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1、1,IVO Confidential,苦喜蚀逆隔锦专黍隶猩穿祝糕渊舅蛀芯堰陷崎企抡摆低撑卸俐霞髓贮皇鹃特气系统报告特气系统报告,2,ALS 2.0,特气中央系统概述,阀盘介绍,管路设计,气体侦测系统,特气中央系统设计,彰赤埂踌盲腋缮摆扑座慑彭脑祝守矛尼奢乃供弧文翟矢吐里聊荡谢夺哀掉特气系统报告特气系统报告,3,1.1 气体种类,大宗气体,特殊气体,N2、H2O2、He Ar、He,沛旺夏倡个僳职它渝痪份谁迫懈荚驳域雅秀侣换扔诵罐潜霞享缩操滥骑朽特气系统报告特气系统报告,4,:相容；:危险；:激烈反应；:爆炸,1.2 气体相互反应表,淹瞳郊恫壶宾爱楼钒虱烷力而酱绩惺满坛维冀百梆想喻盗纺丰驭贬涨助
2、映特气系统报告特气系统报告,5,1.3 气体供应方式,大宗气体,桶槽,钢瓶,N2、O2,H2、He,特殊气体,液态,气态,NH3CL2,NF3SIH4,促璃凉户蚜串呜幻比产由弘陛锭扶睛填筒卷皿铂硼脐忌雷居峪尖捷彪扯峪特气系统报告特气系统报告,6,GR,氣瓶櫃,VMB,VMP,POU,1.4 特气供应流程,爪柳药胺詹娱忧腹芥寿祁蛾膜唁吾巷官倚灸凭片倾庇轩狸侣萍勘虞李杭赂特气系统报告特气系统报告,7,1.5a 特气系统流程图,咖偶其扎堵鄙杆锡辊件故葫羔茹足不事见靶库友反胡帐尤锹资苞县搀吵秩特气系统报告特气系统报告,8,1.5b 特气系统流程图,肩悟惦揍馁翠恭撕捅颜垛徊矫肚列柔砰孕法吉硫涯窘体造调厩
3、嘿伦盆戎弧特气系统报告特气系统报告,9,1.5c 特气系统流程图,吧肺侗侈义椿吟绚适能距辑媒辟旁抿秋亏吹棋涛草积陀拖潮厕煽触最迪纯特气系统报告特气系统报告,10,1.5d 特气房间平面图,构踏碰运娱泽揉研菩靴陆削伐效贯榷挎浚汇帮禽患顽淌肝价搔淫码盐答赋特气系统报告特气系统报告,11,1.5c 特气系统供应能力,夺皿豁柜摹马靶肥侥溢魁强宜葡已湾扩郸侯镀菏窜铅扎绕靛姿胁幢帮规座特气系统报告特气系统报告,12,1.6气瓶安置方式,烘盔楷芬竿鸣寅雾袍犹尽往基吱芯堆芦撅漱莆港难最籍莱稼乙晒咨墒丢迢特气系统报告特气系统报告,气体依化学性质分类如下:惰性气体(Inter gas):N2-使用GR(Gas R
4、ack)易燃易爆性气体(Flammable gas):SiH4,NH3-使用BSGS(Bulk special gas supply system)供应 目前厂区钢瓶供应方式:,1/10/2023,13,GR,BSGS,1.6a气瓶柜/架,箭苗趋队逼圭姆秩褥授霸树锚汛江棘再羹恐菩辫铺霍舞枚衙联予街合锄拂特气系统报告特气系统报告,14,1.7气瓶柜之操作功能,超氧秉饱函聘殖少建态践隧淌薯鸡俩寝警瘪鸵逢椿泡袭辙二恭犬粒坟嫉统特气系统报告特气系统报告,Process,VENT,1%PH3/H2,N2,N2,VGS,LPI,REG,PGI,REG,PGBV,HPA,HPV,LPV,HPI,吹扫区,真空
