔膜泵（参考图）过滤器,应急培训,酸碱管路（参考图）,PFA-Tube（参考图）,Clear-PVC（参考图）,化学品接头材料（参考图）,化学供应系统,应急培训酸碱管路（参考图）PFA-Tube（参考图）Clea,目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PI
11、D图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍,目录:,辅助系统流程图CDAN2UPWEXHDrain,化学品供应系统,辅助系统流程图化学品供应系统,酸碱房辅助系统流程图,化学品供应系统,酸碱房辅助系统流程图化学品供应系统,成都嘉石：有机房辅助系统流程图,化学品供应系统,成都嘉石：有机房辅助系统流程图化学品供应系统,CDA,作用：CDM和VMB中的气动阀、气动泵等的动力源。工作压力：气动阀：3Bar-4Bar； 气动泵：3Bar-5Bar；管路材质：SUS316L-BA 。管路配置：1.CDA管路进化学房1米，预留截止阀 。 2.进口安装5过滤
12、器。 3.接每台CDM或VMB的CDA管路配置阀门。,UPW,作用：水枪、管路Flush用。管路材质：HP-PVDF ；管路配置：1.界面：供回水管路进化学房1米，预留截止阀 。 2.UPW用于药液稀释和冲洗管路，需将UPW供回水接至CDM进口处。 3.接每台CDM 的UPW管路配置阀门。 4.有机溶剂化学品不需配置UPW。 5.特殊化学品不能使用UPW，如：H2SO4系统不能UPW冲洗管路。,化学品供应系统,CDA 作用：CDM和VMB中的气动阀、气动泵等的动力源。U,作用：用于气枪、Drum氮封、KOG箱和管路Purge。工作压力： 气 枪： 2-3Bar。 氮 封：1Bar。 电 箱 P
13、urge: 系统压力，配节流阀 管 路 Purge: 2-3Bar，配单向阀 管路材质：SS316L-EP； 管路配置：1.界面：管路进化学房1米，预留截止阀 。 2.接每台CDM的N2管路配置阀门。,PN2,化学品供应系统,作用：用于气枪、Drum氮封、KOG箱和管路Purge。PN,EXH,作用：将CDM内含化学品空气抽走，保持设备内新风环境。通常工作压力范围：130Pa-250Pa。 分类及管路材质： 酸性排风：PP； 碱性排风： PP； 有机排风：SS304。管路配置：1.界面：管路进化学房1米，预留风阀 。 2.接每台CDM或VMB的管路配置阀门。 3. 排风系统不能混接，特别是酸性
14、排风和有机排风不能混接。 4.主管须有5的坡度，最低点接排水管，接至 废液收集盒。 5.保证每台CDM 每分钟换气2-3次。,化学品供应系统,EXH作用：将CDM内含化学品空气抽走，保持设备内新风环境。,Drain,作用：排除设备内积液、管路排液。通常工作压力范围：CDM至废液收集盒采用重力排。分类及管路材质：,化学品供应系统,Drain作用：排除设备内积液、管路排液。酸性排水碱性排水有,目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.运转化学品注意事项,化学品供应系统,目录:化学品供应系统
15、,1.充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性，危害标示，危害途径及防护措施。2.工作前，先行思考及演练各细节后，再行动。3.工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认。4.严格按照作业指导书进行操作，两人互相检查。5.正确选用及使用适当防护器具。6.正确处理化学品废弃物，避免造成后续伤害。7.良好个人安全卫生环保习惯。8.认知工作安全”意外”意识。,运转操作注意事项（一）,化学品供应系统,1.充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性，危害标示,熟知化学品泄漏处理七项步骤 远离泄漏源辨示泄漏状况寻求协助支持管制隔离污染区拯救伤员围堵外泄物清除污染物及环境检测事故调查记录留存熟知化学品淋
16、溅烧伤之急救处理稀释、去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质自救-救人前应先保护自己冲-清水不断冲洗至少15分钟脱-边冲边脱并避免二次伤害支持-请求支持成立紧急处理ERT 对HF时-须不断地涂抹葡萄酸钙(涂抹-按摩-擦净-涂抹)送-尽速送医,运转操作注意事项（二）,化学品供应系统,熟知化学品泄漏处理七项步骤,熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理原则 1.维持呼吸，血液循环，维持患者生命2.减轻患者病痛，促使其能早日康复呼吸道 1.离开污染区(避免自己或其它人再受污染)2.喊叫，打电话求救，请求支持3.确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医消化道食入 1.喊叫，打电话求救，请求支持2.催吐(若昏迷，意识不清或误食腐蚀性物质，则不得催吐)3.确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医眼睛接触 1.迅速翻开眼睑，清水轻洗15分钟以上，立刻送医,运转操作注意事项（三）,化学品供应系统,熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理 运转操作注意事项（,应急培训,连接酸桶,更换化学品（一）,更换化学品防护服,叉酸车,化学品供应系统,应急培训连接酸桶更换化学品（一）更换化学品防护服叉酸车化学品,谢谢！,谢谢！,
