DR3000III 操作手.docx

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1、DR3000III 操作手12晶圆保护胶带贴敷机 DR3000III 操作手册 NITTO DENKO NITTO SEIKI -目 录 - 1. 安全 1.1 手册中的危险警告说明1-1-1 1.2 警告标签1-2-1 1.3 机身上警告标签的位置1-3-1 1.4 安全装置 1.4.1 安全联锁1-4-1 1.4.2 带保护功能的门1-4-2 1.5 EMO 开关1-5-1 1.6 提示1-6-1 2. 设备外观 2.1 设备概述2-1-1 2.2 设备构造2-2-1 2.3 操作流程2-3-1 3. 自动操作 3.1 开机3-1-1 3.2 自动操作开始3-2-1 3.3 自动操作的停止

2、与重新开始3-3-1 3.4 自动操作结束过程 3-3-2 4. 开关与显示 4-1-1 5. 操作屏 5.1操作屏界面结构5-1-1 5.2 主界面 5-2-1 6. 耗材的更换 6.1 刀片的更换 6-1-1 6.2 BG 胶带6-2-1 6.2.1 BG 胶带设定 6-2-1 6.2.2 BG 的更换 6-2-6 6.2.3 废胶带的更换 6-2-12 6.3 定位器灯管的更换 6-3-1 7. 从报警或提示信息中恢复的方式 7-1-1 1. 安全 1.1 手册中的危险警告标志 在手册中危险警告以以下标志显示, 遵守这些危险警告，能够避免伤害。 提示图标 提示语 信息 图标：每个图标含义

3、显示如下 提示图标 含义 高压电伤害 割伤危险 高温危险 机械伤害 夹伤伤害 包含所有以上伤害 1.1 手册中的危险警告标志(继续) (2) 提示语: 提示语区分伤害危险程度. 这个提示语显示严重的潜在伤害，如果 没有避免，可能会导致严重伤害 这个提示语显示较重的潜在伤害，如果 没有避免，可能会导致轻微或中等程度 的人身伤害或机器破坏。 信息 这个信息区域显示如下内容： - 潜在的危险 - 如果没有避免危险，可能会导致的结果. - 警告避免危害. 1.2 警告标签 在设备上警告标签贴在有危险部位的附近，熟悉这些警告标签以避免受到伤 害。 1.2 警告标签 贴在设备上的警告标签的种类： 1.3

4、警告标签在机身上的贴敷位置。 1.4 安全装置 1.4.1 安全联锁装置。安全联锁装置安装在门 (1) (5)上. 当 (1) (5) 门中的一 扇被打开时，机器的操作就会立刻停止，马达的电源会被关闭。 (1) 关上门 (1) - (5). (2) 按下在主界面上的 RESET 键。 (3) 按下在主界面上的START 键。 1.4.2 带保护性质的门。 这些带保护性质的门对您使用设备而言是必要的，在开始执行自动 操作前请关上所有的门。 如果门没有起作用，请联系维护人员。否则的话可能会导致严重伤 害和损伤设备。 1.5 EMO 开关 (A) EMO 开关的目的: EMO 开关是为了在紧急情况下

5、立刻停止设备运作。在正常情况下请勿使用。 (B) EMO 开关的位置: (C) 按下 EMO 开关 会导致： - 会关掉有危险电压(*)的电路除了电源箱的电路。 - 运动部件的动作立刻停止运动。 (*) 危险电压指: 大于 AC42.4V 或DC60V. (D) EMO 状态的恢复： (1) 顺时针转动EMO 纽 ，这样就会从EMO状态下恢复。 (2) 执行 3.1 上电动作, 3.2 自动操作过程开始重新启动自动操作。 1.6 提示 请严格遵守以下介绍的提示。 否则的话可能会导致严重伤害和损伤设备。 - 请勿移除任何的盖子和门除非维护或服务的需要。 - 请勿在这台机器上使用超出规定范围的应用

