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1、CPU的制造是一项极为复杂的过程，当今世上只有少数几家厂商具备研发和生产CPU的能力。CPU的发展史也可以看作是制作工艺的发展史。几乎每一次制作工艺的改进都能为CPU发展带来最强大的源动力，无论是Intel还是AMD，制作工艺都是发展蓝图中的重中之重。1、CPU的生产过程要了解CPU的生产工艺，我们需要先知道CPU是怎么被制造出来的。让我们分几个步骤学习CPU的生产过程。（1）硅提纯生产CPU等芯片的材料是半导体，现阶段主要的材料是硅Si，这是一种非金属元素，从化学的角度来看，由于它处于元素周期表中金属元素区与非金属元素区的交界处，所以具有半导体的性质，适合于制造各种微小的晶体管，是目前最适宜
2、于制造现代大规模集成电路的材料之一。在硅提纯的过程中，原材料硅将被熔化，并放进一个巨大的石英熔炉。这时向熔炉里放入一颗晶种，以便硅晶体围着这颗晶种生长，直到形成一个几近完美的单晶硅。以往的硅锭的直径大都是200毫米，而CPU厂商正在增加300毫米晶圆的生产。（2）切割晶圆硅锭造出来了，并被整型成一个完美的圆柱体，接下来将被切割成片状，称为晶圆。晶圆才被真正用于CPU的制造。所谓的“切割晶圆”也就是用机器从单晶硅棒上切割下一片事先确定规格的硅晶片，并将其划分成多个细小的区域，每个区域都将成为一个CPU的内核(Die)。一般来说，晶圆切得越薄，相同量的硅材料能够制造的CPU成品就越多。（3）影印（
3、Photolithography）在经过热处理得到的硅氧化物层上面涂敷一种光阻(Photoresist)物质，紫外线通过印制着CPU复杂电路结构图样的模板照射硅基片，被紫外线照射的地方光阻物质溶解。而为了避免让不需要被曝光的区域也受到光的干扰，必须制作遮罩来遮蔽这些区域。这是个相当复杂的过程，每一个遮罩的复杂程度得用10GB数据来描述。（4）蚀刻(Etching)这是CPU生产过程中重要操作，也是CPU工业中的重头技术。蚀刻技术把对光的应用推向了极限。蚀刻使用的是波长很短的紫外光并配合很大的镜头。短波长的光将透过这些石英遮罩的孔照在光敏抗蚀膜上，使之曝光。接下来停止光照并移除遮罩，使用特定的化
4、学溶液清洗掉被曝光的光敏抗蚀膜，以及在下面紧贴着抗蚀膜的一层硅。然后，曝光的硅将被原子轰击，使得暴露的硅基片局部掺杂，从而改变这些区域的导电状态，以制造出N井或P井，结合上面制造的基片，CPU的门电路就完成了。（5）重复、分层为加工新的一层电路，再次生长硅氧化物，然后沉积一层多晶硅，涂敷光阻物质，重复影印、蚀刻过程，得到含多晶硅和硅氧化物的沟槽结构。重复多遍，形成一个3D的结构，这才是最终的CPU的核心。每几层中间都要填上金属作为导体。Intel的Pentium 4处理器有7层，而AMD的Athlon 64则达到了9层。层数决定于设计时CPU的布局，以及通过的电流大小。（6）封装这时的CPU是
5、一块块晶圆，它还不能直接被用户使用，必须将它封入一个陶瓷的或塑料的封壳中，这样它就可以很容易地装在一块电路板上了。封装结构各有不同，但越高级的CPU封装也越复杂，新的封装往往能带来芯片电气性能和稳定性的提升，并能间接地为主频的提升提供坚实可靠的基础。（7）多次测试测试是一个CPU制造的重要环节，也是一块CPU出厂前必要的考验。这一步将测试晶圆的电气性能，以检查是否出了什么差错，以及这些差错出现在哪个步骤（如果可能的话）。接下来，晶圆上的每个CPU核心都将被分开测试。由于SRAM（静态随机存储器，CPU中缓存的基本组成）结构复杂、密度高，所以缓存是CPU中容易出问题的部分，对缓存的测试也是CPU
