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1、第4章 机电一体化检测系统,4.1 概述4.2 位移检测 4.3 速度、加速度检测4.4 力、扭矩和流体压强检测4.5 传感器前级信号处理4.6 传感器接口技术4.7 传感器非线性补偿处理思考题,4.1 概述,4.1.1 检测系统的组成(1)把各种非电量信息转换为电信号,这就是传感器的功能,传感器又称为一次仪表。(2)对转换后的电信号进行测量,并进行放大、运算、转换、记录、指示、显示等处理,这叫作电信号处理系统,通常被称为二次仪表。非电量检测系统的结构形式如图4-1所示。,图 4-1 非电量检测系统的结构形式,4.1.2 传感器的概念及基本特性1.传感器的构成传感器一般由敏感元件、传感元件和转
2、换电路三部分组成,如图4-2所示。,图4-2 传感器的组成框图,（1）敏感元件:是一种能够将被测量转换成易于测量的物理量的预变换装置,其输入、输出间具有确定的数学关系（最好为线性）。如弹性敏感元件将力转换为位移或应变输出。（2）传感元件：将敏感元件输出的非电物理量转换成电信号（如电阻、电感、电容等）形式。（3）基本转换电路：将电信号量转换成便于测量的电量,如电压、电流、频率等。,（1）线性度。传感器的静态特性是在静态标准条件下,利用一定等级的标准设备,对传感器进行往复循环测试,得到的输入/输出特性（列表或画曲线）。通常希望这个特性（曲线）为线性,这对标定和数据处理带来方便。但实际的输出与输入特
3、性只能接近线性,与理论直线有偏差,如图4-3所示。,图4-3 传感器的线性度示意图,线性度可用下式计算：式中：;L线性度(非线性误差)；max最大非线性绝对误差；yFS 输出满度值。（2）灵敏度。传感器在静态标准条件下,输出变化对输入变化的比值称为灵敏度,用S0表示,即,（4-1）,对于线性传感器来说,它的灵敏度S0是个常数。（3）迟滞。传感器在正(输入量增大)、反(输入量减小)行程中输出/输入特性曲线的不重合程度称为迟滞,迟滞误差一般以满量程输出yFS的百分数表示：式中:Hm输出值在正、反行程间的最大差值。,(4-2),(4-3),迟滞特性一般由实验方法确定,如图4-4所示。,图4-4 迟滞
4、特性,（4）重复特性。传感器在同一条件下,被测输入量按同一方向作全量程连续多次重复测量时,所得的输出/输入曲线不一致的程度,称为重复特性,如图4-5所示。重复特性误差用满量程输出的百分数表示,即式中:Rm最大重复性误差。重复特性也由实验方法确定,常用绝对误差表示,如图4-5所示。,(4-4),图4-5 重复特性,（5）分辨力。（6）漂移。由于传感器内部因素或在外界干扰的情况下,传感器的输出发生的变化称为漂移。（7）精度。精度表示测量结果和被测的“真值”的靠近程度。3.传感器的动态特性动态特性是指传感器测量动态信号时,输出对输入的响应特性。,4.1.3 信号传输与处理电路传感器信号处理电路内容的
5、选择所要考虑的问题主要包括：（1）传感器输出信号形式,如是模拟信号还是数字信号,是电压还是电流。（2）传感器输出电路形式,是单端输出还是差动输出。（3）传感器电路的输出能力,是电压还是功率,输出阻抗的大小如何等。（4）传感器的特性,如线性度、信噪比、分辨率。,4.2 位移检测,4.2.1 模拟式位移传感器1.可变磁阻式电感传感器典型的可变磁阻式电感传感器的结构如图4-6所示,它主要由线圈、铁心和活动衔铁组成。,图4-6 可变磁阻式电感传感器,当线圈通以激磁电流时,其自感L与磁路的总磁阻Rm有关,即（4-5）式中:W线圈匝数；Rm总磁阻。如果空气隙较小,而且不考虑磁路的损失,则总磁阻为,（4-6
