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1、高纯气体管道施工工法一、前言随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛，象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道，因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。1999年，我公司引进了美国生产的全自动轨道焊机及其相关的配管安装设备，这套设备自动化程度高，焊接过程实现了全自动控制，设备性能稳定，质量好且外形美观、体积小、重量轻、操作方便，非常适合电子厂房的洁净施工。几年来通过我们的研究与实践，通过向国外专家请教，向外单位同行学习，形成了这套施工工艺，在吉林华星5寸芯片生产线、杭州立昂电子有限公司6寸芯片生产线、江苏吴江阿尔发光导纤维生产线的施工中应用了本
2、工法，效果不错。二、适用范围本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试，焊接薄壁不锈钢气体管道，同时也适用于医药、食品等厂房的洁净管道施工。三、工艺原理 根据工程特点，工程的施工前后分为三个步骤，每一步都要经过严格的质量和洁净度检查，第一步是管道的预制，为保证洁净要求，管道的预制一般是在1000级的预制间内进行；第二步是现场安装；第三步是系统的测试，系统测试主要是对管道内的尘埃粒子、露点、含氧量、碳氢化合物的含量进行测试。四、主要施工要点（一）施工前的准备 1、组织劳动力，准备施工中使用的机具、设备。 2、搭建预制间，洁净度1000级。 3、施工图分析，根据工程特点及实际情况编制施工
3、方案，做好技术交底。（二）管道预制 1、由于高纯气体管道要求的洁净度较高，为了减少安装现场的焊接工作量，确保洁净度，所以管道的施工先在1000级的预制间中预制，施工人员应穿洁净服，使用的工机具应保证洁净，另外施工人员应有较强的洁净意识，施工过程尽量减少对管子的污染。 2、管道的下料 管道下料使用的是专用的切管工具，切出的端面绝对和管轴心线垂直，切管时应采取措施避免外界的灰尘、空气对管子内部的污染，下好的料应分组编号以便于组对焊接。 3、管道焊接，管道焊接前应先编制焊接程序输入到自动焊机，试焊样品，样品合格后，方能焊接，进行完一天的焊接后，再焊样品 ，如果样品合格，由于焊接参数一直储存在焊机里，
4、自动焊机焊接时又非常稳定，所以焊缝质量也是合格的。焊接质量由微机控制，减少了由于人为因素对焊接质量的影响，既提高了工作效率，又能得到高品质的焊缝。4、焊接工序样品焊接 合格 正式焊接 焊接结束 再焊样品 合格 焊接结束不 不合 合格 格调节参数 合格 检查焊口外表 查找原因、采取措施、做好记录（三）现场安装1、高纯气体管道的现场安装应整洁干净，安装人员必须戴洁净手套。2、支架设置距离应符合图纸设计要求，每一固定点套上EP管专用的橡胶套。 3、预制好的管子运到现场，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，担上支架后，立即上管卡。4、现场的管道焊接和预制阶段管道焊接程序相同。5、焊接完毕经有关人员对焊口
5、样品及管道上的焊口检验合格后，贴焊口标签，填写焊接记录。（四）系统测试1、系统检测是高纯气体施工的最后一环，它是在管道压力试验、吹扫结束后进行。2、系统测试使用的气体首先是合格气体，气体的洁净度、含氧量、露点及碳氢化合物应符合要求。3、指标的检测是通过在管道里充入合格气体，在出口处用仪器测量，管道里吹出的气体合格了，说明这条管路指标合格了。五、材料高纯气体管道按其流通介质的工艺要求一般采用薄壁不锈钢管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有铬、镍、钼三种合金元素，铬的存在提高了不锈钢在氧化性介质中的耐腐蚀性，形成一层富铬氧化膜；而钼的存在则提高了不锈钢在非氧化性介质中的耐腐蚀性
