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1、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,主编：加工平台范亚明,特气系统安全培训,目录,1. 气柜概述,2.自动气柜安全配置,3.系统参数含义及作用,4. 气柜的安全性能,5. 常见故障及处理方法,特气系统培训,Gas Cabinet的用途实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机台制程使用,满足生产用气要求.为保证供气的联系性,一般左右盘面均为独立的操作执行体.能够在保证一边供气的前提下,另外一边实现Purge, 更换钢瓶,并直至到Standby. 等待被自动切换当另外一边气体被用完后.可以实现跟
2、VMB, Scrubber 等设备的联动根据客户的要求.,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,NH3&SiH4Psi-pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,特气系统培训,硅烷和氨气主要在太阳能生产上用于等离子化学气相沉积(PEVCD) 之中.等离子化学气相沉积(PEVCD)：PEVCD被使
3、用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在300-900的温度下通过化学反应产生Si3N4的过程。典型的化学反应为：SiH4 + NH3 Si3N4 + NH3 + N2,全自动气柜安全配置,Fire Sensor(火焰侦测)High Temp Sensor(高温传感器)Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置)Sprinkler(喷淋装置)Seismic Detector(防震探测器)Gas Leak Detector(毒气侦测器),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,Fire Sensor(火
4、焰侦测)定义:此设备是针对一些易燃气体,易爆气体或因为其他原因而设工作原理:当气柜里面有火焰时气柜内部会有个超声波检测模块(UV-TRON)探测到一个特殊的频段,产生报警信号,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,High Temp Sensor(高温传感器)定义:此设备的目的是为了防止气柜内部温度过高而导致危险工作原理:这是一个双金属开关,它由两个受热膨胀绿不同的金属片组成,从而控制电信号开关.规格:工作温度是72,超过72度便产生报警信号.,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suz
5、hou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,Auto Guard(钢瓶接口处的安全装置)定义:这个装置的目的是为了保证换钢瓶的安全.为了防止在没有进行换瓶前吹扫便把钢瓶卸下从而导致毒气泄漏.工作原理:这是一个气动装置.装置内部有一个控制开关的电磁阀.这个装置保证了钢瓶接口处的安全,操作者无法轻易卸下钢瓶接口,除非是在安全流程下才会打开此装置,允许操作者卸下接口,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,Sprinkler(喷淋装置)定义:当气柜
6、内部由于火焰或其他原因导致内部温度超过72时喷淋启动工作原理:当气柜内部温度上升到一定极限(72)时消防水便会被开启,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,Gas Leak Detector(毒气侦测器) 定义:此设备是侦测大气中毒气含量的装置,根据所设定值来产生报警工作原理:公司常用的是电化学式的侦测器,通过采样管从气柜风管里抽取少量气体从如侦测器分析毒气含量,之后排出大气.(采样管必须接在排气管的下面)安装:可以采集气柜内部的气体进行分析,也可以采集环境中的气体进行分析,中国科学院苏州纳
7、米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,特气系统培训,各零部件的简图及名称,气柜阀门及零件概述,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,气柜运作流程图,供电 参数设定 传感器校零 END 泄压吹扫 PT1设定值 负压保压 供气 前吹扫 后吹扫 换瓶 正压保压,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,系统参数含
8、义及作用(1),系统参数含义及作用(2),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,系统参数含义及作用(3),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,系统参数含义及作用(4),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,气柜的安全性能(1),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou In
9、stitute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,气柜安全性能(2),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,常见的故障及处理方法(1),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,常见的故障及处理方法(2),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,常见电信号故障
10、及处理方法,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,报警提示及相应设备的状态(1),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,报警提示及相应设备的状态(2),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,报警提示及相应设备的状态(3),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Instit
11、ute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,报警提示及相应设备的状态(4),中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics，CAS,特气系统,意外泄漏应急处理SiH4: 1.切断泄漏气源，隔离泄漏钢瓶 2.如果以上不能做到，让钢瓶原地泄放燃烧 NH3: 1.撤离受到影响区域，移走所有能燃烧物品并进行最大限度的防爆通风，如有可能切断气源，隔离泄漏钢瓶，氨气可用喷淋水控制。 2.所有人员都应良好保护，在氨气浓度小于50ppm（百万分之50）且氧气浓度大于19.5%的情况下，人员在无SCBA(正压式呼吸器）的情况下进入。 CF4:1.撤离泄漏区域，加强通风，测氧气含量 2.使用SCBA切断气源，隔离钢瓶,& Finally,Thank you !,
