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1、丝网、分测故障检修参考故障现象原因分析解决方法一道吸碎硅片 CDA有时不够稳定CDA吹气的阀岛有脏阻现象两侧风刀或吹气管道脏阻两侧风刀吹飘片子调整吹气调节阀清洁阀岛、吹气管道和吹气调节阀等，必要时更换清洁两侧风刀或吹气管道调整风刀的吹气方向及吹气调节阀大小一道连吸多片风刀吹气太小风刀没有吹开顶面的片子上料盒内硅片顶面过高，两侧风刀出气口过低适当调大吹气调节阀调整风刀的吹气方向调整两侧对射光纤头的上下位置 调整风刀的吹气口方向 行走臂上下电机报警电机转动不灵活或卡住上下位置出错行走臂上下不灵活或卡住行走臂辅助汽缸失灵elmo卡程序出错或损坏更换电磁抱闸；电机绕组短路，需更换调整参数；紧牢编码器转
2、轴螺丝；齿带绷紧或更换齿轮箱内碎片清理，加润滑脂，必要时更换齿轮调节气压大小，必要时更换重新导入程序或更换elmo卡转盘报警圆光栅头位置偏移圆光栅尺位置有偏差转盘转动时受外力卡住转盘本身转动不灵活或卡死elmo卡程序出错或损坏重新调整，确保指示灯常绿（原点除外），必要时更换调整圆光栅尺一周，确保光栅头绿色指示灯常绿（原点除外）紧牢顶杆低端螺丝；调整与顶杆低端靠近的接近开关位置拆下转盘的转子， 轴承清洗、上润滑油重新导入程序或更换elmo卡行走臂直线电机报警电机滑块摩擦力较大行走臂滑块摩擦力较大电机位置超出上下限elmo卡程序出错或损坏电机线圈短路烧毁用酒精清洁后，给导轨、滑块加适量的导轨油，必
3、要时更换用酒精清洁后，给导轨、滑块加适量的导轨油，必要时更换重新设置原点参数或上下限参数重新导入程序或更换elmo卡更换直线电机烘箱机械手上下电机报警电机上下受阻，摩擦力较大电机动作超限行走臂向上动作时阻力较大烘箱温度过高elmo卡程序出错或损坏双作用气缸实效、气压偏小或损坏给导轨、滑块加润滑油，必要时拆下更换调整参数调整双感应气缸CDA大小，必要时更换调大烘箱前面顶部的排风量重新导入程序或更换elmo卡调节好双作用气缸，必要时更换烘箱夹碎夹爪磨损、变形夹爪夹取硅片时过紧或过松硅片被夹取时动作较大产生碰撞托盘不在合适的位置托盘两侧的链条前后位置不适当更换新的夹爪适当调整夹爪闭合时的参数调整夹爪
4、参数，确保抓取时夹爪内侧碰不到或轻触硅片调整托盘两侧边的调节挡板调整托盘两端链条两侧的调节档块卸载顶杆顶碎硅片顶杆变形顶杆的底盘变形顶杆的顶部不水平顶杆的上端面不平滑台面真空释放缓慢顶杆电机线圈烧毁顶杆电机滑块损坏elmo卡程序出错或损坏校正顶杆，必要时更换校正底盘，必要时更换打磨顶杆，必要时更换顶杆和底盘用细纹路的锉子挫平延长真空释放时间；台面清洗，电磁阀阀芯清洗，必要时更换更换直线电机更换电机滑块重新导入程序或更换elmo卡印刷上下刮刀报警电机过载发烫电机上下摩擦力较大或被卡住调整参数，使刮刀不要超过行程范围 清洁导轨和滑块，必要时更换烘箱链条不旋转，有时电机报警电机轴销磨损或电机损坏电机
5、减速箱损坏链条位置不正确，左侧下两个接近开关不良链条卡死托盘断更换电机轴销或电机更换电机减速箱复位，使链条位置正确检查接近开关，必要时更换打开烘箱，找出卡死部位检查托盘，更换托盘探针上下电机报警 闭合时，探针电机调得过低 测试台导轨、滑块不灵活 弹簧或弹簧调节螺丝卡住测试台 探针电机上下不灵活 探针上下电机受热烧毁 辅助气缸串气损坏 调节电机原点或help内探针闭合参数 导轨和滑块的清洁、加油，甚至更换 重新调好弹簧，使弹簧调节螺丝在适合位置 探针电机导轨和滑块的清洁、加油，甚至更换 更换探针上下电机 更换辅助气缸分测承载盒内电池片不能上升 承载盒左右两侧的对射光纤没有对准 光电传感器没有设置
