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1、ASM142氦检漏仪操作维护规程一、运行前检查1、清洁检漏仪及其周围的卫生。 2、检查机械泵油窗，看油层是否位于最大值和最小至之间，如果不是，添加油，直到满足要求。 3、检查进气口是否与测试设备连接并紧固好。 4、检查喷枪是否与氦气源连接好。 5、检查电源线是否连接好。 二、操作程序1、将检漏仪左侧下方的电源开关拨到“1”，即打开电源。控制面板指示灯闪烁，分子泵启动，系统进行自检。当自检完成时，测试循环准备就绪，可以进行检测。这时伴有声音提示“detector ready for cycle”且在LCD显示： 2、打开进气阀：a、按F3键（其左边指示灯闪烁）；b、按“+”键，显示屏上显示“IN
2、LET VENT：ON”；c、按F3键。 3、启动测试模式：按“CYCLE”。 4、打开连接管路的阀门。5、观察数码显示屏显示的数值，等到其显示的数值稳定后，可以开始检漏。 6、调节喷枪的流量大小，靠近脸部只要能感觉到气流即可。用喷枪在可能漏气的地方喷射氦气，同时有人观察检漏仪数码显示数值，只要有较大变化（迅速升高），就表明此处漏气，这样就能定位漏气点。通过反复查找，直到找到主要漏气点。 7、检查结束后，关闭连接管路上的阀门，按“CYCLE”键使循环结束，然后关闭电源，即将左侧下方开关拨到“0”8、拆除连接管路。三、设备安全1、禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中。 2、由于氦检漏
3、仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。 待添加的隐藏文字内容33、只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。 4、由于检漏仪内部有真空部件，其存放环境要保持干净、无尘土，并且在仪器不使用时，其进气口要用密封法兰密封，以避免真空元件的污染。5、使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），马上切断电源，并排除故障。 四、维护1、做好检漏仪的日常清洁及使用情况记录工作。2、经常检查机械泵油层是否满足使用要求，即在最大值和最小值之间。 3、在LCD显示屏出现“CRITICAL FAILURE”、伴有提示声音通知操作者部件损坏或应进行维护、数字显示区显示“E.r.”、所有的指示灯熄灭时，这说明比较重要的部件损坏或者应进行维护。通过按“NEXT”键，阅读其相应内容，并跟据其显示的相应内容，进行修理或维护。 4、在LCD显示屏右上角出现闪烁的“i”、数字显示区没有显示、伴有声音提示时，说明检漏仪需要维护，通过按“NEXT”键阅读其相应内容，并对其进行维护就可以恢复正常。