6、）,式中:;l铁心导磁长度（m）；铁心导磁率（H/m）；A铁心导磁截面积（m2）,A=ab;空气隙(m),=0+;0空气磁导率（Hm）,0=210-7;A0空气隙导磁截面积（m2）。,由于铁心的磁阻与空气隙的磁阻相比是很小的,因此计算时铁心的磁阻可以忽略不计,故（4-7）将式(4-7)代入式(4-5),得,（4-8）,式（4-8）表明,自感L与空气隙的大小成反比,与空气隙导磁截面积A0成正比。当A0固定不变而改变时,L与成非线性关系,此时传感器的灵敏度为图4-7为差动型磁阻式传感器,它由两个相同的线圈、铁心及活动衔铁组成。当活动衔铁接于中间位置（位移为零）时,两线圈的自感L相等,输出为零。当衔
7、铁有位移时,两个线圈的间隙为0+,0-,这表明一个线圈的自感增加,而另一个线圈的自感减小。,（4-9）,图4-7 可变磁阻差动式传感器,图 4-8 可变磁阻面积型电感传感器,如图4-9所示,在可变磁阻螺管线圈中插入一个活动衔铁,当活动衔铁在线圈中运动时,磁阻将变化,导致自感L的变化。,图4-9 可变磁阻螺管型传感器,2.涡流式传感器涡流式传感器的变换原理,是金属导体在交流磁场中的涡电流效应。如图4-10所示,金属板置于一只线圈的附近,它们之间相互的间距为。（1）高频反射式涡流传感器。如图4-10所示,高频(1 MHz)激励电流i0产生的高频磁场作用于金属板的表面,由于集肤效应,在金属板表面将形
8、成涡电流。,图4-10 高频反射式涡流传感器,（2）低频透射式涡流传感器。低频透射式涡流传感器的工作原理如图4-11所示。,图4-11低频透射式涡流传感器（a）原理图；（b）曲线图,3.互感型差动变压器式电感传感器差动变压器式电感传感器是常用的互感型传感器,其结构形式有多种,以螺管型应用较为普遍,其结构及工作原理如图4-12（a）、（b）所示。,图4-12 差动变压器式电感传感器（a）、（b）工作原理;（c）输出特性,图4-13是用于小位移的差动相敏检波电路的工作原理。,图4-13 差动相敏检波电路的工作原理,图4-14是电感测微仪所用的螺旋差动型位移传感器的结构图。,图4-14 螺旋差动型传
9、感器的结构图,4.2.2 数字式位移传感器光栅由标尺光栅和指示光栅组成,两者的光刻密度相同,但体长相差很多,其结构如图4-15所示。它们是沿着与光栅条纹几乎成垂直的方向排列的,如图4-16所示。,图4-15 光栅测量原理,图4-16 莫尔条纹示意,光栅莫尔条纹的特点是起放大作用,用W表示条纹宽度,P表示栅距,表示光栅条纹间的夹角,则有若P0.01mm,把莫尔条纹的宽度调成10mm,则放大倍数相当于1000倍,即利用光的干涉现象把光栅间距放大1000倍,因而大大减轻了电子线路的负担。光栅测量系统的基本构成如图4-17所示。,(4-10),图4-17 光栅测量系统,滑尺表面刻有两个绕组,即正弦绕组
10、和余弦绕组,见图4-18。,图4-18 感应同步器原理图,圆盘式感应同步器如图4-19所示,其转子相当于直线感应同步器的滑尺,定子相当于定尺,而且定子绕组中的两个绕组也错开1/4节距。,图4-19 圆盘式感应同步器（a）定子；（b）转子,（1）鉴相式。所谓鉴相式,就是根据感应电势的相位来鉴别位移量。即uA=Umsint,uB=Umcost时,则定尺上的绕组由于电磁感应作用将产生与激磁电压同频率的交变感应电势。图4-20说明了感应电势幅值与定尺和滑尺相对位置的关系。,图4-20 滑尺绕组位置与定尺感应电势幅值的变化关系,滑尺在定尺上每滑动一个节距,定尺绕组感应电势就变化了一个周期,即 eA=Ku
11、Acos（4-11）式中:;K滑尺和定尺的电磁耦合系数；滑尺和定尺相对位移的折算角。若绕组的节距为W,相对位移为l,则（4-12）,同样,当仅对正弦绕组B施加交流激磁电压UB时,定尺绕组感应电势为e B=-Ku B sin（4-13）对滑尺上两个绕组同时加激磁电压,则定尺绕组上所感应的总电势为e=e A+eB=Ku A cos-KuBsin=KUm sint cos-KU m costsin=KUm sin(t-)（4-14）从上式可以看出,感应同步器把滑尺相对定尺的位移l的变化转成感应电势相角的变化。因此,只要测得相角,就可以知道滑尺的相对位移l：（4-15）,（2）鉴幅式。在滑尺的两个绕组