6、测试中的重要部分。每块CPU将被进行完全测试，以检验其全部功能。某些CPU能够在较高的频率下运行，所以被标上了较高的频率；而有些CPU因为种种原因运行频率较低，所以被标上了较低的频率。最后，个别CPU可能存在某些功能上的缺陷，如果问题出在缓存上，制造商仍然可以屏蔽掉它的部分缓存，这意味着这块CPU依然能够出售，只是它可能是Celeron等低端产品。当CPU被放进包装盒之前，一般还要进行最后一次测试，以确保之前的工作准确无误。根据前面确定的最高运行频率和缓存的不同，它们被放进不同的包装，销往世界各地。2、不断进步的生产工艺随着生产工艺的进步，CPU应该是越做越小？可为什么现在CPU好像尺寸并没有
7、减少多少，那么是什么原因呢？实际上CPU厂商很希望把CPU的集成度进一步提高，同样也需要把CPU做得更小，但是因为现在的生产工艺还达不到这个要求。生产工艺这4个字到底包含些什么内容呢，这其中有多少高精尖技术的汇聚，CPU生产厂商是如何应对的呢？下文将根据上面CPU制造的7个步骤展开叙述，让我们一起了解当今不断进步的CPU生产工艺。（1）晶圆尺寸硅晶圆尺寸是在半导体生产过程中硅晶圆使用的直径值。硅晶圆尺寸越大越好，因为这样每块晶圆能生产更多的芯片。比如，同样使用0.13微米的制程在200mm的晶圆上可以生产大约179个处理器核心，而使用300mm的晶圆可以制造大约427个处理器核心，300mm直
8、径的晶圆的面积是200mm直径晶圆的2.25倍，出产的处理器个数却是后者的2.385倍，并且300mm晶圆实际的成本并不会比200mm晶圆来得高多少，因此这种成倍的生产率提高显然是所有芯片生产商所喜欢的。然而，硅晶圆具有的一个特性却限制了生产商随意增加硅晶圆的尺寸，那就是在晶圆生产过程中，离晶圆中心越远就越容易出现坏点。因此从硅晶圆中心向外扩展，坏点数呈上升趋势，这样我们就无法随心所欲地增大晶圆尺寸。总的来说，一套特定的硅晶圆生产设备所能生产的硅晶圆尺寸是固定的，如果对原设备进行改造来生产新尺寸的硅晶圆的话，花费的资金是相当惊人的，这些费用几乎可以建造一个新的生产工厂。不过半导体生产商们也总是
9、尽最大努力控制晶圆上坏点的数量，生产更大尺寸的晶圆，比如8086 CPU制造时最初所使用的晶圆尺寸是50mm，生产Pentium 4时使用200mm的硅晶圆，而Intel新一代Pentium 4 Prescott则使用300mm尺寸硅晶圆生产。300mm晶圆被主要使用在90纳米以及65纳米的芯片制造上。（2）蚀刻尺寸蚀刻尺寸是制造设备在一个硅晶圆上所能蚀刻的一个最小尺寸，是CPU核心制造的关键技术参数。在制造工艺相同时，晶体管越多处理器内核尺寸就越大，一块硅晶圆所能生产的芯片的数量就越少，每颗CPU的成本就要随之提高。反之，如果更先进的制造工艺，意味着所能蚀刻的尺寸越小，一块晶圆所能生产的芯片
10、就越多，成本也就随之降低。比如8086的蚀刻尺寸为3m，Pentium的蚀刻尺寸是0.80m，而Pentium 4的蚀刻尺寸当前是0.09m（90纳米）。目前Intel的300mm尺寸硅晶圆厂可以做到0.065m（65纳米）的蚀刻尺寸。此外，每一款CPU在研发完毕时其内核架构就已经固定了，后期并不能对核心逻辑再作过大的修改。因此，随着频率的提升，它所产生的热量也随之提高，而更先进的蚀刻技术另一个重要优点就是可以减小晶体管间电阻，让CPU所需的电压降低，从而使驱动它们所需要的功率也大幅度减小。所以我们看到每一款新CPU核心，其电压较前一代产品都有相应降低，又由于很多因素的抵消，这种下降趋势并不明
11、显。我们前面提到了蚀刻这个过程是由光完成的，所以用于蚀刻的光的波长就是该技术提升的关键。目前在CPU制造中主要是采用2489埃和1930埃（1埃=0.1纳米）波长的氪/氟紫外线，1930埃的波长用在芯片的关键点上，主要应用于0.18微米和0.13微米制程中，而目前Intel是最新的90纳米制程则采用了波长更短的1930埃的氩/氟紫外线。以上两点就是CPU制造工艺中的两个因素决定，也是基础的生产工艺。这里有些问题要说明一下。Intel是全球制造技术最先进且拥有工厂最多的公司（Intel有10家以上的工厂做CPU），它掌握的技术也相当多，后面有详细叙述。AMD和Intel相比则是一家小公司，加上新
