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1、 编号: 建设项目环境影响报告表（附工程分析及污染防治措施专项）项目名称 氮化铝陶瓷基板及新型电子陶瓷元器件生产项目 建设单位（盖章） 无锡海古德新技术有限公司 编制日期: 2015年8月无锡海古德新技术有限公司一、建设项目基本情况项目名称氮化铝陶瓷基板生产项目建设单位无锡海古德新技术有限公司法人代表孙 伟联 系 人李国梁通讯地址锡山经济开发区东部科技园1号（安镇东盛路2129号）联系电话13921277119传真0510-88726658邮政编码214105建设地点锡山经济开发区东部科技园1号立项审批部门锡山经济技术开发区管理委员会批准文号企业投资项目备案通知书（2012）1号建设性质新建
2、改扩建 技改行业类别及代码C3562 电子工业专用设备制造占地面积(平方米)2300绿化面积(平方米)总投资(万元)8500其中:环保投资(万元)400环保投资占总投资比例4.7%评价经费(万元)预期投产日期2015年6月原辅材料(包括名称、用量)及主要设备规格、数量（包括锅炉、发电机等）原辅材料：AlN粉体30t/a，氧化镝(Dy2O3)粉体1.5t/a，丁酮4t/a，无水乙醇4t/a，PVB 1.5t/a，鱼油0.5t/a，邻苯二甲酸二丁酯(DBP)0.8t/a，氢氧化钠0.1t/a， N2 1t/a，Ar 1 t/a，研磨砂1t/a，去离子水2.5t/a，详见表1，原辅材料理化性质详见表
3、2。主要设备：浆料处理系统4台，烧结炉5台，排胶炉5台，流延机1台，连续式冲床2台，研磨机6台，激光划刻机4台，超声波清洗机1台，去胶机1台，划片机1台，空压机3台（两用一备）详见表3。水及能源消耗量名称消耗量名称消耗量水（吨/年）1410.3燃油（吨/年）电（度/年）200万燃气（万标立方米/年）燃煤（吨/年）其他（吨/年）废水（工业废水、生活污水）排水量及排水去向生活污水：本项目生活污水1080t/a经化粪池预处理达接管标准后接管，排入安镇污水处理厂处理，尾水排入盛塘河。工业废水：本项目研磨工段产生的研磨废水因不影响产品质量，为节约原料全部回用于生产。放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用
4、情况超声波频率为20KHZ，低于GB8702-88电磁辐射防护规定中需要防护的频率范围0.1MHZ30000MHZ，不需另行申报。表1 本项目原辅材料一览表序号名称年用量备注1AlN粉体30吨固体2氧化镝(Dy2O3)粉体1.5吨固体3丁酮4吨液体4无水乙醇4吨液体5聚乙烯醇缩丁醛（PVB）1.5吨粉状固体6鱼油0.5吨液体7邻苯二甲酸二丁酯(DBP)0.8吨油状液体8N21吨液体、外购9Ar1吨液体、外购10去离子水2.5吨液体、外购11研磨砂1t/a固体12氢氧化钠0.1吨固体注：根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ/T1692004），结合重大危险源辨识（GB18218-2009），乙
5、醇、氢氧化钠，临界量为500吨、20吨。本项目乙醇、氢氧化钠的最大储存量分别为20吨、0.5吨，均未构成重大危险源。其他未列入重大危险源名录。表2 原辅材料理化性质表名称理化性质最大储存量（t）毒性AlN粉体AlN是原子晶体，属类金刚石氮化物，最高可稳定到2200。室温强度高，且强度随温度的升高下降较慢。导热性好，热膨胀系数小，是良好的耐热冲击材料。3暂未见相关文献报道氧化镝(Dy2O3)粉体白色粉末，微有吸湿性，在空气中能吸收水分和二氧化碳。磁性比氧化高铁强许多倍。溶于酸和乙醇。相对密度7.81g/cm3。熔点234010，沸点3900，露置于空气中时易吸收二氧化碳而转变为碳酸镝。0.3暂未