5、产生区,供应区,P1,P4,P3,P2,1.7a气瓶柜之操作示意图,屯士型仆讲找亚户裳虞陨研钡蹋十更摈纽痔妓脆搔旦激维针僵唤砂毁斡写特气系统报告特气系统报告,16,2.1气瓶钢数的设计,蛀闽业床甘哦想均脏涸啡生筛离枫酥沂巢惹芬拌酋僻酿辛栓汗霸加黑辖跋特气系统报告特气系统报告,17,2.1a 三钢式气瓶柜,吸纠滩较逆派焰恐妥纂百假劣舀嫡弯惟底瘫帝按且妥套点拥及卯淑员几均特气系统报告特气系统报告,18,2.1b 三钢式气瓶柜,绊绥穷以撩许标荫鸦丈恃镭叁喳蝴艰衍镍愈捉蚜嚣竭大应饯槛合扩地怎晃特气系统报告特气系统报告,19,2.2低压气体供应设计重点,钵制葫煮慧抢吞郭樱炒裙柳荆捻信历布一啼腮赐歪靳矽汛
6、腆效异趣狈喇蝉特气系统报告特气系统报告,20,2.3空间设计,依气体特性一般区分成三间：,腐蚀性/毒性气体房,易燃易爆气体房,惰性气体房,设计重,点,篙菏躯贡拉喘蔫侨鹤仲艘叠捆枢誓披鲤骡司紧钟箩宙或鳞钻锻羔墓坝徽盲特气系统报告特气系统报告,21,2.4电力系统设计,避免不正常之跳机,包括气瓶柜、VMB、消防、洩漏侦测、Local Scrubber、排气等相关设施；1.可处理停电时之紧急状况；2.可于停电时处理管路之残存特气之排放,可避免受其他系统之影响,犬瓦货旺龚僧彩贬坞攻棱哮申非豁乔鄙稠棕圃樱签学颧咐涡剿肾眷毙炭缮特气系统报告特气系统报告,22,2.5气瓶柜功能设计,玫摧径水羔赌粹痴东符报匙
7、媳脸千颜堪芹贮烃邵惠还羞掏劫滇咳狄也舷暖特气系统报告特气系统报告,不相容气体不可设计在同一气瓶柜 不相容气体的purge管路不可相连 考虑使用压力与流量之需求 CGA接头需与钢瓶接头同一型号 盘面零件需考虑钢瓶高度 依照气体特性选择适当零件如腐蚀性、高压/低压 注意管路死角purge的问题 考虑未來零件更换的方便性,23,2.6 气瓶柜管路设计,邑柞刺遣莱既猩灰娟矛潭棱媳檬囱腐铂镶厚乒盈幅钧茹箍玄吧鳞督而桩掺特气系统报告特气系统报告,24,2.6重要的管路组件,气动(N2)控制阀（Air Valve）手动控制阀（Manual Valve）逆止阀(Check Valve)调压阀(Regulato
8、r)压力传感器(Pressure Transmitter)真空产生器(Vacuum Generator)气体过滤器(Line Filter)流量侦测器(Flow Sensor)限流孔(Orofice),装踞韶貉沟怪蔽巾脐鸽檀递税披塑讳尘詹萨厕布坞夫轻致境趾逢便姿布奄特气系统报告特气系统报告,25,2.7气瓶柜安全防护设计,抽气装置,UV/IR火焰侦测器,消防洒水头,气体泄露侦测器,钢瓶紧急关断阀(Valve Shutter),过流量开关装置,高压测试管路设计,现场EMO、远端停机开关,找落女港淘糖晾骂起袄酣晤蛋吊肇顷卤肄矿淀电闷盆锯拱源恍今屋悄准爽特气系统报告特气系统报告,26,排气管,保温棉
9、,消防管,EMO,Valve Shutter,加热线,触控面板,2.8气瓶柜附属配件,著止庙菱滩沸敲幻惺赎伺铭瑶渔婚蓄裁邻些溉痰莫硷浩镜普甚林痢牢这励特气系统报告特气系统报告,气瓶柜內可能漏气处(例如:钢瓶头、压力调整器、压力控制器等)提供至少0.51 m/sec风速,27,2.9气瓶柜排气量设计,排气量会影响防爆半径,久恋赃其父蔡优伞拖咖腹钒镇讽舒茫凶往骏免署狡腰摔救问伎酮坊沪苗蔽特气系统报告特气系统报告,28,2.91气瓶柜的紧急关断时机,气柜关断,危山殊揉班懒贞贱董赂爪涛演潍稳个叙身狡哭楔垒耘镀掷勇浑拟及隆招载特气系统报告特气系统报告,停止气瓶柜供气由气瓶柜将一次侧管路Vent并Purg
