《doc】《真空设计手册》（第三版）20045月出版.doc》由会员分享，可在线阅读，更多相关《doc】《真空设计手册》（第三版）20045月出版.doc（2页珍藏版）》请在三一办公上搜索。
1、真空设计手册（第三版）2004年5月出版2004?第二期(maintainpump=0),判断真空度2(vacuity2=1时);关光栏阀(1itbarriervavle=l),开截止阀(cutvavle=l),判断真空度3(vacuity3=1时);开氮气控制(nitrogenontro=l)和氩气控制(ar.goncontrol=l).开工件旋转(workpiecerun=l),开靶运行(buttrun=l),加靶电流(buttcurrentl,2,3),自动运行(crafrun=1,包含参数设定的模块),运行完毕开充气阀(aeratevavle=l),开门信号(onoffdoor=l),
2、取工件,进行下一个镀膜工艺.从以上的仿真分析可知,整个镀膜工艺流程按设定的参数自动运行,采用FPGA控制系统所设计的新型真空镀膜机成功的通过了实际工程验证.3结束语通过对FPGA对太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的整体设计,仿真分析和工程验证,成功地实现对镀膜工艺的控制.该控制系统设计趋于简单,开发时间相对缩短;整个控制系统的集成度工艺与应用较高,保密性大大增强;核心控制器FPGA的外围器件少,所占的空间小,抗干扰能力强,可靠性高;数据通讯结构趋于简单化;系统维护更方便,快捷;工程造价成本大大降低;采用FPGA所设计的真空镀膜机控制器已在真空机电公司成功运行.参考文献1黄正谨,徐坚,章小
3、丽.CPLD系统设计技术入门与应用M.北京:电子工业出版社,2002.2潘松,黄继业.EDA技术实用教程M.北京:科学出版社,2002.3侯伯亨.VHDL硬件描述语言与数字逻辑电路设计M.西安:西安电子科技大学出版社,2002.4高凯,王世练,张尔扬.基于FPGA的伪码测距电路的设计与实现J.电子工程师,2000,(6).5徐欣,孙广富,卢启中.基于FPGA的嵌入式系统设计.E元素科技EB.j3.htm6衡阳市真空机电设备公司.scs一850太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机使用说明书CP,2002.真空设计手册(第三版)2004年5月出版本书由达道安主编,共分16章,包括真空物理,真空工业产品,系统设计,真空获得及测量,真空材料及工艺.真空元件及检漏,真空应用及工程实例等内容,反映了21世纪真空科技发展的水平和趋势.附录部分还提供了大量实用数据,标准及有关厂所简介.260万字,邮购价230元.邮购地址:北京55信箱激流书店金莉收,邮编:100053.开户行:招商银行展览路支行,帐号:0982817310001;户名:北京激流图书有限公司.电话:83154081.