6、。 - 请勿使用不再规定范围内的晶圆。 - 在操作这台设备前请阅读这本手册。 - 遵守这本手册中的提示和警告。 - 请勿在没有日东精机的允许下改装设备。 经授权的人员必须遵守以下规则： - 请勿允许未经授权人员去做使用诸如螺批和扳手的工作。 - 请勿告诉未经授权人员进入手动模式的密码。 - 只有经授权的人员允许拥有打开和关上安全联锁的钥匙。 - 只有经授权的人员允许使用手动操作器调整机械手。 2. 设备外观 2.1 设备概述 设备的目的: 这台设备会从晶圆盒中取出一片晶圆，把保护胶带贴敷在晶圆有线路的那一 面，然后沿着晶圆的圆周切割胶带，最后把晶圆放入原来或另外的晶圆盒中。这台 设备按照可以处

7、理200mm 和 300mm晶圆设计 。 2.2 主要部件 - 装载口 : 由晶圆盒放置台和FOUP 门组成。 - 晶圆盒: 放置晶圆的盒子。机器能放两个晶圆盒。 - 机械手: 从晶圆盒中取出晶圆，并把晶圆放在定位器和吸附工作台上。 - 定位器: 执行晶圆的定位和定中心的动作。 - 吸附工作台: 当贴敷胶带，揭取胶带时吸附方式固定一片晶圆。 - 胶带进给轴: 进给BG 胶带。 - 贴敷滚轴: 在晶圆上贴敷BG 胶带。 - 切割单元: 沿晶圆圆周切割胶带。 - 揭取滚轴: 揭取晶圆切割后留在晶圆外围的废膜。 - 胶带卷取轴：卷取晶圆切割后留在晶圆外围的废膜。 - 胶带保护层卷取轴: 胶带保护层卷

8、取。 2.3 操作流程 一片晶圆的操作程序： 机械手从晶圆盒中取出一片晶圆. 机械手把晶圆搬送到定位器上 给晶圆定位. 机械手把晶圆搬送到吸附工作台上. 吸附工作台固定晶圆 贴敷滚轴把 BG 胶带贴敷在晶圆上 刀片沿着晶圆圆周切割BG膜 揭取滚轴揭取晶圆外围的废膜 机械手从吸附工作台上取出晶圆 机械手把晶圆放入晶圆盒 . 3. 自动操作 3.1 上电开机 检查位于操作屏右边POWER ON 和 POWER OFF 开关。按照后面表格显示 的内容操作机器。 开关状态 DR3000III 状态 电源打开 电源关闭 设备没有上电或没有连接电源线 3.2 自动操作开始 (1) 检查有无物体留在机器内，

9、如果有请清 除。 (2) ”主界面” 显示在操作屏上。 按下 OPERATER MODE 键。进入”OPERATER MODE SELECT SCREEN” 操作界面可能根据选项的不同有所区别。 (3) 按下 PARAMETER NAME SELECT ，进入 ”PARAMETER SELECT SCREEN” (4) 按下一个你 需要执行的参数组的编号 (5) 按下 在 “PARAMETER SELECT SCREEN” 屏幕上的 DETAIL 键后， “PARAMETER DETAILSCREEN” 界面显示. 你能够进入”PARAMETER DETAIL SCREEN”界面，确认设定。

10、在设定界面中按下 CANCEL 键回到 “PARAMETER DETAIL SCREEN”界面. (6) 按下在”PARAMETER DETAIL SCREEN”界面上的 CANCEL 键就可以回 到 ” PARAMETER SELECT SCREEN”界面. (7) 当确定设定是正确后，按下 OK 键。如果参数组设定 部正确，请选择正确的参数组序号。 (8) 确认所有得门已关闭。 (9) 按下 INITIAL RESET 键，以使机器能够开始自动操作。 (10) 把晶圆盒放置在装载口上。 (11) 按下 START 键开始自动操作。 3.3 自动操作停止/重新开始 下面的5种方式可以停止自动

11、操作： (1) 按下 PAUSE 键. (2) 按下 CYCLE STOP 键. (3) 按下 STOP 键. (4) 激活安全联锁开关。 (5) 按下 EMO 开关 (1) - (3) 键在 ”MAIN SCREEN”界面上. (1) PAUSE 键: 按下PAUSE 键后，机器在各单元处理过程完成后停止。 (举例 ： 当 PAUSE 键按下时机器正在切割胶带，则这个切割过程会被继续下 去直到切割过程完成，机器才会停止动作。) 按下在 “MAIN SCREEN”界面上的 START 键。 (2) CYCLE STOP 键: 按下CYCLE STOP 键，机器会在晶圆处理完成并放进晶圆盒后停止