6、；镍是奥氏体的形成元素，它们的存在既提高了钢的耐腐蚀性，又提高了钢的工艺性能。六、机具设备自动焊机 ARC M207A 2台切管机 RA41 2台端面加工机 2台电源稳压器 2台手工钨极氩弧焊机 3台氩气过滤器 3个不锈钢弯管器 1/4、3/8、1/2、3/4各1个粒子测试仪 1台露点测试仪 1台碳氢化合物测试仪 1台氩气纯度检测仪 1台七、劳动力组织 项目经理 1名 管道工程师 1名 焊接工程师 1名 管道施工组长 2名 焊 工 2名 管道施工组员 6名八、施工质量要求1、工程施工执行的质量标准 洁净室施工及验收规范 JGJ71-90 洁净厂房设计规范 GB50073-2001 工业金属管道
7、工程施工及验收规范 GB50235-97 现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范 GB50236-98 2、为保证工程质量，应采取下列措施 工程技术人员负责施工计划、工程技术和洁净措施的制订，绘制预制加工图，并负责组织、指导全面实施，对施工质量负责。 管工必须按规定的洁净、技术措施按图预制和安装，负责专用设备的正确使用和保养，负责做好各项测试准备工作和测试工作，负责管道的预制、安装达到质量标准。 质量检验人员，应对管道预制、安装作业进行全面质量检查和控制，督促检查各项洁净措施的贯彻执行；检查确认预制安装质量、检查确认焊接前后的焊口样品；检查确认焊接记录和各种检测及其记录的正确性；并负责汇总和
8、整理交工资料。 发生质量事故，不得隐瞒，及时上报，查找原因并及时解决。九、安全措施 1、严格执行建筑安装工人安全技术操作规程及中电四公司的安全规章制度，组织工人学习，经考核合格后方能上岗。2、高空作业，脚手架在超出地面两米（含两米）以上时，人员须系安全带，工具须放入工具袋内，脚手架必须围篱。 3、所有带电设备、带电工具必须有漏电保护措施，临时电缆、电线的接线须由专职电工实施。 4、动火作业应办理动火作业许可证，动火作业人员应持证上岗，并备好防火用品。5、安全人员随时检查班组施工人员的安全情况，发现安全隐患及时排除。十、工程实例 吉林华微电子5寸芯片生产线、杭州立昂电子有限公司6寸芯片生产线、江
9、苏吴江阿尔发光导纤维生产线的施工中应用了本工法。 吉林华微芯片加工能力每年100万片，封装能力6亿只/每年，产品质量达到国家IEC标准，性能达到日本东芝同类产品水平，产品入选“吉林市十大名牌产品”、荣获省、部“优等品”、“吉林省名牌产品”、“电子行业知名品牌”、“全国用户满意产品”等称号。产品主要销往国内三十多个城市和地区，被长虹、TCL、康佳、创维、海信等企业评为“A级配套企业”、“品质优秀供应商”。自2000年以来，我公司安装的高纯气体管道系统运行良好，没有发现任何质量问题，为公司在电子行业施工赢得了良好的信誉。我公司引进自动焊接技术后，承担的工程项目：1、2000年1月，吉林华星5寸芯片
10、生产线高纯气体管道安装 2、2000.72000.9 石家庄三鹿利乐包生产线,乳品管道。3、2001.22001.3 北京有研总院气体动力管道(PN、CDA、PO、PH)。4、2001.52001.7 深圳大学光电子研究室气体动力管道（PN、CDA、PO）。5、2001.8 信息产业部第十三所气体动力管道（PN、CDA、PO、 PH）。6、2002.52002.7 上海中芯国际(做台湾弘达久下包)大宗气体管道。7、2003.12003.4 江苏吴江阿尔发光电科技股份有限公司气体动力管道(PN、PO、PH、PAr、CDA、CO2、PHe)。8、2003.52003.7 杭州立昂电子有限公司6寸芯片生产线气体动力管道(PN、PO、PH、CDA、PAr、PHe)。9、2003.82003.9 上海英特尔有限公司PD1项目改造(PN、CDA)。10、2004.22004.5 吉林华微5寸（华微线）、6寸（飞利普线）生产线，主系统、二次配管、特殊气体。