6、见相关文献报道丁酮分子式 CH3CH2COCH3，又称甲乙酮，无色液体。熔点85.9，沸点79.6，相对密度0.8054。溶于约4倍的水中，能溶于乙醇、乙醚等有机溶剂中。与水能形成恒沸点混合物(含丁酮88.7)，沸点73.4。0.5LD50 3400mg/kg（大鼠经口）无水乙醇分子式CH3CH2OH，无色透明，具有特殊香味的液体，易挥发，沸点78.5，相对密度为0.7893。乙醇是非电解质，在溶液中不电离。0.5微毒性，LD507060mg/kg(兔经口)聚乙烯醇缩丁醛（PVB）白色或淡黄色无定形粉粒状聚合物，它是以聚乙烯醇和丁醛为原料，水为介质进行缩合反应所得到的产物，能够溶于醇类、苯类、
7、环己酮和氯仿等多种有机溶剂。PVB的粘结性能优异、在烧结过程中不残留灰份。PVB为长链高分子，吸附在颗粒表面。0.1暂未见相关文献报道鱼油鱼油的主要成份是：甘油三脂、磷甘油醚、类脂、脂溶性维生素，以及蛋白质降解物等0.2暂未见相关文献报道邻苯二甲酸二丁酯(DBP)无色无味透明，用途为增塑剂，无毒。主要用作聚氯乙烯增塑剂，可使制品具有良好的柔软性，凝胶化能力强。0.2暂未见相关文献报道氢氧化钠融白色颗粒或条状，现常制成小片状。易吸收空气中的水分和二氧化碳。溶于水、乙醇时或溶液与酸混合时产生剧热。溶液呈强碱性。相对密度2.13。熔点318。沸点1390。有腐蚀性。0.1LD5040mg/kg注：根
8、据建设项目环境风险评价技术导则（HJ/T1692004），结合重大危险源辨识（GB18218-2009），乙醇、氢氧化钠，临界量为500吨、20吨。本项目乙醇、氢氧化钠的最大储存量分别为20吨、0.5吨，均未构成重大危险源。其他均未列入重大危险源目录。表3 主要生产设备一览表名称规格（型号）数量（单位）浆料处理系统4台烧结炉1600x2000x25005台排胶炉1500x1500x24005台流延机40000x2000x18001台连续式冲床2台研磨机1600x1600x15006台激光划刻机2000x2000x24004台超声波清洗机1500x2500x20001台去胶机1台激光打孔机1台空
9、压机风冷无油螺杆式3台（两用一备）工程内容及规模：（不够时可另行附页）1、项目由来无锡海古德新技术有限公司是无锡市国联参与投资的高科技公司，公司位于锡山经济开发区东部科技园1号，租用锡山经济开发区开发总公司空置厂房，占地面积2300m2、建筑面积为7160m2，拟投资8500万元从事氮化铝陶瓷基板生产项目，设计生产能力为年产高性能AlN电子陶瓷基板6000平方米。2、 项目概况项目名称：氮化铝陶瓷基板生产项目；建设单位：无锡海古德新技术有限公司；项目性质：新建；投资总额：8500万元，其中环保投资400万元；建设规模：年产高性能AlN电子陶瓷基板6000平方米；建设地点：锡山经济开发区东部科技
10、园1号；工作制度：年工作日300天，三班24小时制；职工人数：本项目职工30人。3、产业政策本项目经锡山经济技术开发区管理委员会立项同意。本项目所用设备不属于产业结构调整指导目录（2011年本）、江苏省工业和信息产业结构调整限制、淘汰目录和能耗限额（2015年本）淘汰类设备：3W-0.9/7(环状阀)空气压缩机。故本项目属于国家产业结构调整指导目录（2011年本）、江苏省工业和信息产业结构调整指导目录（2012年本）及江苏省工业和信息产业结构调整限制、淘汰目录和能耗限额（2015年本）、无锡市产业结构调整指导目录（试行）(2008年1月)和锡山区产业结构调整指导目录（试行）（2008年3月）等
11、产业政策中鼓励类项目，符合当前国家及地方产业政策的要求。4、与当地规划的兼容性本项目位于锡山经济开发区东部科技园1号，根据2012年11月编制的无锡市锡东新城控制性详细规划，本项目所在地规划为工业用地，符合用地规划要求。根据安镇村建设服务中心出具的污水接管证明，本项目所在地污水截流管网已铺设到位，基本符合环保规划。5、 建设项目工程内容和生产规模本项目占地2300平方米，主体工程及产品方案见下表。表4 本项目主体工程及产品方案工程名称产品名称及规格设计能力（平方米/年）年运行时数（h）生产车间高性能AlN电子陶瓷基板600072006、 公用及辅助工程本项目公用及辅助工程详见表5。表5 公用及
