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1、PRS基本故障與排除1、PRS 故障訊息2、故障原因排除一、 PRS 故障訊息FAULT ! EXHAUST FAIL !故障！排氣 失敗！Fault : Total process time is large than setting time about 10 second 故障！總製程時間大於設定時間約10秒Fault : 測漏- 不合格! 故障 : 測漏- 不合格! FAULT! ,ICP_RF Reflective power is large than setting value & P_RF_F & %故障！射頻反射功率大於設定值設定內容FAULT! ,ICP_RFs Forwa
2、rd power is large than setting value & P_RF_F & %故障！射頻輸入功率大於設定值設定內容FAULT! ,ICP_RFs Forward power is less than setting value & P_RF_F & %故障！設頻輸入功率小於設定值設定內容FAULT! COMPRESS AIR FAIL !故障！壓縮空氣(CDA供壓)失敗！FAULT! MFC( & i & ) flow is large than setting value & P_GAS_F & %故障！質流控制器(MFC)流量大於設定值！FAULT! MFC( & i
3、& ) flow is less than setting value & P_GAS_F & %故障！質流控制器(MFC)流量小於設定值！FAULT! PRESSURE(MKS) is large than setting value & P_MKS_F & %故障！壓力(MKS)大於設定值！FAULT! PRESSURE(MKS) is less than setting value & P_MKS_F & %故障！壓力(MKS)小於設定值！FAULT! PUMP system fail !故障！幫浦系統失敗！FAULT! WATER FLOW fail !故障！冷卻水流量失敗！Fault
4、: CHAMBER LID OPEN !故障！腔體門蓋開啟！Fault: ERROR_FLAG RISE 故障！錯誤訊號發生！Fault: GAS CONTROL ERROR !故障！氣體控制錯誤！Fault: I7000 DI MODULE( & (CH_LID &H10000) & ) ERROR !故障！I7000 DI(數位輸入) 模組 錯誤 !Fault: I7000 DO MODULE( & (RV_VALVE &H10000) & ) ERROR !故障！I7000 DO(數位輸出) 模組 錯誤 !Fault: I7000(SMC) ERROR !故障！I7000 (SMC) 錯
5、誤 !Fault: ICP_RF AUTO MATCHING ERROR !故障！射頻自動匹配錯誤 !Fault: MACHINE INITAL ERROR !故障！匹配初始錯誤 !Fault: MKS- CLOSE - ERROR !故障！MKS(節流閥)關閉錯誤 !Fault: MOTOR BREAK ERROR !故障！(旋轉模組)馬達損壞錯誤 !Fault: MOTOR SET ERROR! 故障！(旋轉模組)馬達設置錯誤 !Fault: PUMP DOWN TIME OUT !故障！抽氣時間過長 !Fault: Pump to base pressure failed ,initia
6、l time out!故障！抽至基楚壓力失敗，初始時間過長 !Fault: READ PRESSURE(MKS)- ERROR !故障！讀取壓力(MKS gauge)失敗 !Fault: RF CONTROL ERROR !故障！射頻控制失敗失敗 !Fault: Rotor Speed read error !故障！轉子(旋轉模組)速度讀取失敗 !Fault: SERVO PRESSURE ERROR !故障！伺服壓力失敗 !Fault: SET ICP_RF POWER OFF ERROR.故障！設定射頻電源關閉失敗！Fault: SET ICP_RF REMOTE MODE ERROR.故
7、障！設定射頻遙控模式失敗！Fault: SET ICP_RF SECHO OFF ERROR.故障！設定射頻回應關閉失敗！Fault: SET MOTOR STOP ERROR ! 故障！設定馬達停止失敗！Fault: SYSTEN INITAL ERROR !故障！系統初始化失敗！Fault: THROTTLE VALVE OPEN (100%)-ERROR !故障！節流閥全開失敗！ 故障原因與排除1. FAULT ! EXHAUST FAIL ! 故障！排氣失敗！原因: 早期PRS於PUNP排氣端有加設EXHAUST (排氣)負(背)壓偵測，該負(背)壓需小於-0.02torr，該讀值可由
8、PUMP排氣端SMC gauge上讀取。(目前該設置均已取消)處理:1.確認PUMP排氣端是否設有負壓偵測器，若有則檢查讀值是否正確，確認廠務EXHAUST是否開啟，調整gauge設定測試gauge是否正常。2.進入電腦程式系統，最高權限中元件組合項目，確認EXHAUST單元是否被勾選。2. Fault : Total process time is large than setting time about 10 second故障！總製程時間大於設定時間約10秒。原因:因系統警告或軟體BUG造成製程動作延遲。處理:進行軟體修正BUG。3. Fault : 測漏- 不合格!原因: 進行系統測漏
