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1、微光学元件的复制技术,表面浮雕衍射光学元件,表面浮雕衍射光学元件(DOE)是利用衍射光学效应来实现其消色差,提高成像质量的一类浮雕光学元件。 光刻胶作为记录介质,实现了高衍射效率,深槽,表面浮雕的微观结构制作。 在热压印的情况下,深槽,高纵横比的立体全息图不能真实地再现;并在模制的紫外线固化液体树脂的情况下,在模具的深槽仍滞留紫外线固化树脂的残基。无法实现高的复制效率。,干性光聚合物紫外成型压模(DPE)技术,1948年在杜邦公司的实验室,第一个实用的干光聚合物由Louis Plambeck 博士发明。此后各种干光聚合物薄膜对不同的应用进行了商业化。如杜邦公司的产品Dycryl,Lydel,R
2、iston,Cromalin,Cyrel,是全球知名的贸易商标。杜邦公司为实现对高衍射效率效,深槽、表面浮雕形的微光学元件高复制效率。推出了一种复制高衍射效率、高纵横比的浮雕形光学元件的干性光聚合物SURPHEXTM。,干性光聚合物SURPHEXTM,光聚合物成分在光敏聚合物层的重量比:干性光聚合物SURPHEXTM应用于高衍射效率、浮雕形微光学元件的干性聚合物还包括其他成分,如增塑剂,抗氧化剂、荧光增白剂,紫外辐射吸收材料,热稳定剂,氢供体和脱模剂。,干性光聚合物SURPHEXTM,几类干性光聚合物SURPHEXTM说明和潜在应用:,干性光聚合物SURPHEXTM膜的性能,SURPHEX膜厚
3、度为25m紫外到近红外的透射光谱,干性光聚合物SURPHEXTM膜的性能,厚度为25m的SURPHEX固化膜的红外透射光谱,可见SURPHEXTM膜在波长5002000nm范围内透过率为98一99,在2.525m范围也具有较高的透过率。所以,复制的微透镜可以应用于可见光、红外波段,透射性能良好。,干性光聚合物SURPHEXTM膜的性能,SURPHEX固化膜差分扫描热量曲线,SURPHEX固化膜差分扫描热量曲线分析,-40C至+105C固化SURPHEX膜之间的热稳定在+110C DSC薄膜样品开始软化在+145C,它成为微褐色,这可以归因于膜的153.57下的分解,DPE复制技术的工艺流程,首
4、先在基底上压制SURPHEXTM膜,并去掉其表面的保护层;然后进行压模使SURPHEXTM膜和印章紧密的结合在一起,压力大小与优化记录在压模的槽的宽/深比有关;再对其进行紫外光曝光,5-15秒左右;最后把印章和复制好的元件进行分离。,干性光聚合物SURPHEXTM复制品性能,复制品质量测试实验DPE复制品在高速电机光学调准,通过电视监视器上观看交叉扫描点位置(200倍放大)。复制品在10.000 rpm的速度,在35下200小时恒温封闭箱每隔24小时测量下面数据,同时保持激光二极管和激光器温度常数:1、目视检测DPE的复制品的物理变化;2、三个方向点大小(微米); 零度或交叉扫描45度(顺时针方向)90度或在扫描3、衍射效率4、点移动量,干性光聚合物SURPHEXTM复制品性能,SURPHEXTM复制品性能测试结果,干性光聚合物SURPHEXTM复制品性能,SURPHEXTM复制品加速寿命测试结果,谢谢,