12、上施加频率和相位均相同,但幅值不同的交流激磁电压uA和uB。uA=Umsin-1sint（4-16）uB=Umcos-1 sint（4-17）式中:1指令位移角。设此时滑尺绕组与定尺绕组的相对位移角为,则定尺绕组上的感应电势为e=KuA cos-KuB sin=KUm(sin-1 cos-cos-1sin)sint=KUm sin(1-)sint（4-18）,4.3 速度、加速度检测,4.3.1 直流测速机速度检测图4-21所示为永磁式测速机的原理图。,图4-21 永磁式测速机的原理图,直流测速机的输出特性曲线如图4-22所示。,图 4-22 直流测速机的输出特性,4.3.2 光电式转速传感器
13、 光电式转速传感器是一种角位移传感器,由装在被测轴(或与被测轴相连接的输入轴)上的带缝隙圆盘、光源、光电器件和指示缝隙盘组成,如图4-23所示。,图 4-23 光电式转速传感器的结构原理图,根据测量单位时间内的脉冲数N,则可测出转速为（4-19）式中:;Z圆盘上的缝隙数；n转速(rmin)；t测量时间(s)。一般取Zt=6010m(m0,1,2,)。利用两组缝隙间距W相同,位置相差（i2+14）W（i0,1,2,）的指示缝隙和两个光电器件,就可辨别出圆盘的旋转方向。,应变式传感器加速度测试原理如图4-24所示,它通过测试惯性力引起弹性敏感元件的变形换算出力的关系,相关原理在后续内容中介绍。,图
14、4-24 应变式加速度传感器,1.压电效应及压电材料图4-25表示晶体切片在z轴和y轴方向受压力和拉力时电荷产生方向的情况。,图4-25 晶体的压电原理,2.压电传感器的结构及特性压电传感器一般由两片或多片压电晶体粘合而成,由于压电晶片有电荷极性,因此接法上分成并联和串联两种（如图4-26所示)。,图4-26压电传感器的并联、串联示意图(a)并联；(b)串联,3.压电传感器的应用压电加速度测试传感器的结构如图4-27 所示。,图4-27 压电加速度传感器的结构,4.4 力、扭矩和流体压强检测,4.4.1 力、力矩检测1.柱形或筒形弹性元件如图4-28所示,这种弹性元件结构简单,可承受较大的载荷
15、,常用于测量较大力的拉（压）力传感器中,但其抗偏心载荷和测向力的能力差,制成的传感器高度大。应变片在柱形和筒形弹性元件上的粘贴位置及接桥方法如图4-28所示。,图 4-28 柱形和筒形弹性元件组成的测力传感器,若在弹性元件上施加一压力p,则筒形弹性元件的轴向应变L为 用电阻应变仪测出的指示应变为=2(1+)L（4-21)式中:p作用于弹性元件上的载荷；E圆筒材料的弹性模量；圆筒材料的泊松系数；A筒体截面积,A=(D1-D2)+24。其中,D1为筒体外径,D2为筒体内径。,(4-20),2.梁式弹性元件（1）悬臂梁式弹性元件。它的特点是结构简单,容易加工,粘贴应变片方便,灵敏度较高,适用于测量小
16、载荷的传感器。图4-29所示为一截面悬臂梁弹性元件,在其同一截面正反两面粘贴应变片，组成差动工作形式的电桥输出。,图 4-29 悬臂梁式测力传感器示意图,若梁的自由端有一被测力p,则应变片感受的应变为电桥输出为USC=KU 0（4-23）式中:;l应变计中心处距受力点距离；b悬臂梁宽度；h悬臂梁厚度；E悬臂梁材料的弹性模量；K应变计的灵敏系数。,(4-22),（2）两端固定梁。这种弹性元件的结构形状、参数以及应变片粘贴组成桥的形式如图4-30所示。它的悬臂梁刚度大,抗侧向能力强。粘贴应变片感受应变与被测力p之间的关系为（4-24）它的电桥输出与式（4-23）相同。,图4-30 两端固定式测力传
17、感器示意图,（3）梁式剪切弹性元件。与梁式弹性元件相比,它的线性好、抗偏心载荷和侧向力的能力大,其结构和粘贴应变片的位置如图4-31所示。,图 4-31 梁式剪切型测力传感器示意图,粘贴应变片处的应变与被测力p之间的关系近似为（4-25）式中:G为弹性元件的剪切模量；b和h为粘贴应变片处梁截面的宽度和高度。3.扭矩测量图4-32所示为电阻应变转矩传感器。它的弹性元件是一个与被测转矩的轴相连的转轴,转轴上贴有与轴线成45的应变片,应变片两两相互垂直,并接成全桥工作的电路方式。应变片感受的应变与被测试件的扭矩MT的关系如下式：,图4-32 转矩传感器示意图,MT=2GWT（4-26）式中:G=E/