9、程序，其結果超出設定時發出。處理: 1.重新確認測漏條件，抽氣時間是否設定太短，漏率標準是否太高。2.檢查腔體內是否清潔，O-ring是否破損。4. FAULT! ,ICP_RF Reflective power is large than setting value故障！射頻反射功率大於設定值原因: 射頻反射功率達到程序項目內設定之警告值。處理: 1.腔體污染，請清潔腔體。2.程序項目內參數異常，請檢查a. RF Reflective power設定百分比過低！ b.程序間延遲時間(delay time)過短！ c.子程序順序錯誤3.RF cable鬆脫、斷線或短路。 4.Matcher b
10、ox matching異常，Coil銅線鬆脫、斷線、短路或氧化。5. FAULT! ,ICP_RFs Forward power is large than setting value故障！射頻輸入功率大於設定值原因: 射頻輸入功率達到程序項目內設定之警告值。處理: 1.使用dummy load進行射頻產生器(RF Generator)輸出功率測試。2.確認射頻產生器內輸出功率調整差值是否變動。6. FAULT! ,ICP_RFs Forward power is less than setting value故障！設頻輸入功率小於設定值原因: 射頻輸入功率達到程序項目內設定之警告值。處理:
11、1.使用dummy load進行射頻產生器(RF Generator)輸出功率測試。2.確認射頻產生器內輸出功率調整差值是否變動。7. FAULT! COMPRESS AIR FAIL ! 故障！壓縮空氣(CDA供壓)失敗！原因: GAS box內CDA壓力偵測器達到警告值。處理: 1.檢查廠務供氣是否正常。2.檢查管路是否阻塞。3.檢查CDA壓力偵測器是否正常。8. FAULT! MFC( & i & ) flow is large than setting value！故障！質流控制器(MFC)流量大於設定值原因: 質流控制器流量達到程序項目內設定之警告值。處理: 1.將供氣手動閥關閉，M
12、FC流量設定至全開，抽真空後，將MFC歸零後再開啟手動閥測試。2.更換MFC。 9. FAULT! MFC( & i & ) flow is less than setting value！故障！質流控制器(MFC)流量小於設定值原因: 質流控制器流量達到程序項目內設定之警告值。處理: 1.檢查廠務端供氣是否正常。2.檢查手動閥、氣動閥、電控閥件是否動作正常。3.將供氣手動閥關閉，MFC流量設定至全開，抽真空後，將MFC歸零後再開啟手動閥測試。4.更換MFC。10. FAULT! PRESSURE(MKS) is large than setting value故障！壓力(MKS)大於設定值！
13、原因: CT1壓力(MKS Gauge)讀值大於程序內部設定之警告值。處理: 1.腔體污染，內含過量粉塵或水氣，請清潔腔體。2.PUMP抽氣效率不良，測試PUMP底壓。3.腔體或氣體管路漏氣，請更換O-RING或GAS KEY。11. FAULT! PRESSURE(MKS) is less than setting value故障！壓力(MKS)小於設定值！原因: CT1壓力(MKS Gauge)讀值小於程序內部設定之警告值。處理: 1.廠務端氣體未開或供氣不足。 2.MFC下方氣動閥未開啟，檢查氣動閥動作或CDA供氣是否正常。3.MFC或腔體或氣體管路阻塞，請檢查管路。12. FAULT!
14、 PUMP system fail ! 故障！幫浦系統失敗！原因: 系統啟動時PUMP上方SMC vacuum switch未達到設定值(-700mmhg)處理: 1.檢查PUMP有無起動，冷卻水是否開啟，水流量感測器是否正常。2.檢查真空開關是否歸零，PUMP抽氣是否達到設定值。13. FAULT! WATER FLOW fail ! 故障！冷卻水流量失敗！原因: 系統啟動時冷卻水流量未達到設定值處理: 1.檢查廠務冷卻水是否開啟。2.檢查PUMP或系統冷卻水是否開啟。3.檢查水流量感測器是否正常。14. Fault: CHAMBER LID OPEN ! 故障！腔體門蓋開啟！原因: 系統啟
15、動時腔體門未關閉。處理: 1.檢查腔體門是否關閉。2.檢查腔體上方兩顆安全開關動作是否正常。15. Fault: ERROR_FLAG RISE故障！錯誤訊號發生！原因: 系統發生錯誤訊號。處理: 1.檢查錯誤訊號發生原因。16. Fault: I7000 DI MODULE ERROR ! 故障！I7000 DI(數位輸入) 模組 錯誤 !原因: DI(7053)數位控制模組異常。處理: 1.檢查所有數位模組燈號、電源(24V)是否正常。2.檢查數位模組(7520)RS232轉RS485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7053)數位模組是否正常。17. Fault: I7000 DO MOD
