《W030扩晶机操作指导书.doc》由会员分享，可在线阅读，更多相关《W030扩晶机操作指导书.doc（2页珍藏版）》请在三一办公上搜索。
一、目的： 能熟练掌握本机的性能，正确并安全地使用设备二、适用范围： 制造部扩晶机工序三、参考文件： 无四、职责： 操作员应按操作规程进行操作，并对操作过程进行自我检查五、机台介绍按此键下气缸下降蓝膜电源的开关灯亮为开温度的开关灯亮为开按此键下气缸上升按此键上气缸下压此温度为50 才能作业六、作业程序：1、开机a将电源开关拔到ON位置b将加热开关拔到ON位置2、操作a将固晶环内环放置于加热盘上b将需扩的晶片正面朝上放平于加热盘上c将固晶环外套在蓝膜与内环上。d将压膜架放下扣住，打开下气缸开关到ON，打开上气缸开关ONe将压膜架下松开，抬起，取出已扩好的晶片。3、 关机a将加热开关拔到OFF位置b将电源开关拔到OFF位置4、扩晶机详细操作请参照 扩晶机作业指导书七、注意事项： 1、防静电措施 2、温度的设定应按工艺文件设定 3、晶片膜的放置八、保养项目： 1、机台表面清洁 2、开关检查 3、温度测试待添加的隐藏文字内容1批准审核编制发行单位发行日期
