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PS分析元素的含量的方法XPS数据分析 纵坐标:Intensity(cps) 横坐标:binding energy 除了氢氦元素,其他的元素都可以进行分析;先进行宽扫,确定样品有何种元素,再对该元素进行窄扫。该元素的不同键接方式都对应不同的峰,所以对元素窄扫的峰要进行分峰。如何分峰,不同的键接方式会对应不同的结合能。 第一步:先把元素的窄扫峰用origin画出来; 纵坐标:Intensity(cps) 横坐标:binding energy 第二步:调整基线; 选择Ceate Baseline-next-next-add/modify添加或去除基点,保证基线水平-Finish 最小化图,会出现调整基线后的坐标。插入一列, 单机右键选择set column values 输入col-col:即开始纵坐标减去调整基线后的纵坐标。 再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图-调整基线后的XPS窄扫图。 第三步:对峰求积分面积; 选择integrate peaks-next-狂点-完成 即area为峰的面积。 第四步:分峰较难 第五步:求组分元素比: 元素比等于:窄扫峰面积/XPS灵敏度因子 咱们这边 的XPS设备选择的是铝板。