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1、清洗晶硅用高纯水设备,技术资料来源于莱特莱德上海高纯水设备工程公司,概述,现在的多晶硅行业发展很是迅速,带动的越来越多的多晶硅行业的兴起。多晶硅的用水很严格,用水的标准要符合电子级的用水标准,要符合纯水标准,美国SEMI的标准。针对这样的考虑,研发了一套针对多晶硅行业的清洗用高纯水设备。这套设备采用了反渗透技术,高效去除水中的细菌,病毒等。,工艺大致分成以下几种,1、采用离子交换方式,其流程如下:原水原水加压泵多介质过滤器活性炭过滤器软水器精密过滤器阳树脂过滤床阴树脂过滤床阴阳树脂混床微孔过滤器用水点。,工艺大致分成以下几种,2、采用两级反渗透方式,其流程如下:原水原水加压泵多介质过滤器活性炭
2、过滤器软水器精密过滤器一级反渗透PH调节中间水箱二级反渗透纯水箱纯水泵微孔过滤器用水点。,工艺大致分成以下几种,3、采用EDI方式,其流程如下:原水原水加压泵多介质过滤器活性炭过滤器软水器精密过滤器一级反渗透主机中间水箱中间水泵EDI系统微孔过滤器用水点。,性能优势,1、可连续,稳定地生产高品质纯水,无需因树脂再生而停机。2、无污染物排放,既环保又省去了废液处理的投资。3、设备结构紧凑,占地面积小,节省空间,同时还具有节能优点。4、出厂完成装置调试,现场工作量小,上岗培训容易。5、日常保养,操作简单,劳动强度低。6、脱盐率大于99.9%,效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换。,应用广泛,在很多企业的不同生产环节需要用到水质标准也不相同,例如在电子工业中清洗用水的水质要达到高纯水的标准。高纯水设备出水达标所以能广泛用于微电子工业,以及半导体工业、发电工业、制药行业和实验室。,