奥士康内层课学习报告.ppt

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1、ASK,研发部-盛佳,2014.07.31,内层课-学习报告,工号:1401161,审核-张震,2,目录,学习内容介绍 1,内层各段工序上机实操,产线结构与保养;2,内层工艺参数控制及各项测试;3,内层工序问题的分析与异常处理。学习心得 1,多看,多问,多做,多想;2,劳其筋骨只是吃苦的表面,磨其心志方才是吃苦的精髓;下一站学习计划 1,了解压合全流程与各段工艺参数控制范围以及各类机台的操作;2,掌握压合的各类测试,学会对压合产生的不良进行分析与处理。,3,内层整体流程简示图,4,内层各段重点理解目标,前处理重点掌握,涂布线重点掌握,曝光房重点掌握,AOI工作站重点掌握,DES重点掌握,微蚀因

2、子,微蚀速率磨机酸洗,缸体结构产量控制,异常处理,涂机操作,厚度测量刮刀压力,涂布压力粘度测试,拉力测试,图形转移,层间对位能尺测试,能均测试涨缩管控,不良处理,显影蚀刻,因素控制显影点,蚀刻均匀性不良板的分析与处理,扫描检修,CCD打孔不良点分析与处理,第一讲 内层前处理,6,前处理工艺参数控制,7,内层前处理实物图析,前处理重点,第二讲:内层涂布线,9,涂布线工艺参数控制,10,内层涂布线实物图析,11,第三讲:曝光房,12,曝光房工艺参数控制,13,内层曝光房实物图析,曝光房,第四讲 内层DES,15,DES各段工艺参数控制1,DES各段工艺参数控制2,17,内层DES实物图析,显影,蚀刻。,18,第五讲:AOI工作站,19,内层AOI实物图析与不良点图示,謝謝,

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