12、辅助工程工程项目建设名称设计能力备注公用工程给水给水管直径DN200市政自来水管网提供排水污水管道直径DN200雨水管道直径DN400雨污分流、清污分流接管市政排污管网供电市政供电系统提供环保工程催化燃烧装置催化燃烧效率99%废气经催化燃烧后经15米高排气筒排放活性炭吸附装置去除效率90%废气经活性炭吸附塔处理后经进入催化燃烧化粪池5m经化粪池预处理后接管安镇污水处理厂接管排污口规范化设置利用现有生活污水接管口、雨水排放口7、周围情况及厂区平面布置情况本项目位于锡山经济开发区东部科技园1号，项目东侧为中安投资德邻工业和无锡灵凯机械制造公司，南侧为诚石轴承生产车间和无锡华能电缆有限公司，西侧为开
13、普机械、无锡香林达食品有限公司、阳光铃木电动车无锡公司、无锡立成电器有限公司和无锡市江虹车辆配件公司，北侧为无锡贺安特动力科技有限公司、无锡锋茂新能源有限公司、明信德诚环境科技无锡有限公司、贺尔碧格（无锡）自动技术有限公司和金宝（无锡）添加剂科技有限公司。本项目具体地理位置、周围环境、厂区平面布置、土地利用规划图分别见图1、图2、图3、图4。与本项目有关的原有污染情况无锡海古德新技术有限公司位于锡山经济开发区东部科技园1号，租用江苏省锡山经济开发区开发总公司空置厂房进行项目建设，项目所在地原为空置厂房，目前已“雨污分流、清污分流”，尚未出现明显环境问题。二、建设项目所在地自然环境社会环境简况自
14、然环境简况（地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等）：1、地形、地貌、地质项目所在地区属于长江三角洲平原的陆屿部分，地势平坦宽广，有断续起伏的低丘陵围绕。平原海拔高度一般在25米，土质肥沃，河湖港汊纵横分布，河道密如蛛网，地表物质组成以粒径较小的淤积物和湖积物为主，土壤类型主要为水稻土类。随着改革开放的进程，村镇经济、新兴现代工业城区的规划与发展，道路交织，经济实体单位星罗棋布，日新月异，原有水乡面貌，已发生了较大的变化，耕地在逐年减少。本地区属江苏省地层南区，地层发育齐全，其底未出露。中侏罗纪岩浆活动喷出物盖在老地层上和侵入各系岩层中，第四纪全新统现代沉积遍及全区。该区域在大
15、地构造上，属南京边缘凹陷印支运动时期大部分地区断块下陷，形成白垩纪构造盆地，尔后继续下降，堆积着深厚的新生界沉积物。地耐力为810T/m2,水质为地表水所淡化，本地的地震基本烈度为6度设防区。2、气候、气象项目所在地区属北亚热带季风性气候区，四季分明，气候温暖，雨水充沛，日照充足，无霜期长，夏季受来自海洋季风控制，炎热多雨;冬季受大陆来的冬季风影响，寒冷少雨，春秋两季处冬夏季风交替时期，形成了冷暖多变，晴雨无常的气候特征。据气象台历年观测资料统计：项目所在地区年平均气温15.4，极端最高气温39.9（2003年），极端最低气温-12.5（1969年），年平均无霜期220天，平均气压1016.2
16、百帕，相对湿度79%，年平均降水量1106.7mm，年均日照时数为2019.4小时。年主导风向为ESE，次导风向SE；冬季以WNW风为主，夏季以ESE为主导风向。项目所在地区全年以D类（中性）稳定度天气为主，年平均风速为2.6m/s。3、水文本地区属苏南水网地区，地势坦荡，河网密布，纵横交汇，形成一大水乡特色。项目附近的盛塘河及走马塘。盛塘河西起无锡市五丫河口，流经东亭、安镇街道，入宛山荡，属双向河流，常年主导流向由西到东。走马塘纵贯无锡市境东部，联结沿线诸横河，岸高河底浅狭，古称走马沟。以九里河交汇处为界，分为南北两段。北段自锡北运河日晖桥村东侧起，南至九里河，流经东港、安镇两镇高田地区。南
