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1、文件分发明细： 正本（原件）： DC 文控中心副本（复制件）：AD 行政部 CP 综合计划部 DC 文控中心 DE 发展协作部DS 产品设计与标准化部 ED 设备部 EHS 环境/健康/安全部FI 财务部 HR 人力资源部 IC 内控部 IE 工业工程部 IN 信息部 IR 投资者关系 LE 法律顾问室 LO 物流部 MA 市场部 PR 工艺部 PU 采购部 QU 质管部 MU 生产部 MS 生产支持部 RD 研发中心 SA 销售部 SU 监察委员会 PD 项目部 其它： 01版本Rev.编写人Prepared by编写日期Prepared Date审核人Checked by审核时间Check
2、ed Date批准人Approved by批准日期Approved Date目 录一. 目 的 003二. 范 围 003三. 职 责 003四. 名 词 定 义 003五. 内 容 003六. 相 关 文 件 010七. 附 录 0101. 目的：规范操作，为RENA正确换液操作规范提供依据。2. 范围：适用于车间RENA刻蚀换液工序。3. 职责：3.1负责RENA刻蚀的换液生产作业3.2负责发现作业过程中设备、工艺异常状况时的反映4. 名词定义：无5. 工作程序：5.1 RENA刻蚀换液图片示例与操作指导说明5.1.1首先要确认换液柜上和酸桶上的标签要一致！（注意：千万不能把不同的酸换在不
3、同的换液柜中，在换酸之前一定要先确认，不然导致设备的损坏和对硅片造成不合格）首先要把汗布手套带好然后带好PVC手套穿戴好防护服带好防毒面具衣服和防毒面具穿戴整齐带好防酸碱手套（注意：带第二只手套时不能把带好手套的那只手碰到另一只手套，必须要别人帮忙带好）检查所有防护措施，尽量不要使皮肤漏在外面拧开后要慢慢取出抽液管，防止溅出的酸对身体伤害换酸之前再次确认化学柜和化学桶的标签同一慢慢拧开化学桶上的抽液管在取出抽液管时一定要使抽液的酸全部流入化学桶中把化学桶盖盖好，防止在移动时溅出酸把取出来的抽液管小心的挂在旁边的挂钩上，一定要挂好5.1.2拿扳手打开化学桶上的盖子将新的化学桶移入化学柜中，注意轻
4、摆轻放，同时保证桶的标签朝外（方便查看）把抽液管逆时针转动几圈，防止拧紧的时候管子会缠在一起从挂钩上慢慢取抽液管插入化学桶中把盖子拧紧，防止漏气，液体打不上去再次确认盖子是否拧紧把管子整理一下，防止全部缠在一起，液体打不上去，流通不畅再次确认所换好的酸是否一致换好以后把门关好把脱好的防护用品全部挂起来把换下来的空化学桶全部集中起来放置全部搞好了以后必须洗手5.1.3注意事项：看到地方有液体，不带手套不要去处理看到液体（注意：不管是水或酸都要把它看作为酸来处理）1.未经过专门培训的人员禁止化学桶更换操作；2.正常生产情况下，必须待设备报警显示外部供应桶为空时，再进行化学桶的更换；3.在腐蚀性的化学制品工作中需要配备专门的防护用具，建议使用抗腐蚀性的挡板/衣服，鞋，手套和护目镜；4.为应付意外事故，确保配备紧急冲洗设备对受侵蚀身体部位进行冲洗；5.决不能单独更换化学用品；6.一切换液程序必须按照正规操作规范进行7、注意事项：不管在任何情况下，每道工序在生产前都要有检查片子的习惯。6. 相关文件：无7. 记录：无
