氦质谱检漏原理ppt课件.pptx

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1、 喷吹法-确定漏孔位置2、 吸入法确定漏孔位置3、 钟罩法测总漏率4、 背压法测总漏率,1.漏点型（定性）：确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置喷氦法（抽真空 喷氮 检测）-注意方向 2.漏率型（定量）：不确定检测器件的漏点或漏孔的位置和数量，只是计算漏率（在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量 ）,