17、段自九里河南岸直入张塘桥河，流经原厚桥的平田地区。全长16.57公里（北、南两段分别为9.5公里河7.07公里），河底高程为吴淞1米，河底宽57米，面宽1525米。4、植被、生物多样性本地区属太湖平原农业区，主要种植水稻、油料、蔬菜业农作物，饲养家畜、家禽及养蜂和水面养殖。地带性植被属落叶林带，随着近年来经济的高速发展，人类社会经济活动的日益频繁，原有的自然植被已残留无几，现有林木以农田林网和四旁种植为主。项目建设地附近无国家自然保护区，无森林，无珍稀濒危物种，仅有鸟类、鼠类、蛇类、蛙类及昆虫等小型动物。社会环境简况（社会经济结构、教育、文化、文物保护等）：本项目位于锡山经济开发区东部科技园1
18、号。1、锡山经济技术开发区概况锡山经济技术开发区是国家级开发区，位于苏锡常都市圈核心地带，沪宁高速公路从开发区内穿过，东临上海100公里，西接南京140公里。锡山经济技术开发区行政管辖面积125平方公里，由西部园区、中部园区和东部园区三部分组成。西部园区依托沪宁高速道口的辐射优势，将打造成为功能先进制造业和高端服务业的集聚区；东部园区即锡东创新科技城（S-PARK），利用京沪高铁和无锡市锡东新城开发建设的契机，规划发展科技研发、休闲商务、高端居住、会展酒店和高科技制造业；中部为无锡高铁站商务区。锡山经济技术开发区的工业用地主要分为四个部分：（1）沪宁高速公路以北、北兴塘河以南的规划工业用地，这
19、是锡山经济技术开发区一期启动的工业用地的主体，也是近期招商引资的主要载体。（2）北兴塘河以北、锡沙公路以南的工业用地，这是开发区二期工业开发用地。（3）太湖大道（金匮路）以南的开发区高新技术园或外商工业园。（4）规划开发区的东北塘和八士的工业用地。锡山经济技术开发区内目前建有仓下中学、云林小学、云林幼儿园等中小学、幼儿园，江苏信息职业技术学院等技术学校。3、无锡市锡东新城控制性详细规划根据无锡市规划设计院编制的无锡市锡东新城控制性详细规划（2012年12月），锡东新城位于无锡市东部，南接新区、北接惠山新城、东到春丰河、西接崇安区，规划范围包括东亭街道、东北塘街道、锡山经济开发区的全部以及锡北镇
20、的八士地区。规划总面积约为69.96平方公里。约合104940亩。功能定位为：无锡城市“东联”第一阵地，集行政、文化、居住、工业、科技、物流、商贸、金融于一体的新城。总体空间布局结构为：“一个中心”，即东亭地区；“两个组团”，即东北塘、八士两个规划的居住组团；“三条景观”，即沪宁高速公路、北兴塘河、春丰河规划的三条内部绿化景观走廊；“四处产业”，即锡山经济开发区、规划的乡镇工业集中区、通江物流园区及江南商贸城。要求在下一阶段工作及规划实施工程中，进一步促进三个新市镇及周边区域在功能、产业、交通上的对接；进一步协调内部各功能组团之间的关系；进一步研究与安镇高铁地区的联系，研究新城的交通组织方式和
21、交通节点，形成快捷、顺畅的内外交通联系网络，加强对轨道交通站点周边的用地控制，加强与各有关部门衔接，确定公共配套设施和市政配套设施的位置及走向，进一步明确航道的等级；进一步深化历史文化的保护；深入研究现状生态资源的保护利用和对基本农田保护区的控制维持，协调好新城与北兴塘河、沪宁高速公路等景观轴线与节点的相互关系，有序控制土地开发，促进新城集约发展，使新城在经济发展、产业转移、生态环境等方面达到较高的水平。3、环保基础设施情况本项目接管安镇污水处理厂处理。安镇污水处理厂位于原安镇镇年余村，主要接纳处理安镇街道、厚桥街道、羊尖镇的工业废水、生活污水，总设计处理能力(至2020年)50000t/d，
