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1、声表面波器件制作工艺介绍,一.声表面波器件的用途,滤波器:电子通讯 移动设备 无线宽带 广播电视-谐振器:移动设备 无匙安全系统,射频识别：鉴别：身份识别，物体识别，运输方式跟踪-传感器：感知：压力,温度 液体，气体 生物传感-特殊应用：特殊压电材料，改变物理特性,二.声表面波器件工作原理,声表面波SAW（SurfaceAcousticWave）就是在压电基片材料表面产生和传播、且振幅随深入基片材料的深度增加而迅速减少的弹性波。SAW滤波器的基本结构是在具有压电特性的基片材料抛光面上制作两个声电换能器叉指换能器（IDT）。它采用半导体集成电路的平面工艺，在压电基片表面蒸镀一定厚度的铝膜，把设计
2、好的两个IDT的掩膜图案，利用光刻方法沉积在基片表面，分别作为输入换能器和输出换能器。,电转换为声（逆压电效应）,声转换为电（正压电效应）,工作原理是输入换能器将电信号变成声信号，沿晶体表面传播，输出换能器再将接收到的声信号变成电信号输出。,换能器空间图形 对应脉冲响应图形 通过指条位置和重迭长度的设计即可控制换能器的脉冲响应，从而也就控制了换能器的频率响应,SAW滤波器构成及频响压电基片+IDT（半导体工艺）,电-声（SAW）-电 Hfilter(f)=HIDT1(f)*HIDT2(f),三.主要声表面波器件用晶片材料,LT、LN主要功能,压电效应-表面波器件热释电效应-红外探测电光效应-光
3、开关、光调制光折变效应-全息存储非线性光学效应-激光倍频 从上面可以看出LN、LT是一种多功能晶体，我们在实践中注意各种性能对使用和生产相互影响。比如热释电产生静电吸尘、静电击裂晶片影响,常用表面波切型,晶片背面的加工粗糙度,四.声表面波器件制作工艺流程,1.前工序,基片清洗,镀金属膜,涂胶,曝光,显影,腐蚀,探针测试,涂胶,曝光,显影,镀金属膜,剥离,镀保护膜,后工序,湿法工艺,.镀膜,铝,晶片,铝,晶片,光刻胶,.涂光刻胶,.曝光,UV 光,光刻胶,铝,晶片,.显影,.刻蚀,光刻胶,铝,晶片,.去胶,铝,晶片,B、剥离工艺,.涂光刻胶,光刻胶,晶片,.曝光,光刻胶,晶片,UV 光,.显影,
4、光刻胶,晶片,.镀膜,光刻胶,晶片,铝,.去胶,铝,晶片,制作完成图形,主要工艺清洗,全自动清洗机,STANGL精清洗系统,系统精清洗部分由以下构成：RBS1槽、RBS2槽、溢流清洗槽、QDR1槽、QDR2槽、兆声清洗槽、甩干机。STANGL精清洗采用的是湿法批量式清洗，所用的工艺为RBS洗液超声清洗结合SC1洗液兆声清洗的方式，因该清洗系统设计时未考虑酸洗槽，有些晶片在清洗前得预先经过一次酸浸泡处理工艺。该系统专用于3和4标准晶圆片的清洗，日产量为300-400片/班（8小时）。,主要工艺清洗,主要工艺镀膜,设备名称:BAK-SAW 电子束镀膜机 主要技术指标 均匀性 单片：1%片与片：2%
5、批与批：2%镀层材料 AL、AL-CU2%合金、TI、CU 产量 3 英寸 36片/炉 4 英寸 18片/炉 适用工艺 剥离工艺和湿法工艺 单层和多层镀膜,主要工艺镀膜,设备名称:KDF磁控溅射镀膜机 主要技术指标 均匀性 单片 2%AL)23%(sio2)片与片 35%(AL)58%(SIO2)批与批 3 5%(AL)58%(SIO2)镀层材料 AL、AL-CU2%合金、TI 产量 3英寸 16片/炉、4英寸 9片/炉适用工艺 湿法工艺 单层金属膜和SIO2保护膜,主要工艺镀膜,设备名称:LEYBOLD(莱宝)电子束镀膜机 主要技术指标 均匀性 单片 1.5%片与片：2.5%批与批：2.5%
