cell简单不良分类及原因介绍PPT.ppt

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1、简单不良分类及原因介绍,Cell部分,亮点,灭点个数,间距,连续,成因:Active remain,S/D remain,Gate remain,P/T Invisible(不可见)区分方法:显微镜下看,哪层的remain,根据外形,颜色,PIXEL 不良,手按panel,亮点消失,由于导电particle使C/F的ITO和像素ITO连接,形成亮点,手按后,particle碎了。,手按panel,出现亮点,松开手,变正常。(盒厚5um),一般情况下算T级,不需要Repair,(指压)pixel,发生在2个Line以上或X和Y发生Cross的现象 DDS:两条竖直的亮线GGS:两条水平的白线DG

2、S:水平的暗线和一条竖直亮线?成因:金属Remain 导电particle DGS中可以根据导电颗粒的 位置来确定短路处,SHORT,Particle DATA PAD FAN-OUT 部因异物而发 生 SHORT,DDS,SCRATCH在DATA PAD上发生,XY线看起来为亮线或灭线的现象X(完全亮线)跟contact missing的区别在于它的亮度不均Y(薄线)浅灰色的亮或者暗线,灰度不均,有的段很不明显 Gate set-Min 处确认 成因:ESD造成data和repair line 短接。clean时候的pt造成open。,Line Defect,OPEN,D-O:X线中间断掉的

3、状态成因Chemical attack(AT)Particle Array DGS(-DO)Invisible,Particle,Data Open defect的一些照片,一段亮线,向一侧逐渐变浅,Cst Open(有公用线的话才会发生),若 STORAGE LINE在中途断掉,则信号发生 DELAY,在 OPEN POINT处变亮,然后逐渐趋于正常.因 Vcom 信号发生 DELAY,所以从两侧施加,但随着 OPEN POINT不同,发生状态也不同.(若在正中央发生 OPEN,则不发生亮线),成因:,ESD,契形的亮斑,有的伴有Line Defect ESD可以造成诸多不良,很多PXL,L

4、D都是由于ESD造成成因:受ESD影响,TFT发生劣化或损坏,PXL消失(BM消失),B/L的光线直接透过C/F,有白色的划痕原因:C/F损伤跟cell异物或者Scratch的区别Spect 很严格,0.2mm内 异物0.5以内。Size:(长轴+短轴)/2,scratch,看起来很亮的线形,带有方向性 成因 Cell内/POL/Panel表面的划伤可以通过观察Scratch处的像素BM是否可见来判断Scratch是发生在上层还是下层(BM可见则是TFT Scratch),(异物),亮的线形,无规则形状。跟Scratch的区别在于无方向性,很多见成因 多由成盒或者POL贴附时候的PT造成可以通

5、过亮斑的垂直位置来判断是POL异物还是Cell异物,Zaratsuki,Align Miss型 CF BM窄的原因而发生 SPACER密集,细小的色点成因 Spacer受到挤压,而发生移动或破损,使取向膜损伤而产生,Spacer 移动,Spacer 破损,(漏光),L0下,多在panel的两侧发生漏光区域会看起来较亮,在某一视角上看得清楚,可以用loupe观察是PXL的哪个区域漏光成因 CF与TFT极板未完全对齐,BM无法挡住像素一侧透出的光线,(变色),PAD变色:很多Y向薄的浅的灰色line成因:*Pad上的外物造成Pad与pin的contact不良Cleaning repair,BM变色

6、:外部BM变成褐色成因:CF材料不良,MURA,Mura在cell test中非常常见,分类也非常之多,大体上分为Gap性Mura和非Gap性Mura,另外有一些未确认的Mura需单独分析处理 Gap性Mura显白色或黑色,用手按屏有动态的Ripple现 象,由盒厚不均匀引起 非Gap性Mura多为白色或黑色污渍,指压时不发生 Ripple,界限较明显,多为PI膜毁坏,污染等与取向相关的不良 大多Mura在L31 Pattern中易见,Gap Mura,在L31下,圆形或其它形态的外围界限不分明的白色或黑色不良,用手按屏有动态的Ripple现象若Gap Mura成片地连续出现则为连续Mura

7、成因 成盒时panel受到挤压,异物,或者真空等原因造成的Gap不均引起的,(注入口)Mura,注入口部分出现白或黑色现象,色斑的形态很多成因 因注入口部分污染等原因发生 有的cell中看不到,模块aging以后发生,Mura,色Mura:在特定颜色的pattern下容易发现,颜色比周围颜色深形态很多:圆形,扇形等成因 C/F的原材料不正常引起的,(黑白点),黑点:在L31L63中,看起来黑色形态小点状污渍白点:在L0L31中,看起来亮的小点状污渍 成因 多为PI涂附时候的问题:SPACER CLUSTER,PI 膜污染 修理 Pi受损,因为异物引起的白点是不能repair的 取向异常引起的白

8、点,叫domain白点,可以采用高于50度的温度,通过 Auto Clave Rework,来修复,SHOT&BOX Mura,在photo工序中产生Shot Mura是由于采用step曝光方式而产生的Mura,只在L1&2中出现,而L3采用scanner曝光方式所以不会出现这种不良。Box Mura 真空抓panel的stage长成那个样子的,Stage上有沟槽,曝光的时候会留下痕迹,AFFS中出现box,Block,X向,Y向的一个Block中变灰或者变暗成因 Pad不良 Short ring 没有完全切除(Edge grinding miss),Rubbing,分为A,B,E三种模式 有

9、划过的痕迹,界线较模糊,不像Scratch那样清晰在摩擦取向的时候由于辊子上的P/T引起的,使某些部分无法正常取向,E-Mode,A-Mode,B-Mode,Touch,有被触摸的样子,level低的时候是白色的,高的时候会显黑色,跟观察的视角也有关系成因:PI coating 的时候被用手摸到,(辉线)mura成因,(辉半圆)MURA,Mura(辉椭圆形Mura),(水纹)MuraC/F的原因,Mura(横的椭圆形的Mura)成因:?,Mura(白斑点Mura)成因:Pre cure工序中panel受热不均产生的,在Array 工序中产生的MURA,影响了TFT器件。在进行Abnormal

10、Test时,现象变严重或变弱 包括:(棋盘)Mura(贝壳)MURA(斜线)MURAMura,A Mura,(棋盘)Mura,(贝壳)MURA曝光时,有Particle,造成对焦没对好,(斜线)MURAArray中旋转cleaning,离心力,Mura成因 14”工序中,点TR处需要用UV光照射,而换成17”后不需要UV,但是忘记了撤除,UV灯影响了TFT器件,水垢MURA成因:Cluster,TFT器件不好,Ioff不好,,(未确认)种类很多,现象很多,上百种Spec根据限度样品比较来定级。,尚未见不良,FlickerX talkBNU&DNUMura(交叉)Mura(竖线)Mura(横线)

11、Mura(斜线)Mura,(棋盘)Mura(像框)Mura(黑带)Mura(白 梳子)Mura(辉半圆)MuraRain Mura Mura,Mura History(-1),Mura History(-2),Mura History(L1.L2-1),Mura History(L1.L2-2),Mura History(L1.L2-3),Mura History(L1.L2-4),Mura History(L1.L2-5),Mura History(L3-1),Mura History(L3-2),Mura History(L3-3),EN Lot Test,不同Line不同Model在Cell工程中产生不良,

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