22、分二期建设，一期工程(近期至2010年)设计处理能力20000t/d，采用“厌氧水解+改良SBR”工艺，一期工程已于2007年底投产运行，尾水最终排入盛塘河，其中污染物排放执行太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值（DB32/T1072-2007）表2污水处理厂标准和城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）表1中一级A标准排放。锡山经济技术开发区东区的锡沪路以南地区规划由友联热电有限公司集中供热为主；锡沪路以北地区规划由新洋热电有限公司集中供热为主。友联热电有限公司远期供气能力约为1150t/h；新洋热电有限公司远期供气能力约为270t/h。本项目所在地规划由
23、新洋热电有限公司集中供热。 三、环境质量状况建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题（环境空气、地面水、地下水、声环境、辐射环境、生态环境等）：根据江苏力维检测科技有限公司提供的监测资料，建设项目所在地区域环境质量现状如下：1、 环境空气质量本项目所在地环境空气质量功能为二类区，执行GB3095-2012环境空气质量标准二级标准。目前建设项目所在地环境空气数据引用无锡市锡山区安镇镇大成工业集中区规划环境影响跟踪评价项目G3安镇村（距离本项目1100m）监测点部分数据，即江苏力维检测科技有限公司2015年5月的环境空气监测资料（表6），SO2、NO2不能满足GB3095-2012环境空气质量
24、标准二级标准，主要是由于无锡友联热电股份有限公司锅炉燃烧导致。表6 环境空气质量现状监测数据汇总表监测点编号名称范围（mg/m3）G3安镇村小时浓度SO20.0260.051NO20.0290.057非甲烷总烃0.0040.023日均浓度PM100.0620.0862、 声环境质量根据市政府办公室关于转发市环保局无锡市声环境功能区建设与管理实施方案的通知【锡政办发（2011）307号】，本项目所在地声环境功能为3类区，执行GB3096-2008声环境质量标准2类声环境功能区标准。根据江苏力维检测科技有限公司2015年11月监测资料，项目所在地区域环境噪声值，达到GB3096-2008声环境质量
25、标准2标准要求。表7 声环境质量现状监测数据汇总表测点编号昼间噪声测量结果LeqdB(A)夜间噪声测量结果LeqdB(A)2016年3月9日2016年3月9日N155.445.7N255.846.2N356.747.6N458.548.43、 地表水环境质量根据2003年3月江苏省水利厅和江苏省环境保护厅编制的江苏省地表水（环境）功能区划，盛塘河2020年水域功能目标类别为类。根据近期监测数据，对照GB3838-2002地表水环境质量标准，盛塘河白迷荡河断面水质达到类水质标准限值，具体见表7。盛塘河白迷荡断面总氮超标，不能满足类水域功能类别要求，河流水质超标原因主要来自上游污水和沿岸农业、生活
26、面源污染。具体见表8。表8 建设项目附近水环境质量现状一览表 单位：mg/L(pH为无量纲)河流名称断面名称pH值(无量纲)COD石油类总氮氨氮总磷盛塘河白迷荡河7.67250.052.370.8370.24GB3838-2002类69300.51.51.50.34、据调查，本项目500米范围内近二年未发生过污染事故和污染纠纷。主要环境保护目标（列出名单及保护级别）：根据建设项目周边情况，确定建设项目环境保护目标，详见表7。表7 建设项目主要环境保护目标表环境要素环境保护对象名称方位距离(m)规模环境功能大气环境象泾巷居民点西北391约5户/18人GB3095-2012环境空气质量标准中的二类
27、区农新村居民点东北370约8户/28人厚桥南村头居民会东北427约48人水环境盛塘河西531GB3838-2002地表水环境质量标准中的类水体声环境本项目所在地声环境质量标准（GB3096-2008）中的3类区标准四、评价适用标准环境质量标准1、大气环境质量标准项目所在地空气质量功能为二类，执行环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准，具体数值见表8。表8 环境空气质量标准限值污染物名称取值时间浓度限值g/m3标准SO2年平均60GB3095-2012环境空气质量标准24小时平均1501小时平均500NO2年平均4024小时平均801小时平均200PM10年平均7024小时平均150