16、ULE ERROR ! 故障！I7000 DO(數位輸出) 模組 錯誤 !原因: DO(7043)數位控制模組異常。處理: 1.檢查所有數位模組燈號、電源(24V)是否正常。2.檢查數位模組(7520)RS232轉RS485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7043)數位模組是否正常。18. Fault: I7000(SMC) ERROR ! 故障！I7000 (SMC) 錯誤 !原因: SMC數位控制異常。處理: 1.檢查所有SMC控制訊號是否正常。2.檢查數位模組(7520)RS232轉RS485訊號是否正常。3.檢查數位模組(7053)數位模組是否正常。19. Fault: ICP_RF
17、AUTO MATCHING ERROR ! 故障！射頻自動匹配錯誤 !原因: 射頻匹配器無法自行匹配。處理: 1.檢查匹配器內電容及馬達動作是否正常。2.檢查匹配器電源是否正常。3.檢查匹配器控制模組是否正常。20. Fault: MACHINE INITAL ERROR ! 故障！匹配初始錯誤 !原因: 射頻匹配器無法連接。處理: 1.檢查匹配器電源是否正常。2.檢查匹配器訊號線是否連接21. Fault: MKS- CLOSE - ERROR ! 故障！MKS(節流閥)關閉錯誤 !原因: MKS(節流閥)無法關閉處理: 1.檢查MKS(節流閥)動作是否正常。22. Fault: MOTOR
18、 BREAK ERROR ! 故障！(旋轉模組)馬達損壞錯誤 !原因: (旋轉模組)馬達損壞！處理: 1.檢查(旋轉模組)馬達供電是否正常。2.檢查(旋轉模組)馬達動作是否正常。3.檢查(旋轉模組)控制器訊號是否正常。23. Fault: MOTOR SET ERROR! 故障！(旋轉模組)馬達設置錯誤 !原因: (旋轉模組)馬達設置錯誤！處理: 1.檢查(旋轉模組)馬達供電是否正常。2.檢查(旋轉模組)馬達動作是否正常。3.檢查(旋轉模組)控制器訊號是否正常。24. Fault: PUMP DOWN TIME OUT ! 故障！抽氣時間過長 ! 故障！抽氣時間過長 !原因: AUTO RUN
19、時腔體後SMC真空開關未達設定值(n2:-740mmhg)！處理: 1.檢查腔體門板是否緊密。2.檢查SMC真空開關設定是否過低。3.檢查PUMP抽氣效能是否衰竭。25. Fault: Pump to base pressure failed ,initial time out! 故障！抽至基楚壓力失敗，初始時間過長 !原因: AUTO RUN時PUMP初始(INITIAL)抽氣超過30分鐘。處理: 1.檢查腔體門板是否緊密。2.在手動操作(MAINTENANCE)畫面確認PUMP初始(INITIAL)抽氣設定是否過低。3.檢查腔體或產品是否漏氣(溢氣)26. Fault: READ PRES
20、SURE(MKS)- ERROR ! 故障！讀取壓力(MKS gauge)失敗 !原因: CT1真空計無讀值。處理: 1.檢查CT1訊號線是否脫落。2.檢查MKS控制器是否正常。3.檢查DI模組接點是否正常。27. Fault: RF CONTROL ERROR ! 故障！射頻控制失敗 !原因: 射頻產生器無法控制。處理: 1.將系統關閉，離開電腦控制程式。2.將射頻產生器關機後重新開啟。3.檢查射頻產生器通訊設定(9600)28. Fault: Rotor Speed read error ! 故障！轉子(旋轉模組)速度讀取失敗 !原因: 無法讀取旋轉模組轉速。處理: 1.檢查DI模組訊號接
21、線是否正常。2.檢查旋轉模組控制器是否正常。29. Fault: Rotor Speed read error ! 故障！伺服壓力失敗 !原因: MKS(節流閥)無法控壓。處理: 1.確認製程氣體流量，在控壓範圍內！(RF POWER ON氣體解離，腔體壓力會更大)2.檢查MKS(節流閥)動作是否正常，進行LEARNING。3.確認腔體真空回壓率是否正常，有無漏氣。30. Fault: SET ICP_RF POWER OFF ERROR. 故障！設定射頻電源關閉失敗！原因: RF 射頻產生器電源無法關閉(電腦上無法操作)。處理: 1.切換至手動關閉。2.檢查DO模組訊號接點是否正常。31.
22、Fault: SET ICP_RF REMOTE MODE ERROR. 故障！設定射頻遙控模式失敗！原因: RF 射頻產生器無法搖控(電腦上無法操作)。處理: 1.將系統關閉，離開電腦控制程式。2.將RF電源關閉後重新開啟。3.檢查射頻產生器通訊設定(9600)32. Fault: SET ICP_RF SECHO OFF ERROR. 故障！設定射頻回應關閉失敗！原因: RF(射頻)無法關閉回應。處理: 1.切換至手動關閉。2.檢查DO模組訊號接點是否正常。33. Fault: SET MOTOR STOP ERROR ! 故障！設定馬達停止失敗！原因: 旋轉模組馬達無法停止運轉。處理: 1.檢查DO電控模組訊號是否正常。2.確認馬達系統是否短路。34. Fault: SYSTEN INITAL ERROR ! 故障！系統初始化失敗！原因: 執行AUTO RUN INITIAL超過30分鐘！處理: 1.檢查腔體門是否緊密。2.檢查初始設定值是否過低。3.檢查MV VALVE是否開啟。4.簡查幫浦效能是否正常。35. Fault: THROTTLE VALVE OPEN (100%)-ERROR ! 故障！節流閥全開失敗！原因: MKS(節流閥)無法開啟至100%處理: 1.檢查MKS(節流閥)動作是否正常。
