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1、烧结炉培训材料一、 功能及用途此烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有质成分、完成铝背场及珊线烧结。硅片在炉中，上、下两面能同时烧结，烧结过程如下：l 对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干；l 去除浆料中的有质粘结剂；l 铝背场及珊线烧结二、 烧结炉结构炉体分为三个部分：l 烘干区烘干区包括四个加热区：ZONE 1、 ZONE 2、 ZONE 3、 ZONE 4，其中ZONE 4 为对流加热区，位于其它三个温区上部，每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝，ZONE1至ZONE 3（115v 830w）。ZONE 4（230v,700w）。加热温度可设置到500摄氏度，但过程温度不应超过30
2、0摄氏度。l 烧结区烧结区包括六个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE 4、ZONE 5、ZONE 6，ZONE 14 为预烧结区，ZONE 5 和 ZONE 6 为主烧结区，加热元件为近红外线加热管，其中14区加热管功率为1600W，5、6区加热管功率为2700W，每个温区温度单独可调，14温区温度可设置到700摄氏度，5、6温区可设置到摄氏1050度。l 冷却区冷却区采用水冷，给水温度大约在2025摄氏度范围内。烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛，通过风帘隔离，隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。 除了上述三个主要部分外，在炉体头部有上料区，
3、在尾部有下料区，外加一个单独的冷凝器，冷凝媒介为冷却水。三、 CAN控制系统构成 l 传动电机调速系统传动电机采用三相异步电机，速度调节是采用闭环变频调速，控制框图如下：l 温度控系统温度控制采用PID控制，系统构成控制框图如下：l 冷却系统l 排风系统冷却系统和排风系统很简单，都采用开环系统。四、 操作l 开机步骤i. 慢速开启冷却水主给水阀，给烧结炉供水。通常各管道给水阀和流量已设定好，勿需调节。 ii. 慢速开启压缩空气主阀，炉子提供过程气体，同时给各气缸提供压缩空。 通常各管道流量已设定好，勿需调节。iii. 将主电源开关拨到“1”，开启主电源。iv. 启动PC，等待机器完成自检和监控
4、程序装入。v. 将“Drive On”拨到“1”，“Drive PC/Manual”拨到“0”，将“Heating FF”拨到“ON”，将“HEATING HTO”拨到“ON”。 vi. 点击启屏幕上“Drive on/off” 收音开关，并按确认收音键，启动传送带。vii. 如果有设置好的升温程序，顺序装入，使炉子逐步升温到过程温度。如果没有，则手动设置，每200度为一阶，逐步升温到过程温度。第一次装入后，需点击加热收音开关，开始加热。viii. 根据工艺要求调整工艺参数，只需调整各温区温度和带速设定值。当过程值达到设定值后，机便处于就绪状态。l 关机步骤关机步骤则与关机步骤相反，需注意：当
5、炉温降到100度左右时，方可将传送带停下。 五、 预防性保养l 定期清洗主给水过滤器。l 定期吹洗HTO空气过滤器。l 定期清洗传送带。l 定期清洗气体流量计。l 定期检查并调整传送带长度。l 定期检查并清洗文丘利喷嘴。六、 故障诊断与修复监控程序几乎可以定位所有故障，当故障发生时，报警系统会发出声光报警，并可能停炉。可打开“Alarm” 标签，察看报警信息，判断故障位置，分析故障原因，并排除故障。常见的故障报警及处理：l 空气流量过小或过大，空气压力不稳。提请设施部作解决。l 压缩空气中有大量水份和油份，加大流量，排除积累在流量计中的水份，同时提请设施部设法滤去压缩空气中的水份和油份。l 冷凝器排风量过小，开大风门，同时提请设施部加大抽风量。l 冷却水温度过高，提请设施降低水温。l HTO过滤器堵塞，用风枪吹洗过滤器。l 传送带过长，调整链带长度。l 温度超出设定充许范围，检查设定值是否合适，并件适当调整。l 加热管烧断，更换加热管。l 固态继电器，更换继电器。