28、PM2.5年平均3524小时平均752、地表水环境质量标准按江苏省地表水（环境）功能区划，盛塘河2020年水域功能目标类别为类，执行GB3838-2002地表水环境质量标准中的类标准，见表9。 表9 地表水环境质量标准 单位：mg/l（pH为无量纲）类别pH溶解氧COD高锰酸盐指数挥发酚BOD5氨氮总磷石油类粪大肠菌群（个/升）6-9330100.0161.50.30.5200003、声环境质量标准建设项目区域环境噪声执行声环境质量标准（GB3096-2008）3类区标准，环境噪声限值见表10。 表10 环境噪声限值 单位：dB(A) 时段声环境功能区类别昼间夜间36555污染物排放标准1、废
29、气：本项目颗粒物、挥发性有机物排放参照执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中表2颗粒物、非甲烷总烃标准。氨排放执行GB14554-93恶臭污染物排放标准表1二级新扩改建标准。表11 大气污染物排放标准污染物最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速率(kg/h)无组织排放监控浓度限值排气筒（m）二级监控点浓度（mg/m3）颗粒物120153.5周界外浓度最高点1.0非甲烷总烃12015104.0氨气154.91.5异味排放执行GB14554-93恶臭污染物排放标准表1二级标准中，新扩改建项目厂界臭气浓度20。2、废水废水：生活污水接管安镇污水处理厂，接管执行GB8978-1
30、996污水综合排放标准中表4三级标准，其中氨氮、磷酸盐（以P计）、总氮两项指标参照执行CJ343-2010污水排入城镇下水道水质标准表1的B等级标准，安镇污水处理厂出水执行太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值（DB32/T10722007）中表1的类厂标准和城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中一级A标准。具体数据见表12。生产废水经沉淀池预处理后，全部回用于生产过程中的清洗用水。表12污水接管标准及安镇污水处理厂出水标准值污染物生活污水接管标准（mg/L）污水处理厂尾水排放标准（mg/L）化学需氧量（COD）50050悬浮物（SS）40010氨氮355
31、（8）*总磷80.5总氮4815注：*括号外数值为水温12时的控制指标，括号内水温12时的控制指标3、 噪声：本项目营运期厂界环境噪声执行GB12348-2008工业企业厂界环境噪声排放标准厂界外声环境功能区类别3类标准：昼间厂界环境噪声65dB(A)，夜间厂界环境噪声55dB(A)。4、 固体废弃物：执行国家有关规定。总量控制指标本项目选址所在区域位于锡山经济开发区东部科技园1号。不属于太湖流域水污染防治一级、二级保护区。本项目生活污水1080t/a经化粪池后接管安镇污水处理厂集中处理，水污染物总量纳入安镇污水处理厂总量指标。接管考核量建议为：COD0.346t/a、SS0.259t/a、氨
32、氮0.038t/a、总磷5.410-3t/a、总氮0.052t/a；经污水处理厂处理后最终外排量预计为：COD0.054t/a、SS0.011t/a、氨氮5.410-3t/a、总磷5.410-4t/a、总氮0.016t/a。上述总量指标由环保行政主管部门核定下达。生产废水经沉淀池沉淀处理后，全部回用至生产线。本项目大气污染物有组织排放总量为：挥发性有机物0.035t/a。本项目大气污染物无组织排放量为：粉尘0.00315t/a，氨气0.00124t/a。固废排放量为零。五、建设项目工程分析一、生产工艺如下：1.氮化铝陶瓷基板流延法生产工艺流程如图1所示。氮化铝原料（AIN、氧化镝）丁酮、无水乙