6、好或损坏 重新调节对射光纤头位置，直到对射准确为止 重新调整光电传感器，必要时更换回料板不工作气缸内的密封圈磨损负责上下动作的气管漏气或折叠相关阀岛故障拆下气缸，更换密封圈整理折叠气管，更换破损气管拆下阀岛清洗，如损坏则更换上料臂抽碎片子上料感应器感应不到片子上料臂前端白色挡块磨损有缺槽调节感应器的灵敏度，如坏则更换更换白色挡块001 0E09 01 Aux. Circuits not active w1机器附属电源丢失，“P2”和0E09输入信号信号为低解除机器上所有“emergency”按钮，然后按下绿色的“auxiliaries”按钮，并检查输入信号0E09是否为高。003 Printe
7、r 01 Machine A hasnt been reset印刷机A打开后复位进程没有被执行确保有气压和真空；解除机器上所有“emergency”按钮；按下绿色的“auxiliaries”按钮；使机器以“Auto”模式运行（黑色旋钮）按“Reset”，reset进行开始；等reset进程完成。（绿色的“reset”按钮不再闪烁，一直为绿色）004 Oven 01 machine B hasnt been reset烘箱B没有复位按复位印刷机F的方法来复位烘箱B033 0E12 01 Insufficient air pressure W1气压供应比所需要的低检查气压表的显示值是否工作在6 b
8、ar；检查气压传感器0E12035 0E13 01 Insufficient main vacuum W1真空供应比所需要的低检查真空表负压是否工作在0.07MPa；检查负压传感器0E13046 Cal 14 calibration in progress某个相机校准正在进行等待校准完成047 cal 14 calibration error相机采集到的测量数据不完全正确。确保载入的是正确的程序文件；检查镜头是否太脏或者变形；检查焦距和光线；重新设定模式；检查搜索区域048 cal 14 Linear calibration error某个线型校准不对重复一下047警报的操作方法；检查x，y轴
9、和theta的移动是否在可允许的范围之内；检查马达是否正常工作049 Angular calibration error角度电机校准出现错误重复一下047警报的操作方法；检查theta的移动是否在可允许的范围之内；检查马达是否正常工作042 Axes check page 42-elmo manual, error with elmo MGxx.某个Mgxx马达错误去42-elmo页选择相应的马达并检查相关的参数Elmo driver not operationalelmo卡没有准备好通信检查elmo连接；重新安装卡上的电缆；关闭机器并重新启动Motor short circuitElmo侦测
10、到一个短路检查从马达到elmo卡电缆。检查马达本身的连接器。Stopped by a limit switch限位开关发出报警，elmo卡切断马达供电 让马达和限位开关断开；把马达复位。External inhibit在elmo卡数字输入信号关闭解除所有emergency按扭并按下auxiliaries按扭Position error exceeded理论值和实际值之间出现误差确保电源；按start cycle按扭后，等上几秒后，马达恢复；没有动力时检查马达的机械摩擦；恢复elmo参数为原始值。Failed to find electrical zero复位马达开始时检测线圈的换向情况失败关掉