12、工厂Fab36，它有3家左右的CPU制造工厂。同时AMD没有能力自己研发很多新技术，它主要是通过战略合作关系获取技术。在0.25微米制程上，AMD和Intel在技术上处于同一水平，不过在向0.18微米转移时落在了后面。在感觉无法独自赶上Intel之后，AMD和摩托罗拉建立了战略合作伙伴关系。摩托罗拉拥有很多先进的电子制造技术，用于Apple电脑PowerPC的芯片HiPerMOS7(HiP7)就是他们完成的；AMD在获得授权后一下子就拥有了很多新技术，其中部分技术甚至比Intel的0.13微米技术还要好。现在AMD选择了IBM来共同开发65纳米和45纳米制造技术。它选择的这些都是相当有前景的合
13、作伙伴，特别是IBM，一直作为业界的技术领袖，它是第一个使用铜互连、第一个使用低K值介电物质、第一个使用SOI等技术的公司。AMD获得的大多数技术很先进，而且对生产设备的要求不高，生产成本控制的很低，这也是AMD的优势。图为AMD的新工厂Fab36中采用的APM 3.0 (Automated Precision Manufacturing)技术，可进一步实现制造的自动化，效率化。同时AMD还建造了自己的无尘实验室。（3）金属互连层在前面的第5节“重复、分层”中，我们知道了不同CPU的内部互连层数是不同的。这和厂商的设计是有关的，但它也可以间接说明CPU制造工艺的水平。这种设计没有什么好说的了，
14、Intel在这方面已经落后了，当他们在0.13微米制程上使用6层技术时，其他厂商已经使用7层技术了；而当Intel准备好使用7层时，IBM已经开始了8层技术；当Intel在Prescott中引人7层带有Low k绝缘层的铜连接时，AMD已经用上9层技术了。更多的互连层可以在生产上亿个晶体管的CPU(比如Prescott)时提供更高的灵活性。7层金属铜互连技术显微图片：我们知道当晶体管的尺寸不断减小而处理器上集成的晶体管又越来越多的时候，连接这些晶体管的金属线路就更加重要了。特别是金属线路的容量直接影响信息传送的速度。在90纳米制程上，Intel推出了新的绝缘含碳的二氧化硅来取代氟化硅酸盐玻璃，
15、并同时表示这可以增加18%的内部互连效率。3、CPU制造工艺前进方向在现有常规工艺的支撑下，CPU很难再向前发展，并且遇到越来越多的障碍，接下来讨论CPU的继续发展方向。目前存在着两种泄漏电流：首先是门泄漏，这是电子的一种自发运动，由负极的硅底板通过管道流向正极的门；其次是通过晶体管通道的硅底板进行的电子自发从负极流向正极的运动。这个被称作亚阈泄漏或是关状态泄漏(也就是说当晶体管处于“关”的状态下，也会进行一些工作)。这两者都需要提高门电压以及驱动电流来进行补偿。这种情况自然的能量消耗以及发热量都有负面的影响。现在让我们回顾一下场效应晶体管中的一个部分在门和通道之间的绝缘二氧化硅(silico
16、n dioxide)薄层。这个薄层的作用就相当于一个电子屏障，用途也就是防止门泄漏。很显然，这个层越是厚，其阻止泄漏的效果就越好。不过还要考虑它在通道中的影响，如果我们想要缩短通道(也就是减小晶体管体积)，就必须减少这个层。在过去的10年中，这个薄层的厚度已经逐渐达到整个通道长度的1/45。目前，处理器厂商们正在做的是使这个层越来越薄，而不顾随之增加的门泄漏。不过这个方式也有它的限度，Intel的技术员说这个薄层的最小厚度是2.3纳米，如果低于这个厚度，门泄漏将急剧增大。这也是摩尔本人提到的“漏电率快速上升”而制约摩尔定律继续前进。到目前为止，处理器厂商还没有对亚阈泄漏做什么工作，不过这一情况
