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1、特气系统控制,2005年9月20日,特气系统控制,特气系统控制,气柜,VMB/VMP,PLC,盘面,电磁阀,气动阀,GAS CYLINDER,SENSORS,易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ASH3/PH3,无毒：AR/HE/CF4/N2O/C2F6/SF6/O2-HE,有毒：CL2/HBR/NH3/NF3/SIH2CL2/BCL3,设备,LAM,易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ASH3/PH3,有毒：CL2/HBR/NH3/NF3/SIH2CL2/BCL3,无毒：AR/HE/CF4/N2O/C2F6/SF6/O2-HE,AMEM,TCPM,AMS101,MRC,CVD,APWJ,DF
2、UR,EPSL,IMP,气柜组成:1.电控2.COMPUTER3.GAS PANEL,1.电气控制,STATUS LEDS LOCAL SDRED,YELLOY,GREEN SWITCH,电磁阀,SENSORS,2.COMPUTER,koyo philips,3.盘面(一),双盘面 单盘面示意图,(二)GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD,一.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤:如果是液态类气体需要输入“净重”确认。1 接通220V电源，打开“EMO”紧急开关，进入盘面画面。2 输入password，按确认。3 L盘面进
3、入“In shutdown”按“commands”菜单。4 选择“terminate purge”按“Yes”。5 选择“select purge”按“Cylinder change”，按“Yes”，按“ACK”确认，进入更换钢瓶的过程。6 L-Cylinder shutoff test，执行process Gas removal置换。7 更换钢瓶前Pre-purge前吹扫，执行完循环次数。8 Cylinder change更换钢瓶，按“ACK”确认。9 Process Gas removal执行工艺气体置换。10 Auto leak test自动检漏测试11 Manual leak test
4、手动检漏测试，按“ACK”确认。12 Leak Repair泄漏维护，按“ACK”确认。13 Repair Leak test维护后泄漏测试，按“ACK”确认。14更换钢瓶后Post-purge后吹扫，执行完循环次数。15 Regulator调压阀 shutoff及测试。16缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈，进入钢瓶压力测试。17缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。18按“service ready”进入钢瓶供气或备用。,4.更换钢瓶操作（依照L钢瓶为例）,1 选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。2 关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。3 确认钢瓶手动阀已经
5、关闭，按“确认”。4 进行低压释放。5 进行预吹扫，完成设置的循环次数。6 钢瓶检测结束报警，按“close”，按“下一步”。7 更换钢瓶，结束后按“下一步”。8 进行钢瓶Fitting测漏，正常后按“确认”。9 进行后吹扫，完成循环次数。10 钢瓶检测结束，按“close”。11 如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。12 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。13 选择供气或备用。14 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。,二.半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：,三.手动气柜更换钢瓶操作步骤：,要求PN2钢瓶的出口压力80+/-10PSI。1 关闭钢瓶手
6、动阀。2 打开低压放空的左抽空开关（V3L、V4L、V7L），使之管道内气体完全放空，然后关闭此阀，同时关闭Regulator。3 更换钢瓶前的Pre-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。4 执行更换钢瓶的过程。5 更换钢瓶后的Pigtail Fitting检漏：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关，然后再关闭，进行Pigtail Fitting的check leak。检漏通过后进行Pigtail后吹扫。6 更换钢瓶后的
7、Post-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。7 关闭L盘面上所有气动阀件，打开L钢瓶手动阀，调节Regulator的压力使之满足工艺设备的供气压力。如果是液态类气体需要输入切换压力“毛重”确认。8 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。9 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。10 按“供气开关”或“备用开关”。,5.气柜操作流程图,SCREEN,MENUSCREEN,INPUTPASSWORD,
8、OPERATION SCREEN,A PANELOrB PANEL,SELECT GO TOA or B PANEL,NO,AUTO PURGE(PREPURGE),FINISH,CHANGE NEWCYLINDERTHEN PRESSACK.BUTTON,NO,POSTPURGE,FINISH,PROCESS(INSTALL ESV),YSE,YSE,CONFIRMLOAD CELL(NEW or OLD,OPENCYLINDER,LOW DELIVERYPRESSURE&HIGHDELIVERYPRESSURE,(DO YOU WANGT TOPROCESS ORSTANDBY?,SELECTPROCESSorSTANDBY,PROCESS,PROCESS,STANDBY,STANDBY,6.钢瓶更换分解图示,前吹扫：）放空（图一）开）通关开）抽真空开,图一,后吹扫：1)Pigtail Fitting检漏）通吹扫关开）抽真空开）保压,VMB/VMPValve Manifold Box Valve Manifold Panel,THANK S！,