11、马达电源（按emergency按扭）并检查移动是否有障碍；用composerelmo软件下载参数；检查编码器工作是否正常Positive position limit exceeded马达正位置极限的设定问题返回到马达正常值的范围内；复位马达Negative position limit exceeded马达负位置极限的设定问题返回到马达正常值的范围内；复位马达Time-out PDO2 messageCan网络通信超时重新连接can连接器。关闭机器并重新启动Motor hardware fault热安全系统探测到马达过热并关闭马达检查马达到elmo卡的电缆；检查编码器工作是否正常；确保马达没
12、有被某个机械制动所阻止Wait axis in position window软件命令所希望的位置不是所期望的位置转到手动模式检查马达移动是否正常；检查机械摩擦是否过大；复位整个机器。RTC故障检修参考故障现象原因分析解决方法温度的偏移不能通过更改设置点而得到修正SCR故障或需要校正校正SCR或更换SCR。区域温度无规律地波动PID参数没有调整好调整PID参数过温或欠温警报可能是热电偶损坏更换热电偶加热区温区报警加热灯烧毁更换加热灯管在处理过程中出现#，计算机没有和控制器建立通迅检测计算机和控制器内的以太网卡;检测以太网连接器在屏幕操作时数据显示冻结程序块不能和控制器进行通迅检测RUN和REC
13、指示灯是否点亮;TRX指示应该周期性的闪烁.试着更换继电器或程序块.传动速度出错离合器松脱传送带运行监示传感器磨损或撕裂链条连接的齿轮间的轮距不适合旋紧离合器更换运行监示传感器重新调整轮距传送带不动作输送带动作检测传感器不工作马达驱动印刷电路板上的保险丝“F1”和“F2”烧断输送带传动马达烧坏马达速度控制印刷电路板上的S1、S2没有输入信号清洁或更换动作检测装置的齿轮和传感器更换保险丝“F1”和“F2”更换马达检查S1、S2信号输入模块及相关接点9区温度报警加热灯管烧坏根据报警信息更换加热管，可用万用表来判断已损坏的灯管。不能登录,OPTO 22整个控制系统没有电源安全密封盒里的保险丝“FB”
14、烧断控制器和计算机的以太网通讯电缆没连接好以太网没有安装设置好更换保险丝FB。重新连接重新安装设置烧结炉在“warm up”模式下超出15分钟主接触器“K1”线圈没有得电或损坏“K3”和“K6”继电器没有得电或损坏安装在OPTO 22板上“K4”继电器指示灯不亮。检查线圈供电电路或更换“K1”检查线圈供电电路或更换“K3”和“K6”检查“K4”和OPTO 22板加热是在一个失控的状态下，在设定一个较底的温度下不能关断，而是持续升温。SCR没有校正好SCR发生短路故障校正SCR的ZERO和SPAN更换SCR区域温度变化很大SCR 没有校正好空气流量表没调节好相邻的区域温度相差太大PID 没有调节
15、在适当值校正SCR的ZERO和SPAN调节空气流量表降低相邻区域温度的偏差重新调节PID 在适当值Despatch故障检修参考故障现象原因分析解决方法主电路断路器不能复位烧结炉没有供电电源急停按钮有一个没有拔出或者其中有一个断开变压器103T初次级上的保险丝烧断确保烧结炉外面的供电正常急停按钮都在拔出位置用万用表检查通断，更换烧断的保险丝进气风扇和排气风扇不运行110交流变压器初级没有380V的交流电压110交流变压器次级没有380V的交流电压相应风扇支路的保险丝烧断相应风扇的交流接触器坏相应风扇的速度转换开关坏或关掉风扇电机卡死或线圈绕组烧坏更换保险丝801FU更换变压器或保险丝805FU更