12、。 按下在 “MAIN SCREEN”界面上的 START 键。 (3) STOP 键: 按下STOP 键 ，机器马上停止动作。 (1) 按下在 “MAIN SCREEN”界面上的RESET 键 。 (2) 按下在 “MAIN SCREEN”界面上的START 键 。 (4) 安全联锁: 参见 1.4.1安全联锁。 (5) EMO 开关 参见 1.5 EMO 开关。 3.4 自动操作结束程序 (1) 按下 POWER OFF 纽。 POWER ON 熄灭, 同时 POWER OFF 灯 (红色) 亮起来。 4. 开关和显示 (1)主开关： 这个开关控制机器电源的开/关，位于机 身的后面。 (2

13、) 信号灯： 用三色灯显示机器的状态。 (3) EMO 开关： 紧急情况下立刻关闭机器电源。 (4) TAPE CHANGE / TAPE FEED 按钮： - 按下TAPE CHANGE 按钮松开胶带 进给轴的刹车。再按一下则恢复刹车。 - 当按下TAPE FEED纽，进给BG 胶 带。 4. 开关和显示 (继续) (5) POWER ON / POWEROFF 按 钮： 开/关设备的电源供给。 (6) 操作屏： 进行自动操作的开始/停止，改变操作环 境。 4. 开关和显示 (继续) (7) 装载口 - PLACEMENT 当传感器探测到晶圆盒时变亮。 - PRESENCE 当晶圆盒放置正确

14、时变亮。 - FOUPVACUUM 显示 FOUP 门真空压力值。 (8) 主气源调节阀： 控制从工厂进来的气源压力，需要调节压力时，拉起转盘，并转动。 4. 开关和显示 (继续) (9) 压力调节器： (a) APPLYING ROLL 控制贴敷BG胶带中贴敷滚轴的压力 最大供应压力: 0.4MPa (b) TAPE EXPAND 控制胶带扩张轴的压力。 最大供应压力: 0.4MPa (c) LINER WIND SWING ROLL 控制胶带保护层卷取区摆轴的压力。 最大供应压力: 0.2MPa (d) TAPE WIND SWING ROLL 控制胶带卷取区摆轴的压力。 最大供应压力:

15、0.4MPa (e) TAPE PINCH ROLL 控制胶带夹紧轴的压力。 最大供应压力: 0.12MPa 例： 假如最大气源供应压力是0.3MPa ，操作屏上输入的值是 60%，则压力调节器输出得压力是0.360/100=0.18Mpa。请保证 最大供应压力符合上面所要求的，如果您想更改这些值，请联系我们。超出这 些范围的设定值会导致设备损坏或故障。 4. 开关和显示 (继续) (10) 压力表： (a) MAIN AIR: 显示从主气源调节器过来的气源压力。 (b) TABLE PAD: 显示吸附工作台上的升降台吸附固定晶圆时的吸附压力。 (c) WAFER VACUUM: 显示吸附工作

16、台上吸附固定晶圆时的吸附压力。 (d) TAPE VACUUM: 显示BG胶带的被吸附压力。 (e) TRANSFER ARM:显示机械手吸附固定晶圆时的吸附压力。 (f) ALIGNER PAD: 显示定位器吸附固定晶圆时的吸附压力。 压力表有以下作用。 - 显示实时压力。 - 检查吸附固定是否被正确地完成。 -检查吸附固定真空是否被正确地释放。 P P 1 2 ROBOT ALIGNER TABLE PAD TAPE VACUUM FOUP MAIN AIR - 53kpa - 47kPa - - - 53kPa - 47kPa - - - 53kpa - 47kPa - - - 53kP

17、a - 47kPa - - - 53kpa - 47kPa - - 0.52Mpa - - - P =0 3 P = 0 4 P1 : 如果真空吸附压力达到-53kPa, 设备就判断吸附固定是成功的；如果真空吸附 压力没有达到 -53kPa，则设备就会发出错误警报。 P2: 如果真空吸附压力超过47kPa, 设备就判断吸附真空成功释放是成功的；如果 真空吸附压力达到或小于47kPa, 则设备就会发出错误警报。 注意： - P3 和 P4 没有使用功能。 - P1 和 P2 的值可以被改变，被保证的值则如上所示。 5. 操作屏 5.1 操作界面结构 MAINSCREEN 主界面 OPERATOR

