NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程.docx

《NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程.docx（6页珍藏版）》请在三一办公上搜索。

NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程TCO涂层玻璃玻璃磨边机玻璃清洗第一次激光刻划玻璃清洗负载气体箱 玻璃衬底 动力梯 负载箱气体箱 负载箱 预热炉非晶/微晶沉积的PECVD系统冷却炉涂敷薄膜硅的玻璃衬底二次激光刻划ZnO/Al Ag沉积溅射系统三次激光刻划层压6