18、2（1+）为剪切弹性量；WT为抗扭截面模量,实心圆轴的WT=D+3/16,空心圆轴的WT=D3(1-+4)/16,=d/D,d为空心圆柱内径,D为外径。4.4.2 流体压强传感器1.膜式压力传感器它的弹性元件为四周固定的等截面圆形薄板,又称平膜板或膜片。其一表面承受被测分布压力,另一侧面贴有应变片。应变片接成桥路输出,如图4-33所示。,图4-33 膜式压力传感器,膜片上粘贴应变片处的径向应变r和切向应变t与被测力p之间的关系为 式中:;x应变计中心与膜片中心的距离；h膜片厚度；r膜片半径；E膜片材料的弹性模量；膜片材料的泊松比。,（4-27）,（4-28）,为保证膜式传感器的线性度小于3,在
19、一定压力作用下,要求 2.筒式压力传感器如图4-34所示,工作应变片R1、R3沿圆周方向贴在筒壁上,温度补偿应变计R2、R4贴在筒底壁上,并接成全桥线路。这种传感器适用于测量较大压力。对于薄壁圆筒(壁厚与臂的中面曲率半径之比120),筒壁上工作应变计处的切向应变与被测压力p的关系,可用下式求得：,(4-29),图4-34 筒式压力传感器,对于厚壁圆筒（壁厚与中面曲率半径之比大于120）,则有（4-31）式中:;D1圆筒内孔直径；D2圆筒的外壁直径；E圆筒材料的弹性模量；圆筒材料的泊松系数。,（4-30）,4.5 传感器前级信号处理,4.5.1 测量放大器图4-35为三个运放组成的测量放大器,差
20、动输入端U1和U 2分别是两个运算放大器(A1、A2)的同相输入端,因此输入阻抗很高。采用对称电路结构,而且被测信号直接加入到输入端上,从而保证了较强的抑制共模信号的能力。A3实际上是一差动跟随器,其增益近似为1。测量放大器的放大倍数由下式确定：,如果图4-35中左边两个运放采用7650,这将是非常优质的放大。,(4-32),(4-33),图4-35 测量放大器原理图,AD522主要可用于恶劣环境下要求进行高精度数据采集的场合。由于AD522具有低电压漂移(2V/)、低非线性(0.005，增益为100时)、高共模抑制比(110 dB,增益为1000时)、低噪声(1.5 V（P-P）,0.110
21、0 Hz)、低失调电压(100 V)等特点,因而可用于许多12位数据采集系统中。图4-36为AD522的典型接法。,图4-36 AD522的外围电路,利用数据防护端可以克服上述影响（如图4-37所示）。对于无此端子的仪器用放大器,如AD524、AD624等,可在RG2(如图4-40所示)端取得共模电压,再用一运放作为它的输出缓冲屏蔽驱动器。运放应选用具有较低偏流的场效应管运放,以减少偏流流经增益电阻时对增益产生的误差。,图4-37 AD522 的典型应用,4.5.2 程控增益放大器图4-38即为一利用改变反馈电阻的办法来实现量程变换的可变换增益放大器电路。当开关S1闭合,S2和S3断开时,放大
22、倍数为（4-34）而当S2闭合,而其余两个开关断开时,其放大倍数为（4-35）选择不同的开关闭合,即可实现增益的变换。如果利用软件对开关闭合情况进行选择,即可实现程控增益变换。,图4-38 程控增益放大器原理图,图4-39为AD521测量放大器与模拟开关结合组成的程控增益放大器,通过改变其外接电阻R的办法可实现增益控制。,图4-39由AD521和模拟开关构成的程控增益放大器,图4-40为AD524的结构原理图,其特点是具有低失调电压（50 mV）,低失调电压漂移（0.5 V/）,低噪声(0.3V（P-P）,0.110Hz),低非线性（0.003,增益为1时）,高共模抑制比（120dB,增益为1