16、换相应支路的保险丝更换相应的交流接触器更换相应的速度转换开关或打开解除卡死部位或更换风扇主断路器已合上，但是PC不能通电运行110VAC线路保险丝烧断UPS不间断电源打不开PC显示器电源没有打开PC电缆的各个连接点有故障更换保险丝维修或更换UPS电源打开PC显示器电源检查PC电缆的各个连接点传送带电机在电源打开运转时，电机却不转PC显示器上有报警信息传送带电机驱动卡上的绿色电源指示灯不亮0-20MA速度控制信号线无输出。传送带直流电机坏更换报警信息查出故障原因更换电机驱动卡上的保险丝或驱动卡检查模块及相关控制电路修理或更换电机传送带电机转动，但是输送带不动输送带被机器卡住或者缠绕滑片上面的紧固
17、螺帽太松输送带偏长开盖检查紧固滑片上面的螺帽去掉一部分，确保长度适中在烧结炉卸货出口处的荧光灯不亮荧光灯没有供给电源荧光灯坏检查线路，确保电源供给更换荧光灯干燥箱或烧结箱不能加热。PC显示器上有报警信息SCR上端的加热电源保险丝烧断加热灯管烧坏SCR上没有0-20MA的电平控制信号输入加热灯管两端没有输入电压SCR上的电源指示灯不亮更换报警信息查出故障原因用万用表查出烧断的保险丝更换损坏的加热灯管检查模拟I/O模块及相关的接线检查SCR及相关的控制电路修理或更换SCR冷却循环水没有流量外围的循环水没有打开进水阀和出水阀没有同时打开冷却水过滤器阻塞电磁阀线圈电压不正常电磁阀线圈烧毁打开外围的循环
18、水同时打开进水阀和出水阀拆下过滤器进行清洗检查电磁阀供电电路更换电磁阀没有压缩空气外围没有CDA供给CDA进气阀没有打开CDA进气电磁阀无电压供给气体调压阀没有设定在正确的位置通知外围打开CDA供给打开CDA进气阀门检查电磁阀供电电路重新调整气体调压阀烧结炉的烘箱在打开时，底部不能降下来烘箱上下接缝处的紧固螺丝没有全部拆下“NORMMAINT”开关不在“MAINT”位置“RAISELOWER”开关上没有110VAC输入电压升降机传动装置允许继电器”没有通电闭合升降机电源供给变压器没有380VAC输入电压升降机电源供给变压器次级没有24VAC电压升降机电路桥式整流电路没有24VDC输出全部拆下紧
19、固螺丝调整到“MAINT”位置检查保险丝及供电回路检查四个超位限定开关检查初级的保险丝修理或更换变压器检查24VDC供电保险丝或桥堆烘箱箱体打开后不能合上。“NORMMAINT”开关不在“MAINT”位置“RAISELOWER”开关上没有110VAC输入电压升降机传动装置允许继电器”没有通电闭合升降机电源供给变压器没有380VAC输入电压升降机电源供给变压器次级没有24VAC电压升降机电路桥式整流电路没有24VDC输出调整到“MAINT”位置检查保险丝及供电回路检查四个超位限定开关检查初级的保险丝修理或更换变压器检查24VDC供电保险丝或桥堆Furnace6 区温度升不到设定值Furnace6
20、 区加热灯管坏烘箱顶端的排风调节过大更换损坏的灯管调小排风调节阀门BTU烧结炉常见故障分析序号故障现象原因分析解决方法情况说明11传送带运动速度不稳定 炉膛内有异物阻碍 传送带与炉膛侧面有不当摩擦 电机编码器损坏或松动 张紧轮因气压不足张紧度不足 齿轮定位销松动 电机损坏 传动轴承缺乏润怀或者损坏检查炉膛内部是否存在异物检查传送带运动轨迹是否正常检查CDA气压是否正常检查编码器紧固螺丝是否松动或者编码器损坏，必要时更换检查定位销是否工作脱落检查传动轴承润滑油是否老化，必要时更换2传送带卷曲烧结炉持续工作在高温状态在高温时，传送带停止给烧结炉降温从接头处拆开传送带，更换3传送带跑偏 驱动轮和从动