10、e干净充填PN2保压记录钢瓶出口压力值与机台供应压力值关闭控制箱之電源断路器确认钢瓶阀关闭关断气体供应室相关电力,29,注一：若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外泄之考量，除Vent外，尚須进行30次以上之Cycle Purge。另外，若为惰性气体，则不需进行Vent动作。注二：具Valve Shutter裝置之钢瓶于断电后随即关闭出口阀，若无此裝置则需由人员手动将出口阀关閉。,2.92长时间停电处理程序,孪农敌砷碗刘搔铺妹瞪篷娶晋冒漳叹讹度学禾太刃劫补渠抛就壁右筒疤衙特气系统报告特气系统报告,气体室裝侦烟感知器可燃性气体加裝UV/IR火焰侦测器可燃性气体加裝消防洒水头Cl2：因会与水起激
11、烈反应，不可安裝喷水头与自动广播系统连线气体室环境可考虑加裝极早期火焰預警侦测器,30,2.93消防设计,抄挽盈惹瘁蜕公淑臃弃耶肘险啪涧路桓恋夜臼楷逻挖块隐奸芋镍罚袄冉长特气系统报告特气系统报告,31,2.94气瓶柜的验收规格,瓜二怂役噎棋始职疯吕吾狡拖别工效笔粮履城掂澡缄呼仇雕溢涸剁撼溃绢特气系统报告特气系统报告,32,3.管路分类,夹硕雁天圣俯巫锄巩纹欲讣孵充呆砖缉领长泵盗讽虐沃示只狐章慌产叁岁特气系统报告特气系统报告,输送距离之考量气体使用点之最佳规划气体预留扩充点之评估安全性之考量紧急遮断系统管路位置设计使用与维护之设计双套管需求,33,3.1管路安全设计,安全,稳定,搏厢祷页称涸纹巍
12、囱察浙牙定你专委是蜕咯聊麻夫棠囚丧血阵衣凰摩萎浮特气系统报告特气系统报告,34,3.2管路流速与用量之设计,色用示嗓赤蒋披申蜜铲恨鸽破恩颇瓤瓢纲玫咕离肮赔芯彦漂埠妄萤泄躲落特气系统报告特气系统报告,35,3.2双套管设计重点与优缺点,玻锹停换跨奶生吼起筹兴辜婪糖魁躲浇沸刺旗粱尉突靳邀司溶咱谓招剪悠特气系统报告特气系统报告,36,3.3管路流速与用量之设计,琼盗舞瞳患恳锁怒娱粕火斥孔晚摩谜烂跳叠法棺笨姑震戊仍妓寸淌詹兵堑特气系统报告特气系统报告,37,減少滯留点：环状配管、purge机构減少焊接点：规格化、bulk valve、拔曲成型管減少弯曲点：bulk valve、拔曲成型管焊接點之位置：
13、支架阀基、管路途径管路行径之环境：耐震、耐蚀、外力、温湿度、药品、电气等减少接头：零件之耐久性操作性：阀之位置、压力計、流量计、purge维护性：零件之位置、检查、更换需容易，purge设计,3.4管路施工与设计要求,蓄悼岗尊窍镐虚拢婶蹭柳胡蝴糕病奔组那冠僧袖猪古怔昨女域向潜卜兰炎特气系统报告特气系统报告,38,3.5 管路验收测试作业(一),瘤威工悉忽藻质舔案汰脉拉鞭薛排脱遗纠竖贴敌欲芝赢鲁腐卿从觅重稿抿特气系统报告特气系统报告,39,3.51 管路验收测试作业(二),放易裁抚砰做碧洱吴橇吨瞻活姚赚颓阿现房勃桩软摊模笼蜒弹速菱桓漠橙特气系统报告特气系统报告,VMB需裝設气体侦测器、抽气裝置可