18、 MODE 操作员模式 PARAMETERNAME SELECT 参数组选择 TAPE CHANGE 胶 带更换 CUTTER BLADE CHANGE 刀片更换 CONSUMABLE PARTS MANAGEMENT 耗材管理 PARAMETER DETAIL 参数细节 5.2 主界面 - TOTAL COUNT:显示设备已经处理的晶圆总数量 - PROCCESSED WAFER: 显示将要操作的晶圆数。 - No., PARAMETER NAME: 显示选择的参数序号和名称 - STEP CUT COUNT (PCS.): USE; 显示使用步进切割功能时操作的晶圆数量。 NO USE;

19、显示不使用步进切割功能时操作的晶圆数量。 - TABLE TEMP. : 显示实时的吸附工作台的温度。 - CUTTER TEMP. : 显示实时的割刀的温度。 - OPERATOR MODE 键: 按下后进入 “OPERATOR MODE SELECT SCREEN”界面。 - ENGINEER MODE 键: 按下后进入 “ENGINEER MODE SELECT SCREEN” 界面。 - START 键: 按下后执行自动操作。 - CYCLE STOP 键: 按下后机器会在晶圆处理完成并放进晶圆盒后停止。 - PAUSE 键: 按下后机器在各单元处理过程完成后停止。 - RESET 键

20、: 按下后恢复机器错误或停止状态。 - BUZZER STOP 键: 按下后消除机器报警或提示信息的声音。 - INITIAL RESET 键: 按下后机器执行初始化操作。 - STOP 键: 按下后机器立刻停止动作。 6. 耗材的更换 6.1 刀片的更换 * 提示 为防止切割单元碰触其他部件，请 根据以下步骤把割刀从原始位置移 开： (1) 按下“MAIN SCREEN”界面的 OPERATOR MODE 键进入 “OPERATOR MODE SELECT SCREEN” 界面. (2) 按下 CUTTER BLADE CHANGE进入 “CUTTER CHANGE SCREEN” 界面。

21、(3) 按下 CUTTER BLADE CHANGE POSITION 键。切割 单元移动到刀片更换为置。 * 继续 6-1- (4)步骤 6.1 刀片更换 (继续) 当自动操作进行当中报警信息发生时。 (1) “MESSAGE / ERROR”界面 在 自动操作过程当中发生时，机器在 晶圆处理完毕放进晶圆盒后停止动 作。 (2) 按下“MESSAGE/ERROR”界面 上的 RESET 键 ，然后按下左图 中(a)键，进入“CUTTER CHANGE SCREEN”界面。 (3) 按下CUTTER BLADE CHANGE POSITION 键 ，切割 单元移动到刀片更换为置。 * 继续 6

22、-1- (4)步骤 (4)打开机器后面的门，用把手工 具固定在刀具的螺孔中。 (5) 从刀架上取下道具。 *在此过程中当心割伤手指。 6.1 刀片更换 (继续) (6) 把刀具放在换刀治具上，松开 螺丝，换上新刀片，再拧紧螺丝。 (7) 从换刀治具上拿起刀具。 (8)准备新的刀具，用换刀治具更 换刀片。 (只有维护工程师被允许换刀) (9) 给刀架换上更换好刀片的刀 具。 6.1 刀片更换 (继续) (10) 按下 COUNT CLEAR 键， 确认界面显示。 (11) 按下OK 键。 COUNT (CURRENT) 刀片 计数清零。 (12) 按下 HOME POSITION 键， 刀架回到

23、原 始位置。 (13) 按下 BACK 键， ”OPERATOR MODE SELECT SCREEN” 界面显示，按下 MAIN 键 回到 ”MAIN SCREEN”主界面。 (14) 按下 START 键，重新开始自动 操作。 6.2 BG 胶带 6.2.1 BG 胶带设定 这页介绍BG胶带设定过程。. 按下 OPERATER MODE 键 进 入”OPERATER MODE SELECT SCREEN” 界面。 (2) 按下 TAPE CHANGE键。 ”TAPE CHANGE SCREEN” 界面 显示。 (3) 按下屏幕上 EXT. SW. ENABLE 键。 激活外部功能按钮 TA

