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1、 镀膜机安全技术操作规程版 本A1受控标识文件编号Rt-sc-001.一、目的消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。二、适用范围本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。三、安全操作规程1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到5Pa时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电
2、源。6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。8、拆装弧靶时，应先关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。9、更换靶材时，不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零件，必须清除油污及汗渍。10、开启溅射室盖时，室内应处于常压，决不允许真空室处于真空状态时开启室盖。11、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。变更履历A12012.4.20版本标记更改处数描述姓名日期拟 制审 核标 准 化批 准第1页共1页