33、醇粉尘G1鱼油一次球磨混DBP、PEGPVB二次球磨混乙醇G2、丁酮G3 真空除泡流延成型流延成型机自带电阻炉提供热源100坯片干燥乙醇G4、丁酮G5边角素坯片S1冲切成型挥发性有机物G6排胶电阻炉提供热源排胶600迭片扎固压N2/Ar高温烧结1700原料废液S2、G7研磨清洗废液S3去离子水清洗烘干 不合格基板S4产品检验注：电加热成品包装入库图5 氮化铝陶瓷基板流延法生产工艺流程图工艺流程说明，该生产工艺主要包括浆料配制、流延成型、冲切成型、排胶、高温烧结等几个大的工序，详细介绍如下：（1）流延浆料配制：流延浆料配制包括一次球磨、二次球磨、真空除泡几个工序。按一定的配方，称取一定重量百分比
34、的氮化铝、氧化镝、无水乙醇，丁酮，鱼油，PVB、邻苯二甲酸二丁酯称重，按一定的工艺程序、加入球磨机、利用球磨机进行时间为38-48小时球磨。得到了物料混合均匀的初级流延浆料。然后，在密封搅拌罐中进行真空除泡处理，制得适于流延成型的具有一定胶体粘度的流延浆料。进料过程由于金属氮化物比重大。故只产生极少量粉尘（G1），真空除泡过程90%的丁酮和无水乙醇挥发，丁酮和无水乙醇通过管道引入冷凝回收装置中，剩余的10%留在浆料中，二级冷凝回收装置冷凝率为90%，则产生乙醇（G2）和丁酮（G3）不凝气的排放，通过密闭吸风装置送入活性炭吸附塔处理。（2）流延成型：包括流延和坯片干燥成型，在流延成型机内完成。流
35、延成型机由流延储料槽、浆料输送带和密闭的烘道以及传动、供热等辅助设备组成，形成一条较长的生产线。传动设备用于控制浆料输送带的传输速度。供热设备包括流延成型机自带的电阻炉、供热风的鼓风机以及风管，用于烘道供热。流延成型机的一端为储料槽，流延浆料首先通过密封管道被压送入流延成型机的储料槽中，通过设定调节储料槽中浆料的液面高度、流延刮刀的刀口的高度、流延机的走带速度将浆料以一定的厚度摊铺在流延机浆料输送带上的聚酯塑料薄膜上，这个过程即为流延。然后由输送带将浆料传送至密闭的狭长烘道中，该烘道由鼓风机将流延成型机自带的电阻炉产生的热量以热风的形式输送至烘道中，最高加热温度为100。当输送带从烘道的另一端
36、出来时即得到烘干，从而得到成型的素坯（片）带。流延和烘干过程同时进行，烘干的工作温度为25-30，挥发产生乙醇（G4）和丁酮（G5）废气。(3)冲切成型：将干燥成型后的素坯片从流延设备输送带的聚酯塑料薄膜上由人工取出，通过连续式冲床冲切形成一定产品尺寸的素坯片（S1）。该过程产生的边角素坯片全部回用于生产过程。(4)排胶：将素坯片置于排胶炉中，在600C的温度下，大气气氛中进行排胶处理，素坯中的各种有机物（乙醇、丁酮、鱼油、PVB、DBP）挥发产生挥发性有机物废气（G6）。(5)高温烧结：烧结是通过高温加热粉体材料产生颗粒黏结、再结晶等物理化学过程，得到致密化的具有一定强度的块状产品的工艺。将
37、排胶后的陶瓷坯片置于钨真空高温电阻炉中，流动N2/Ar（外购）混合气氛保护下进行1700C的高温烧结，获得氮化铝陶瓷基板产品。(6) 研磨：将陶瓷基片置于研磨盘之间，不使用研磨剂，利用研磨砂的磨削实现基片厚度的减薄与均一，研磨砂与水的比例为1:3。研磨过程产生原料废液（S2），回用于生产；原料废液中研磨下来的AIN粉体与水反应生成少量氨气G7，氮化铝晶体遇水反应方程式如下：AIN+3H2O 催化剂 Al(OH)3+NH3(7) 清洗：研磨后的陶瓷基片用去离子水超声波清洗，最后用去离子水喷淋清洗，清洗在洁净厂房内进行，符合溅射等工艺要求，喷淋清洗废水循环回用，定期排放委托处置，产生清洗废液（S3
