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1、1,無塵室基本架構講師：潘岳偉2007/11/29,2,無塵室基本架構,一，何謂無塵室 無塵室原名 Clean Room，亦名潔淨室。潔淨室定義為將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔淨的環境，亦即這個潔淨環境中的微塵粒子相當少。亦即將空氣中的塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分佈之情形及速度控制在一定範圍之空間 二，無塵室基本架構地板隔牆天花板空調照明風淋室傳遞箱洩壓風門,3,4,無塵室之組成,5,地板,Epoxy導電地板(1000級以上),6,地板,鋁合金高架地板(1000級以下),7,地板,8,地板參數及標准,9,隔牆(庫板),P U庫板隔板厚度42mm 寬900mm 鋼
2、板0.5mm 構成材料 硬質發泡PU隔熱性能 0.44kcal/h 隔音性能 25dB,金屬隔熱板(防火一小時)隔板厚度60mm 寬900mm 鋼板0.5mm 構成材料 石膏隔熱性能?kcal/h 隔音性能 25dB,不燃鋁蜂巢板隔板厚度42mm 寬900mm 鋼板0.5mm 構成材料 鋁蜂巢隔熱性能 2.7kcal/h 隔音性能?,不燃紙蜂巢板隔板厚度42mm 寬900mm 鋼板0.5mm 構成材料 紙蜂巢隔熱性能 1.4kcal/h 隔音性能 20.5dB,10,天花板,模組化天花板 Ceiling Grad模組化 高精密 高強度 替換性高及延伸性可任意變更過濾機佔積率及任意提升潔淨度(c
3、lass10001),11,空調,外氣空調箱(MAU Make Air Unit)功能：提供無塵室正壓及調節濕度,抽風式外氣空調箱,乾盤管(Dry Coil)功能：調節無塵室溫度(除顯熱)使用13之冰水,風車過濾機組(FFU Fan-Filter Unit)功能：提供平穩低噪音之運轉及良好之氣體流量分配，可 提供潔淨空氣之高 要求，使用於極低微粒粉塵粒子於 無塵環境中 風量 15-30 m3/min,12,乾盤管系統(Dry Coil),13冰水,IN,OUT,乾盤管功能主要為調節無塵室內之溫度利用13 以上之冰水流經熱交換器以除去無塵室內之顯熱(不除濕)需13 以上冰水之原因為防止乾盤管產生
4、冷凝水由電磁二通閥控制冰水流量以達到所需控制之溫度,13,FFU系統,FFU：Fan Filter Unit 風機濾網機組 安裝於無塵室天花板上方，其功能為將天花板上方之較低溫空氣吹送至無塵內，於風機組下方並安裝HEPA Filter以過濾微塵粒子,14,15,16,17,照明,無塵室之照度一般要求700Lux以上,淚滴型照明燈具,嵌入式照明燈具,18,風淋室(Air Shower),人員及物料進入無塵室之緩衝通道，設於無塵室入口處，具有以下功能：人員管制AIR LOCK 氣鎖功能，防止交叉污染風速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工 具的塵埃。,19,傳遞箱(
5、Pass Box),傳遞箱(PASS BOX)為置於潔淨室隔間牆上之裝置功能：做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開 啟而破壞了潔淨室氣流與室壓可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入進出口具有不可同時開啟的聯鎖控制，以達到防止交叉污染,20,洩壓風門,為防止無塵室受到污染外氣的侵入，室內必須保持正壓。但 如果室內正壓太高，會造成門扇不昜關閉之問題，因此必須使用洩壓風門，藉以控制無塵室內保持一定的微正壓。,21,MAU空調箱系統,MAU-Make-up Air Unit 外氣空調箱 用以維持無塵室正壓之調節濕度OA：外界新鮮空氣初濾：初級濾網，用於初步過濾parti
6、cle，一般使用效率30%之過濾網冷盤管：經由冰水循環作用，達到除濕效果，冰水需低於11加熱盤管：經由加熱作用以提高進風溫度風車：經由風車運轉將空氣送入無塵室內袋濾：袋型濾網，中效過濾，一般使用效率80-85%之過濾網HEPA：高效率過濾網，用於最終過濾，一般使用效率99.997%-0.3um之過濾網加濕器：將水加熱成水蒸氣注入空氣中以提高空氣之濕度,22,二次冰水系統,混合站工作原理：功能：將7 之一次冰水轉換成13 之二次冰水供乾盤管等使用。原理：由進回水間之二通閥控制所需之二次冰水溫度(13)，若二次冰水溫度低於13 時，二通閥將開啟使較高溫之回水送 入進水管內以提高進水溫度，當二次冰水溫度高於13 時，二通閥將關閉以便使較低溫之7 冰水能進入而使溫度下 降。電磁二通閥靠比例式控制可有效將冰水控制於所需之溫度值，混合好之二次冰水再靠水泵送至乾盤管使用。水泵最好採變頻方式控制，可有效控制出水水壓，防止出水壓過高，並有節約之功效,