17、很快就要改变了。操作电流和门操作时间是标志晶体管性能的两个主要参数，而亚阈泄漏对两者有不小的影响。为了保证晶体管的性能，厂商们不得不提高驱动电流来得到想要的结果。这点在主板的供电系统和电源规范中有明显体现，我们也可以理解为什么越来越多的供电和散热规范是Intel等CPU厂商提出的。（1）SOI技术在所有的解决方案中，SOI(Silicon on Insulator，绝缘层上覆硅)看上去最有前景。关键很其实现很简单：晶体管通过一个更厚的绝缘层从硅晶元中分离出来。这样做具有很多优点：首先，这样在晶体管通道中就不会再有不受控制的电子运动，也就不会对晶体管电子特性有什么影响；其次，在将阈值电压加载到门
18、电路上后，驱动电流出现前通道电离的时间间隔也减小了，也就是说，晶体管“开”和“关”状态的切换性能提高了，这可是晶体管性能的第二大关键性能参数；同时在速度不变的情况下，我们可以也可以降低阈值电压，或是同时提高性能和降低电压。举个例子来说，如果阈值电压保持不变，性能可以提高30%，那么如果我们将频率保持不变而将注意力集中在节能性上，那么我们也可以节省大约50%的能耗。此外，在晶体管本身可以处理各种错误时(比如空间例子进入通道进行电离)，通道的特性也变得容易预计了。而SOI不足在于必须减小晶体管漏极/源区域的深度，而这将导致晶体管阻抗的升高。同时，SOI技术也意味着晶体管的成本提高了10%。（2）L
19、ow K互连层技术关于功耗和漏电问题，还有一个大家耳熟能详的技术就是Low K互连层。在集成电路工艺中，有着极好热稳定性、抗湿性的二氧化硅一直是金属互联线路间使用的主要绝缘材料。随着互联中导线的电阻（R）和电容（C）所产生的寄生效应越来越明显，低介电常数材料替代传统绝缘材料二氧化硅也就成为集成电路工艺发展的又一必然选择。这里的“K”就是介电常数，Low K就是低介电常数材料。Low K技术最初由IBM开发，当时的产业大背景是随着电路板蚀刻精度越来越高，芯片上集成的电路越来越多，信号干扰也就越来越强，所以IBM致力于开发、发展一种新的多晶硅材料。IBM声称，Low K材料帮助解决了芯片中的信号干
20、扰问题。而Intel的目的是使用低介电常数的材料来制作处理器导线间的绝缘体。这种Low K材料可以很好地降低线路间的串扰，从而降低处理器的功耗，提高处理器的高频稳定性。下表为几种材料的相对介电常数：材料/比较项目 Low k SiO2+CVD * SiO2 High k相对介电常数 2.50 3.80 4.50 25.00* SiO2 +CVD 代表等离子CVD方法制造的材料在技术应用中，Low K材料最先出现在ATi的9600XT中。CPU方面，Prescott是Intel第一款使用7层带有Low K绝缘层的CPU，同时使用了Carbon-Doped Oxide（CDO）(最新的低介电常数C
21、DO绝缘体)绝缘体材料，减少了线到线之间的电容，允许提高芯片中的信号速度和减少功耗。Low K目前最大缺点是实际应用效果不明显，需要新的材料的介入，比如从有机材料领域寻求发展。Low K材料的开发速度可以说是空前迅猛的，前景光明，不过还是需要注意一些老问题，比如工艺不成熟、铜互连技术缺陷还有良品率问题等。此外目前的Low K材料可靠性还不高，不很耐高温并且比较脆弱，nVidia就已经指出Low K材料的易碎性。（3）应变硅技术晶体管的结构也将有所改变。不过不是在数量上，通道的长度将从60nm下降到50nm，而其他东西则保持不变。实际上其他的东西都是由通道长度决定的，不论是晶体管的速度还是大小。
22、为了保证有利因素发挥同时减小负面因素，Intel会在应变硅(Strained silicon)以及新型的铜和含碳二氧化硅互连的低温介电体上使用开始使用90纳米技术。这个氧化物薄层非常的薄，仅有1.2纳米厚，完全符合上面提到的厚度为通道长度的1/45，却超过了Intel自己宣称的2.3纳米的极限值。应变硅的使用目的和二氧化硅层相反，它是作为电子的屏蔽出现的，在其下的通道则是电子由发射端到接受端的路径，电流越高，电子运动就越容易，速度也越快。通道一般是用硅制成的，不过在使用应变硅之后，就需要将原子拉长，那么电子在通过稀疏的原子格时遇到的阻抗就大大下降。Intel宣称只需将硅原子拉长1%，就可以提高