21、轮不在同一直线上 返回轮工作不正常，偏向一边 张紧轮两边的压力不均匀检查整个传动系统，保证驱动轮，从动轮在同一直线上工作。调整返回轮使履带走向正常。检查张紧轮两边的压缩弹簧，使其受力均匀。4链齿轮结构工作不正常，有异响。驱动齿轮和传动齿轮位置有偏差，或者已被磨损。链条张紧程度不正常或者缺乏润滑。检查齿轮对准状况，调整使其在一条线上。如果齿轮或者链条被严重磨损，则更换检查调整链条张紧程度清洁齿轮和链条，重新上润滑油5正常生产时，传送带滑动张紧轮压力不足，造成传送带滑动调节张紧轮两边的弹簧6开启WINCON程序后显示无连接 电脑与INTELLIMAX连接网线断开 INTELLIMAX无响应 硬件故
22、障检查确认相关接接及网线接头检查INTELLIMAX上24v电源检查网络连接设置TCP/IP为10.10.10.100和255.255.255.0重装OS软件。7烧结完成的产品温度过高 冷却器有故障 传送带速度过快，冷却时间太短 冷却区气流量不足。检查冷却区水流量检查传送带速度，如果过快，请降低带速增大冷却区气流量设定值更换空气过滤器8温度显示超出量程热电偶连接不正常或者损坏检查热电偶及相关连接线路如果热电偶损坏，请更换9超温状况 已损坏的控制热电偶导致加热功率过高 SSR损坏 OVERTEMPERATURE模块损坏检查超温报警热电偶电路，如果热电偶损坏，请更换使用钳形电流表检查流过SSR的电
23、流大小检查SSR的控制电压,当输出功率为100%时，为5v如果SSR损坏，请更换检查OVERTEMPERATURE模块，必要时更换10没有加热功率输出 当OVERTEMPERATURE模块发现有超温报警时，控制器自动关闭加热 加热交流接触器损坏 控制用热电偶损坏 主电路断路器跳开从WINCON上检查是否存在报警检查交流接触器是否工作正常检查热电偶及其相关连接是否正常检查主电路断路器是否跳开11某个加热区无功率输出 检查热电偶及相关电路是否断开 加热控制或者主电路故障（可能是SSR，断路器，INTELLIMAX及配线问题） 加热灯管损坏 PID参数没有设置检查热电偶及其相关电路检查相关主电路及加
24、热控制电路元件和配线检查加热灯管是否损坏打开WINCON检查PID参数是否设置正常12气流量不足 外部气压不足 空气过滤器太脏清理管路及过滤器检查外部气源压力13加热灯管不工作 WINCON菜单中加热项未点选 超温状态 加热管断路 SSR损坏 热电偶损坏在WINCON主界面上察看加热项是否已点选检查加热主电路检查SSR及加热灯管是否损坏，必要时更换检查热电偶是否显示正常，必要时更换14加热管超温工作状态 WINCON设置不正确 Overtemperature模块或者热电偶损坏 Intellimax损坏参照WINCON online help设置更换热电偶或者overtemperature 模块
25、检查配线，必要时更换intellimax15冷却水底流量报警冷却水管道电磁阀关闭 水流量控制阀关闭 水流量检测传感器损坏检查水流量控制阀及电磁阀工作uo是否正常检查传感器，必要时更换16冷却水水温逐渐上升 冷却水管道堵塞 外部冷却水压力不足清理管道检查外部供水压力Centrotherm烧结炉常见故障分析序号故障现象原因分析解决方法情况说明11实际测量超温 警报被触发。 信号灯切换到红。 报警喇叭响了相应区的控制热电偶损坏。 最大允许温度高了。 REG97干扰。TMM5干扰。复位喇叭。检查热电偶，有必要的话更换它。检查TMM5。检查REG97。修理完故障后，按“Confirm disturban