24、PE CHANGE 和 TAPE FEED。 (4) 按下 TAPE CHANGE POSITION 键， 胶带贴敷单元移 动到胶带更换的位置。打开机身的 后门。 6.2.1 BG 胶带设定 (继续) (5) 按下 TAPE CHANGE 按钮，这时按 钮的灯点亮，所有得刹车和夹紧滚轴松 开。 (6) 松开 胶带进给轴 . * 垫圈只在 200mm BG 胶带时使用。 6.2.1 BG 胶带设定 (继续) (7) Place 根据图示放上BG 胶带，涨紧 胶带固定在进给轴上。 (8) 用手拉出BG 胶带边缘 , 从带粘性的表 面剥离出保护层。 (9) 根据下图穿好胶带。 6.2.1 BG 胶带

25、设定 (继续) (10) 把保护层卷在轴上，插上插销 固定住。 (11) 放上胶带卷筒，拧紧。 * 或者打上刹车，如果有的话。 6.2.1 BG 胶带设定 (继续) (12) 在卷筒上卷上胶带。 (13)按下TAPE CHANGE 按钮，按钮 灯熄灭。 (14) 连续按住TAPE FEED 按钮直到胶 带卷取轴转动两到三周。 (15) 按下EXT. SW ENABLE 键。 (16) 按下 HOME POS. 键。贴敷单元 回到原点位置。 (17) 按下BACK 键回到主界面。 6.2.2 BG 胶带更换 BG 胶带的更换程序包括在发生胶带短缺(BG TAPE RUNS SHORT)报警信息出

26、现。 当下面的报警信息出现时: - BG TAPE RUNS SHORT 表示胶带用完，请根据以下程序更换胶带。 (1) “MASSAGE / ERROR” 显示胶带用 完时，机器把晶圆处理完成后停止动 作。 (2) 按下在 “MASSAGE / ERROR”界面 上的RESET 键 按下 (a) 键进入 “TAPE CHANGE SCREEN”胶带更换界面。 胶带的根换过程器请参考 6.2.1 胶带更换完成后，按下BACK 键回到主界面。重新开始自动操作。 6.2.3 废膜卷取卷筒的更换 在自动操作过程中，发生“WASTE TAPE IS FULL” 警报信息，可以参照6.2.1- 6.2.

27、2程序来作。 6.3 定位器灯管更换 更换定位器灯管前请关闭机器电源，否则可能受到电击或烧伤，也 可能机器的严重损坏。 (1) 打开位于机身左边定位器的门 (2) 松开两颗螺丝。 (3) 移去灯管盖子。 (4)转动灯管90度，取出灯管。 (5) 装上新灯管，转动90度。 (6) 装上灯管盖子，拧紧螺丝。 6.3 定位器灯管更换 (7) 按下OPERATOR MODE 键进入 ”OPERATOR MODE SELECT SCREEN 界面。 (8) 按下 CONSUMABLE PARTS MANAGEMENT 键进入”RUNNING MANAGEMENT CONSUMABLE PARTS TRE

28、ND SCREEN” 界面。 (9) 按下定位器灯管使用时间 的 CLEAR键，确认界面跳出 来。 按下 OK 键计数清零。 7. 从错误/信息报警中恢复。 当有错误或信息发生时，下面得屏幕显现。 (*) 只有在闪动的键有效。. - MESSAGE CLEAR: 在显示信息得过程当中，按下这个键关闭信息窗口 - 按下图示中的 (a) 则最小化 ”MESSAGE/ERROR”窗口。 - WAFER RELEASE: 按下后把吸附固定住的晶圆放开。 - FOUP CLOSE: 按下后关上FOUP门 - FOUP RELEASE: 按下后FOUP门 释放真空吸附。 (1) 按下闪动的键移去晶圆。 (2) 按下 RESET 键。 (3) 按下闪动的键开始初始化动作。 START 键闪动的话，按下后开始自动操作。 * The blinking key is taken precedence upper line.