23、000时,增益带宽为25MHz),具有输入保护等。从其结构图可知,对于1,10,100和1000倍的整数倍增益,无需外接电阻,在具体使用时只需一个模拟开关的控制即可达到目的；对于其他倍数的增益控制,也可用外接增益调节电阻的方法来实现,同样也可用改变反馈电阻与D/A转换器的结合、甚至改变其参考端电压的方法来实现程控增益。,图4-40 AD524原理图,4.5.3 隔离放大器 由于隔离放大器采用了浮离式设计,消除了输入、输出端之间的耦合,因此还具有以下特点：（1）能保护系统元件不受高共模电压的损害,防止高压对低压信号系统的损坏。（2）泄漏电流低,对于测量放大器的输入端无须提供偏流返回通路。（3）共
24、模抑制比高,能对直流和低频信号(电压或电流)进行准确、安全的测量。,图4-41为284型隔离放大器的电路结构图。为提高微电流和低频信号的测量精度,减小漂移,其电路采用调制式放大,其内部分为输入、输出和电源三个彼此相互隔离的部分,并由低泄漏高频载波变压器耦合在一起。通过变压器的耦合,将电源电压送入输入电路并将信号从输出电路送出。输入部分包括双极型前置放大器、调制器；输出部分包括解调器和滤波器,一般在滤波器后还有缓冲放大器。,图4-41 284型隔离放大器的电路结构图,4.6 传感器接口技术,4.6.1 传感器信号的采样/保持 在对模拟信号进行模/数变换时,从启动变换到变换结束的数字量输出,需要一
25、定的时间,即A/D转换器的孔径时间。当输入信号频率提高时,由于孔径时间的存在,会造成较大的转换误差。要防止这种误差的产生,必须在A/D转换开始时将信号电平保持住,而在A/D转换结束后又能跟踪输入信号的变化,即对输入信号处于采样状态。能完成这种功能的器件叫采样/保持器。从上面的分析也可知,采样/保持器在保持阶段相当于一个“模拟信号存储器”。在模拟量输出通道,为使输出得到一个平滑的模拟信号,或对多通道进行分时控制时,也常使用采样/保持器。,1.采样/保持器的原理采样/保持器由存储电容C,模拟开关S等组成,如图4-42所示。,图4-42 采样/保持原理,2.集成采样/保持器集成采样保持器的特点是：（
26、1）采样速度快、精度高,一般在22.5s内即可达到0.010.003的精度。（2）下降速率慢,如AD585,AD348为0.5 mVms,AD389为0.1 Vms。正因为集成采样保持器有许多优点,因此得到了极为广泛的应用。下面以LF398为例,介绍集成采样保持器的原理。图4-43为LF398的原理图。由图可知,其内部由输入缓冲级、输出驱动级和控制电路三部分组成。,图4-43LF398的原理图,主要技术指标有：（1）工作电压：518 V。（2）采样时间：10 s。（3）可与TTL、PMOS、CMOS兼容。（4）当保持电容为0.01F时,典型保持步长为0.5 mV（5）低输入漂移,保持状态下输入
27、特性不变。（6）在采样或保持状态时高电源抑制。,图4-44为LF398的外引脚图,图4-45为其典型应用图。在有些情况下,还可采取两级采样保持串联的方法,选用不同的保持电容,使前一级具有较高的采样速度而使后一级保持电压下降速率慢,两级结合构成一个采样速度快而下降速度慢的高精度采样保持电路,此时的采样总时间为两个采样保持电路时间之和。,图 4-44 LF398的外引脚图,图4-45 LF398的典型应用图,4.6.2 多通道模拟信号输入1.常用多路模拟开关集成电路1）单端8通道AD7501是单片集成的CMOS 8选1多路模拟开关,每次只选中8个输入端的一路与公共端接通,选通通道是根据输入地址编码
28、而得到的。所有数字量输入均可用TTL或CMOS电路。图4-46为AD7501的外引脚图和原理图。,图4-46 AD7501的外引脚原理图。,AD7501的主要参数有：(1)导通电阻Ron的典型值为170（-10 VVS10 V）,导通电阻温漂为0.5,路间偏差为4。(2)输入电容：3 pF。(3)开关时间：ton=0.8 s,toff=0.8 s。(4)极限电源电压：UDD+17 V,USS-17V。2）单端16通道AD7506为单端16选1多路模拟开关,图4-47为AD7506的外引脚图和原理图。,图 4-47AD7506的外引脚图和原理图,(1)导通电阻Ron 300。导通电阻温漂为0.5
