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1、-,Page 1,-,Page 2,机械轴承式分子泵,磁悬浮轴承式分子泵,分子泵的发展历史,-,Page 3,在分子流状态下工作，使用机械动能，将气体分子定向压缩、流动的真空泵。,分子泵的定义,-,Page 4,分子泵的分类,一.从转子结构特征上区分,-,Page 5,-,Page 6,分子泵的分类,-,Page 7,-,Page 8,分子泵的基本特征,1.运行时泵内涡轮回转的高速性 通常其泵内转子工作时的回转速度为10000 60000rpm；最高可达到90000rpm.其泵的叶片 顶端线速度通常在200m/s以上。所以运行时如 果有异物进入或在进气、排气方向有超出其许容 范围的突变气压，都
2、将造成泵本体的损坏。有些 甚至是不可逆转的。,-,Page 9,2.高真空性能 通常其泵的真空压可以到达103 109 pa,3.组合性 在真空系统中，分子泵通常必须同辅助泵（干泵、油旋转真空泵）组合后才能运行。（如下图）,-,Page 10,分子泵的内部结构,-,Page 11,-,Page 12,分子泵的系统组成（泵本体）,-,Page 13,分子泵的系统组成（在真空系中）,V3,V2,V1,-,Page 14,分子泵的工作原理（一）,一。按气体分子理论,1.在正常的大气压下。每cm3空间气体分子为2.5-E19，此时其压力为760Torr=101325Pa2.大气环境下由于空间的气体分子
3、密集，各气体分子间的平均自由程MFP仅为0.07微米，因而气体为粘滞流状态，气体分子几乎是在原地振动。,-,Page 15,分子泵的工作原理（一）,1.随着真空度的提高，单位体积内气体分子的数量逐渐减少，MFP变大。当真空度达到1X10 3Torr之后，其MFP接近5cm.气体分子呈现出“分子流状态”,一。按气体分子理论,-,Page 16,分子泵的工作原理（一）,-,Page 17,分子泵的排气原理（一）,a,b,a,-,Page 18,分子泵的排气原理（一）,-,Page 19,在泵内堆积的生成物。,生成舞易堆积区,-,Page 20,分子泵的轴控制原理,五轴控制原理图,-,Page 21
4、,分子泵的轴控制原理,增幅回路,补偿回路,检出回路,高频发生器,径向位置检知Sensor,轴向位置检知Sensor,X2-Y2检测平面,X1-Y1检测平面,Z检测平面,控制器,-,Page 22,分子泵的N2 PURGE.,分子泵N2 purge回路 与主pumping回路,-,Page 23,TMP PUMP 启动顺序,-,Page 24,机械轴分子泵泵内结构图,马 达,陶瓷轴承,推进叶片,-,Page 25,机械轴承分子泵的Grease up,底部,上部,-,Page 26,泵的轴承为什么会失效?,润滑不足- 太多- 太少- 污染载荷过大:- 不对中动平衡不好- 轴弯曲- 等.安装和操作的不当老化,-,Page 27,