6、镀层材料 AL、AL-CU2%合金、TI 产量 3英寸 36片/炉 4英寸 18片/炉 适用工艺 剥离剥离和湿法工艺 单层和多层金属膜,主要工艺镀膜,膜厚测试:FRT表面轮廓仪,ALPHA-STEP 台阶仪,主要工艺光刻,分布重复式投影曝光,主要技术指标:最小分辨率：0.5um 最大视场：1519mm 掩膜版尺寸：5英寸 晶片尺寸：3英寸 光源波长：I线（365nm）缩影倍率：5：1 曝光工作台定位精度：100nm,适用工艺：剥离工艺和湿法工艺,主要工艺光刻,3和4标准圆片的光刻胶涂覆及曝光后图形显影，满足特征尺寸CD0.35m声表面波器件的光刻胶涂覆及曝光后图形显影工艺制作要求涂敷光刻胶均匀
7、性和一致性：4片内为2%，片与片之间达到2%；,GAMMA涂胶显影机,M2000涂胶显影机,3“、4”标准圆片的光刻胶涂覆及曝光后图形显影，满足特征尺寸CD0.5m声表面波器件的光刻胶涂覆及曝光后图形显影工艺制作要求；涂敷光刻胶均匀性和一致性：3片内为2%，片与片之间达到2%；显影均匀性和一致性：当以CD=0.5um作为测试线宽时，3片内为6%，片与片之间达到6%；涂胶产能达40片/小时，显影产能达40片/小时；,主要工艺光刻,半自动探针测试,主要工艺探针测试,2.后工序,工艺流程,点焊,入库,终测,标记,储能封帽,筛选试验,丝网涂胶,划片,光刻检验,粘片,前工序,点焊检验,初测,预焊,平行封
8、帽,编带,主要工艺丝网涂胶（吸声胶）,丝网涂胶,SAW滤波器凃胶的重要性,主要工艺丝网涂胶,吸声胶,将吸声胶涂到器件两端，以消除反射回来的声波对器件性能的干扰,主要工艺划片,半自动砂轮划片机,利用高速旋转的树脂刀片将晶圆分割成一个个小芯片。,主要工艺划片,主要工艺粘片（自动SMD）,将芯片通过粘片胶粘贴固定到外壳底座上,主要工艺粘片,自动粘片,主要工艺点焊（自动铝丝键合）,主要工艺点焊（自动铝丝键合）,主要工艺点焊,6400型自动点焊机,主要工艺点焊线拉力和芯片剪切力测试,主要工艺预焊,预焊工序用于将表贴器件的盖板与基座固定起来。,主要工艺平行封焊,封焊工序将预焊后的器件焊接完毕。,主要工艺平
9、行焊接,现有平行封装设备工艺能力：能够封装从3mm3mm到25mm9mm的表贴器件（SMD），深腔外壳最大尺寸可达250mm30mm；军品水汽含量能够控制在5000PPM以下,主要工艺平行焊接,主要工艺储能封焊,同样利用电阻放电原理，使用大型电容组对焊接面进行充电，放电瞬间在封焊面形成高热，融化器件封焊环，达到焊接到目的，同时对器件内部水汽含量也可以进行控制。,主要工艺测试,主要工艺测试,自动SMD测试分选系统,5、世上最美好的事是：我已经长大，父母还未老;我有能力报答，父母仍然健康。6、没什么可怕的，大家都一样，在试探中不断前行。7、时间就像一张网，你撒在哪里，你的收获就在哪里。纽扣第一颗就
10、扣错了，可你扣到最后一颗才发现。有些事一开始就是错的，可只有到最后才不得不承认。8、世上的事，只要肯用心去学，没有一件是太晚的。要始终保持敬畏之心，对阳光，对美，对痛楚。9、别再去抱怨身边人善变，多懂一些道理，明白一些事理，毕竟每个人都是越活越现实。10、山有封顶，还有彼岸，慢慢长途，终有回转，余味苦涩，终有回甘。11、人生就像是一个马尔可夫链，你的未来取决于你当下正在做的事，而无关于过去做完的事。12、女人，要么有美貌，要么有智慧，如果两者你都不占绝对优势，那你就选择善良。13、时间，抓住了就是黄金，虚度了就是流水。理想，努力了才叫梦想，放弃了那只是妄想。努力，虽然未必会收获，但放弃，就一定