29、,路间偏差为4。(2)开关时间：ton=0.8 s,toff=0.8 s。(3)极限电源电压：UDD 17 V,USS-17V。3）差动4通道AD7502是差动4通道多路模拟开关,其主要特性与AD7501的基本相同,但在同选通地址情况下有两路同时选通。其外引脚和原理图如图4-48所示。,图4-48AD7502的外引脚图和原理图,2.多路模拟开关应用举例在许多机电一体化产品中,都需要用到多路模拟量输入情况,此时可采用多路模拟开关来实现。图4-49为利用AD7501组成的8路模拟量输入通道。对于16路输入情况,可使用两片AD7501组合而成,见图4-50。,图4-49AD7501 8路输入,图 4
30、-50 两片AD7501组成16路输入,3.多路开关选用时的注意事项（1）对于传输信号电平较低的场合,可选用低压型多路模拟开关,这时必须在电路中有严格的抗干扰措施,一般情况下选用常用的高压型。（2）对于要求传输精度高而信号变化慢的场合,如利用铂电阻测量缓变温度场,就可选用机械触点式开关。但在输入通道较多的场合,应考虑其体积问题。（3）在切换速度要求高、路数多的情况下,宜选用多路模拟开关。在选用时应尽可能根据通道量选取单片模拟开关集成电路,因为在这种情况下每路特性参数可基本一致；在使用多片组合时,也宜选用同一型号的芯片以尽可能使每个通道的特性一致。,（4）在选择多路模拟开关的速度时,要考虑到其后
31、级采样保持电路和AD的速度,只需略大于它们的速度即可,不必一味追求高速。（5）在使用高精度采样/保持AD进行精密数据采集和测量时,需考虑模拟开关的传输精度问题,尤其需注意模拟开关漂移特性。因为如果性能稳定,即使开关导通电阻较大,也可采取补偿措施来消除影响；但如果阻值和漏电流等漂移很大,将会大大影响测量精度。,4.7 传感器非线性补偿处理,在完成了非线性参数的线性化处理以后,要进行工程量转换,即标度变换,才能显示或打印带物理单位(如)的数值,其框图如图4-51。,图4-51 数字量非线性校正框图,下面介绍非线性软件处理方法。用软件进行“线性化”处理的方法有三种：1.计算法 2.查表法程序流程图,
32、如图4-52所示。,图 4-52 顺序查表法程序流程图,3.插值法1）插值原理 设某传感器的输出特性曲线（例如电阻温度特性曲线）如图4-53所示。,图4-53 分段先行插值原理,设x在（xi,xi+1）之间,则其对应的逼近值为（4-36）将上式进行化简,可得y=y i+ki(x-x i)（4-37）或y=yi0+k ix（4-38）其中,yi0=yi-k ixi为第i段直线的斜率。式（4-37）是点斜式直线方程,而式（4-38）为截矩式直线方程。上两式中,只要n取得足够大,即可获得良好的精度。,2）插值法的计算机实现 下边以点斜式直线方程（4-37）为例,讲一下用计算机实现线性插值的方法。第一
33、步,用实验法测出传感器的变化曲线y=f（x）。第二步,将上述曲线进行分段,选取各插值基点。第三步,确定并计算出各插值点的xi、yi值及两相邻插值点间的拟合直线的斜率ki,并存放在存储器中。第四步,计算x-xi。第五步,找出x所在的区域（xi,xi+1）,并取出该段的斜率ki。第六步,计算ki(x-xi)。第七步,计算结果y=yi+ki（x-xi）。程序框图见图4-54。,图4-54 先行插值计算程序流程图,思考题,4-1 机电一体化系统中,需要测试的常见物理量有哪些？举例说明。4-2 在家用电器中,有些传感器是借助敏感元件来进行测试的。举一个事例,并分析其检测原理（绘出原理框图）。4-3 设计一套较完整的汽车油箱液位测试及显示方案,要求有简图和文字说明。4-4 举出机电一体化系统中应用压力传感器的事例。,4-5 机械加工装置中应用了大量的位移测试传感器,分析不同位移传感器的应用场合。4-6各类传感器的信号输出电压差别较大,请简述几种传感器的输出电压范围。4-7为什么机电一体化系统中的测试过程往往要进行非线性补偿？试分析非线性补偿通常使用的几种方法的原理。4-8传感器信号处理过程有哪些环节？各有什么作用？,