38、）收集后委托无锡市工业固废处置中心处理（详见图6解析）。超声波清洗原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的微小气泡，微小气泡在声场的作用下振动。气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区当声压达到一定值时,气泡迅速增大,然后突然闭合，破坏不溶性污物而使他们分散于清洗液中,当团体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时,油被乳化,固体粒子及脱离,从而达到清洗件净化的目的。(8)检验、包装入库：根据公司质量管理程序进行质量检测，成品包装入库，产生不合格品（S4），不合格基板回用于生产。2
39、新型电子陶瓷元器件的生产：本项目氮化铝陶瓷基板1500m2用于新型电子元器件的生产，新型电子陶瓷元器件生产工艺流程如图2所示，其中金属化及电镀加厚均为委外加工。陶瓷基板半成品废边角料S5激光打孔氢氧化钠、去离子水清洗废液S3基板清洗金属化（委外）委外加工电镀加厚（委外）氢氧化钠、去离子水清洗废液S3清 洗烘 干废边角料S6产品分割不合格品S7检验、包装入库注：电加热图6 新型电子陶瓷元器件生产工艺流程图 (1)激光打孔：利用激光打孔机在陶瓷基板上打孔，并对陶瓷基板进行切割加工。该过程产生废边角料（S5）。(2)基板清洗：将打孔、切割加工后的基板用去离子水喷雾或喷淋除去松散的碎屑，用氢氧化钠浸泡
40、10分钟后，用去离子水超声波漂洗，然后用去离子水漂洗，清洗后在氮气保护中烘干。清洗在洁净厂房内进行，符合溅射等工艺要求，清洗水循环回用，定期排放委托处置，清洗废液（S3）收集后委托无锡市工业固废处置中心处理。(3)金属化：本工序委外加工。(4)电镀加厚：本工序委外加工。(5)清洗：清洗过程与研磨后基板的清洗过程是一致的。清洗水循环回用，定期排放委托处置，产生的清洗废液（S4）委托无锡市工业废物安全处置有限公司处理。（6）烘干：将清洗后的基板进行烘干，烘干过程采用电加热。(7)产品分割：采用金刚石刀具按照客户的要求进行基板分割。此工序产生废边角料（S6），研磨后回用。(8)检验、包装入库：根据公
41、司质量管理程序进行质量检测，成品包装入库，产生不合格品（S7）。二、营运期的水量平衡本项目全厂用水为喷淋、漂洗用水；研磨砂配制用水、绿化用水和职工生活用水。（1）生活用水本项目用水主要为职工生活用水，本项目营运期用水量预计如下：根据GB50015-2003建筑给水排水设计规范：车间工人的生活用水定额应根据车间性质确定，一般宜采用3050L/人班，一班8h。本项目年工作日300天，职工共30人，三班制，职工用水量以50L/人班计，本项目生活用水量预计约为1350t/a，由市政自来水管网供给，排水量以用水量的80%计，排水量约1080t/a，生活污水经化粪池后接管安镇污水处理厂集中处理。（2）根据
42、同行业对比调查，外购的去离子水用作基板漂洗、喷淋清洗，基板漂洗用水量为1.5t/a，基板喷淋清洗用水量为1t/a，损耗量按5%计，为0.1t/a，喷淋、漂洗废水排放量为2.4t/a。（3）研磨砂配置用水：研磨砂与水的比例为1:3，研磨砂用量为1t/a,则研磨砂配置用水量为3t/a，研磨砂用水损耗率以总用水量的10%计，循环量约为0.3t/a，研磨配置废水循环回用，定期添加。（4）绿化用水：绿化用水0.2 t/am2计，绿化面积为300 m2，则绿化用水量为60t/a。全厂水量平衡图见图5。收集后委托无锡市工业废物安全处置有限公司处理2.42.4损耗0.12.5去离子水（外购）喷淋、漂洗用水2.5损耗270接管安镇污水处理厂10801080化粪池生活用水13501350损耗0.3新鲜水1410.30.3回用2.7研磨砂配置用水3绿化用水6060 图5 本项目水量平衡图 单位t/a主要污染工序：1、 废气进料过程有少量粉尘（G1）产生，由于进料的原料比重3.0，故进料时产生的粉尘量微乎其微，如果按投料量0.1计算，氮化铝粉末和氧化镝粉末总用量为31.5t/a，粉尘产