11、一无所获。14、一个人的知识，通过学习可以得到;一个人的成长，就必须通过磨练。若是自己没有尽力，就没有资格批评别人不用心。开口抱怨很容易，但是闭嘴努力的人更加值得尊敬。15、如果没有人为你遮风挡雨，那就学会自己披荆斩棘，面对一切，用倔强的骄傲，活出无人能及的精彩。5、人生每天都要笑，生活的下一秒发生什么，我们谁也不知道。所以，放下心里的纠结，放下脑中的烦恼，放下生活的不愉快，活在当下。人生喜怒哀乐，百般形态，不如在心里全部淡然处之，轻轻一笑，让心更自在，生命更恒久。积极者相信只有推动自己才能推动世界，只要推动自己就能推动世界。6、人性本善，纯如清溪流水凝露莹烁。欲望与情绪如风沙袭扰，把原本如天
12、空旷蔚蓝的心蒙蔽。但我知道，每个人的心灵深处，不管乌云密布还是阴淤苍茫，但依然有一道彩虹，亮丽于心中某处。7、每个人的心里，都藏着一个了不起的自己，只要你不颓废，不消极，一直悄悄酝酿着乐观，培养着豁达，坚持着善良，只要在路上，就没有到达不了的远方！8、不要活在别人眼中，更不要活在别人嘴中。世界不会因为你的抱怨不满而为你改变，你能做到的只有改变你自己！9、欲戴王冠，必承其重。哪有什么好命天赐，不都是一路披荆斩棘才换来的。10、放手如拔牙。牙被拔掉的那一刻，你会觉得解脱。但舌头总会不由自主地往那个空空的牙洞里舔，一天数次。不痛了不代表你能完全无视，留下的那个空缺永远都在，偶尔甚至会异常挂念。适应是
13、需要时间的，但牙总是要拔，因为太痛，所以终归还是要放手，随它去。11、这个世界其实很公平，你想要比别人强，你就必须去做别人不想做的事，你想要过更好的生活，你就必须去承受更多的困难，承受别人不能承受的压力。12、逆境给人宝贵的磨炼机会。只有经得起环境考验的人，才能算是真正的强者。自古以来的伟人，大多是抱着不屈不挠的精神，从逆境中挣扎奋斗过来的。13、不同的人生，有不同的幸福。去发现你所拥有幸运，少抱怨上苍的不公，把握属于自己的幸福。你，我，我们大家都可以经历幸福的人生。14、给自己一份坚强，擦干眼泪；给自己一份自信，不卑不亢；给自己一份洒脱，悠然前行。轻轻品，静静藏。为了看阳光，我来到这世上；为
14、了与阳光同行，我笑对忧伤。15、总不能流血就喊痛，怕黑就开灯，想念就联系，疲惫就放空，被孤立就讨好，脆弱就想家，不要被现在而蒙蔽双眼，终究是要长大，最漆黑的那段路终要自己走完。5、从来不跌倒不算光彩，每次跌倒后能再站起来，才是最大的荣耀。6、这个世界到处充满着不公平，我们能做的不仅仅是接受，还要试着做一些反抗。7、一个最困苦、最卑贱、最为命运所屈辱的人，只要还抱有希望，便无所怨惧。8、有些人，因为陪你走的时间长了，你便淡然了，其实是他们给你撑起了生命的天空；有些人，分开了，就忘了吧，残缺是一种大美。9、照自己的意思去理解自己，不要小看自己，被别人的意见引入歧途。10、没人能让我输，除非我不想赢！11、花开不是为了花落，而是为了开的更加灿烂。12、随随便便浪费的时间，再也不能赢回来。13、不管从什么时候开始，重要的是开始以后不要停止；不管在什么时候结束，重要的是结束以后不要后悔。14、当你决定坚持一件事情，全世界都会为你让路。15、只有在开水里，茶叶才能展开生命浓郁的香气。,