23、10-20%的电流速度，而成本只增加了2%。（4）Terahertz晶体管与High K & DST在未来Intel会怎样继续发展下去呢？首先，他们一定会榨干硅晶体管的最后一分“油水”，将其称作Terahertz晶体管(Terahertz就是1THz，也就是1000GHz)。目前Intel已经做出了15纳米晶体管的样品，很显然这种晶体管将带来巨大的功耗、发热量和电流泄漏，如果没有什么技术改进就毫无实用价值。做出Terahertz晶体管首先需要使用不同的原料，因为他们决定了晶体管的基本特性。二氧化硅作为门和通道之间的绝缘层已经不适合，而需要用到Intel称为高K门电介质(High K gate
24、Dielectric)的材料，Intel宣布已经完成了对High-K金属门电路晶体管技术的研发。这种材料对电子泄漏的阻隔效果是二氧化硅的10000倍。这项技术也通常被简写为“High K”技术，我们有必要做简单了解。High K的全称应该是High K金属门电路晶体管技术，它是由Intel负责研发的下一代CMOS晶体管的门电路部分。它采用高介电常数的材料，以达到更高的单个晶体管容量。容量大则意味着转换周期短，这意味着晶体管速度将更快，同时功耗比传统的CMOS晶体管降低很多，Intel说的100倍不会是夸张，在现有工艺水平前提下功率可能只会有20-80倍的降低，但是在45nm技术运用后，100倍
25、以上决对有可能！这意味着采用High-K材料晶体管的处理器，在发热量方面将有很大优势。第二个关键是称为耗尽型衬底晶体管(depleted substrate transistor，DST)的技术，实际上就是SOI技术的变形。Intel一直对SOI技术抱着怀疑的态度，如果没有什么重要的理由他们是不会使用这项技术的。Intel认为使用完全耗尽的通道没有任何好处，这个通道会变得非常的小，大约10纳米左右，这是很难制造的，同时也因为发射端和接受端的距离减小急剧提高了外接晶体管的阻抗。因此DST技术就被推出了，相比SOI技术其做了一些改动来消除它的主要缺点，通道非常的短，同时也做了完全贫化处理。在一定的
26、控制下驱动电流可以立即在门(晶体管门)通过，并不会电离在绝缘层下通道的任何部分。另外，这样也可以表现出虚拟通道增长的效果，从而体现出浮点晶体管的特性。不过这只相当于在一个通常的SOI晶体管上使用了完全耗尽通道，主要的问题仍然是外接晶体管陡然增加的阻抗上。所以，Intel不会让通道的长度影响到DST晶体管上的漏极和接受端的长度。Intel通过降低关状态电压有效的将产品工作电压降到了1.0V以下，并表示可以在2010年达到0.6V。上面技术的两项技术，（High k）高k门电介质和（DST）耗尽型衬底晶体管就是为了适应Intel的Terahertz晶体管而开发的，Intel宣称其可以做出32纳米的
27、晶体管(15nm的通道长度)，0.75V电压和1THz运行频率。（5）来自AMD的努力AMD也在HiP8中使用SOI技术，而不像Intel那样只准备用在1000Ghz的晶体管上。从理论上来讲，这样做同时也会伴随着晶体管外部阻抗上升到一个目前无法接受的程度。不过AMD已经做好的准备，我们很快就讲见到更快频率的晶体管。从以往的经验我们可以知道，新的晶体管将使得性能增加20%，同时还将降低泄漏电流和门极宽度。AMD也在计划着未来，他们计划用高K值的金属硅酸盐(metal-silicate)绝缘材料取代目前的二氧化硅，这样将使得泄漏电流下降100倍，而不像Intel说的可以达到10000倍。同时，AMD还计划使用SiGe(锗化硅)来取代纯粹的硅作为驱动电流的通道，和Intel在90纳米制程上采用的应变硅有些类似。不过下面这个物理现象将不能忽视：硅晶格会根据下面的元素的晶格调整自己(在这里就是锗了)，并将延展一些。根据IBM的说法，这样潜在的阻抗将会比普通的硅下降70%，而晶体管性能将提高35%。