26、ce”和“Reset”按钮2监控器超温 警报被触发。信号灯切换到红。 报警喇叭响了最大允许温度高了。热电偶坏了。STC有缺陷。复位喇叭。检查STC，手动复位。检查热电偶，有必要的话就更换。修理完故障后，按“Confirm disturbance”和“Reset”按钮3控制器超温警报被触发。信号灯切换到红色。报警喇叭响了。最大允许温度高了。REG97干扰。TMM5干扰。复位喇叭。检查REG97。检查热电偶。检查TMM5。修理完故障后，按“Confirm disturbance”和“Reset”按钮4温度测量错误警报被触发。信号灯切换到黄色。报警喇叭响了。TMM5和REG97之间的通讯干扰。热电偶
27、坏了。复位喇叭。检查热电偶，有必要的话更换它。检查TMM5。检查REG97。修理完故障后，按“Confirm disturbance”和“Reset”按钮5变频器热空气风扇故障警报被触发。信号灯切换到红色。报警喇叭响了变频器控制干扰。热空气风扇干扰。热量保险丝损坏。复位喇叭。检查变频器。检查热空气风扇。检查热力保险丝。6变频器热空气送风机CAN总线错误警报被触发。信号灯切换到黄色。 报警喇叭响了。 CAN总线干扰。 变频器上的CAN总线连接器松了。复位喇叭。检查变频器。检查CAN总线连接器和CAN电缆。7加热电路故障警报被触发。信号灯切换到黄色。报警喇叭响了固态继电器电流干扰。相关加热电路区被
28、指示。 加热器缺陷。 保险丝缺陷。固态继电器缺陷。复位喇叭。 检查加热器，有必要的话就更换。检查保险丝，有必要的话就更换。检查固态继电器，有必要的话就更换8按“Belt stop” 警报被触发。信号灯切换到红色。报警喇叭响了。Belt stop”按钮被按下复位喇叭。拔“Belt stop”按钮机械解锁。Belt stop”按钮一被按，皮带驱动立刻被关。加热也关了（可选）。气体加热器关（可选）。如果驱动传送没在这次后运行期间再打开，冷却风扇会在后运行后关闭。9外部“Belt stop”按钮被按下设备用户忽视的外部信号。复位喇叭。设备用户必须打开外部信号。10变频器驱动关闭变频器干扰。伺服电机干扰
29、。热力保险丝损坏。复位喇叭。检查变频器。检查伺服电机。检查热力保险丝。驱动关闭。加热关闭（可选）。气体加热器关闭（可选）如果驱动没在这次后运行期间再打开，冷却风扇会在后运行后关闭。11变频器驱动CAN总线错误CAN总线干扰。 变频器上的CAN总线连接器松了。复位喇叭。检查变频器。检查CAN总线连接器和CAN电缆。12滑动离合器的滑程太高传送带堵住阻塞或负荷太高以至于驱动电机内的滑动离合器滑倒。电动机保护装置起作用。复位喇叭。检查马达，如有必要就更换。检查传送带，如有必要就更换。检查负荷。13皮带停止马达仍在运行，但测不到皮带的向前传动。传送带堵住阻塞或负荷太高以至于驱动电机内的滑动离合器滑倒。 电动机保护装置起作用。复位喇叭。检查马达，如有必要就更换。检查传送带，如有必要就更换。检查负荷。降温后，马达保护装置会自动复位。如果这些问题没有出现，一定有很严重的问题发生了。14皮带公差：皮带传送速度超出监系统设置的公差范围之外。传送带过载荷，引起驱动电机内的滑动离合器滑倒。电动机保护装置起作用复位喇叭。移除过载荷。一旦传送带速处于设定值范围内，报警会消失。15刷子清洗器关闭空气升力太低。汽缸开关的位置错误。汽缸开关缺陷。复位喇叭。检查空气升力压力。检查汽缸开关，如有必要就更换。16过程空气压力遗漏压缩空气进口压力太低。减压阀缺陷。主切断阀关闭。检查并做适当调节