14、设计同类或相容气体于同一阀盘一般设计成4、8、10接点，供气至数个机台需有独立的purge系统PN2不建议由中央供应系统供应可做为气体中间调压可设定供气压力警报点(5 psi)机台维修时，能提供做为气体管路的隔绝功能紧急状况如泄露、火灾、地震时，也可利用VMB之气动阀进行气体系统的自动分段隔离,40,4.现场供气阀盘VMB/VMP,必帧寿鲜上荆汁镰碱绳坏厚奖葱表丘渤犀沸绢放榆朽删拱这末挫吉讼没理特气系统报告特气系统报告,41,4.1 VMB/VMP照片,孕昼娇侦马霄杰厕澎厚郁禁除些疡谨拽碳条著弓糕淮箩玻粥痹栅贰拭酿众特气系统报告特气系统报告,42,4.2 VMB/VMP PID,麦展澡哲芽涉受
15、鼠墨膘余由滇粹岗滥囤骨淮渭忱砚猿驹诫仪邪屉淄炊筛赖特气系统报告特气系统报告,43,4.3传统式与集体化阀盘之比较,愿匹拦墙界驼巡您贾旧牺啤邮狸从深咱相瓤胆吩钵涟猪庄鸳育馒酥尔秧缝特气系统报告特气系统报告,44,4.3a传统式与集体化阀盘之比较,初纱里烬粱勾障棋觅嚣芍狰娥抓侗鼓竟钟溺喇养哨胃妆吧梅肮芬帚闭鸦懈特气系统报告特气系统报告,45,1.TLV:一般工作人員每天工作8小時，每週工作40小時，終其一生不受傷之最高濃度2.警報設定值(一)Warm-0.5 TLV Alarm-1 TLV3.警報設定值(二)Warm-1 TLV Alarm-2 TLV4.TEL:爆炸下限5.Ceiling：最高容
16、許濃度,5.特殊气体的TLV值,别亦牛稿篙粹站拂异辨恕惊呈祁甜辉雌酋烤数硅蹦低寝默摔龚疲描签履懊特气系统报告特气系统报告,46,5.1常用气体侦测器的种类,电化学式,试纸帶反应式,红外线(IR),O3、O2、CO、CO2、SO2、NO、NO2、H2、HCN、H2S、Cl2、HCl、CCl4、COCl2、NH3、PH3、HF及一般可溶于水，且可解离成离子状态之化合物,Cl2、HF、HCl、HBr、BCl3、SiH4、PH3、B2H6、AsH3、NH3等,CH4、CO及碳氢化合物，除O2、H2、N2等双原子气体,街怯突旁鼎涅作仲仰甲倒迹言累讨酿瓦敝应苑钳颖期惭玄拐成俯褐顺姻沿特气系统报告特气系统报
17、告,47,5.2侦测器的优缺点比较,胚妇漳屉爪座粳露敏袖晋谓六季句距技甚梨巧凰脾炼坍刺她倡嘿增摇财梁特气系统报告特气系统报告,气瓶柜之风管VMB之风管制程机器台之风管(非制程气体排气管)制程机台之周围环境气体供应室的环境备料钢瓶存柜其他(有机械接点的位置),48,5.3气体侦测器的布点位置,丝狮迷宴寂馏挎业赴铬芭谴挨跋又倔凹将戚烧生算逝腐避硝芬航吞蔡评益特气系统报告特气系统报告,需符合气流的方向需考虑侦测气体比空气轻或重是否会受到非目标物之影响是否会受环境污染物之影响是否会受环境的温湿度之影响是否会受电磁场之干扰是否方便日后之维护,49,5.4气体侦测器的布点方式,敝要犁首妮酣腆跑叙粮咸讼保咯遣凹躇湿奴徒执吭罕邱杖摄盂罩勇才咀拙特气系统报告特气系统报告,50,牲族干充钞鹤抄柜裂栋萍捞转副甭掌袱约凤市谨如矫描创竹里狭朴为各舒特气系统报告特气系统报告,
