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1、 学生毕业设计（论文）题目 中国太阳能光伏产业发展前景 学 院 光伏工程学院专业 班 级 姓名 学号 指导教师 完成日期 目 录 摘要关键字 引言 一、我国太阳能光伏产业基本情况 1、太阳能制造大国2、产业呈区域式竞争格局二、我国太阳能光伏产业存在的问题 1、产业结构畸形：两头在外 2、暴利不再难阻多晶硅投资狂潮3、原料产地对多晶硅价格没有发言权4、政策拉动效应有限三、我国太阳能光伏产业发展趋势1、 我国光伏产业吸引世界目光2、终端市场将成光伏业新宠儿3、光伏业学院化之路将愈走愈宽4、薄膜电池投资日益增多结束语 参考文献摘要；因化石能源储量的有限性和利用的污染性,全世界尤其是发达国家都把太阳能
2、光伏产业的开发利用作为能源革命中最为重主要的资源。中国太阳能资源非常丰富,理论储量达每年17000亿吨标准煤,太阳能资源开发利用的潜力广阔。结合这一实际,文章阐述了我国太阳能光伏产业的现状和发展及急需要解决的两个问题。关键字：中国;光伏产业;前景 引言：传统的燃料能源正在一天天减少，对环境造成的危害日益突出，同时全球还有20亿人得不到正常的能源供应。这个时候，全世界都把目光投向了可再生能源，希望可再生能源能够改变人类的能源结构，维持长远的可持续发展。这之中太阳能以其独有的优势而成为人们重视的焦点。丰富的太阳辐射能是重要的能源，是取之不尽、用之不竭的、无污染、廉价、人类能够自由利用的能源。利用太
3、阳能的最佳方式是光伏转换，就是利用光伏效应，使太阳光射到硅材料上产生电流直接发电。以硅材料的应用开发形成的产业链条称之为光伏产业，包括高纯多晶硅原材料生产、太阳能电池生产、太阳能电池组件生产、相关生产设备的制造等。 近几年国际上光伏发电快速发展，2008年全球光伏市场增至5.5GW，其中，按地区排名西班牙名列首位，德国第二。2008年，全球太阳能安装总量已累计达15GW，西班牙新装量为2.5GW，约占2008年新增安装量的一半。虽然受金融危机影响，德国、西班牙对太阳能光伏发电的扶持力度有所降低，但其它国家的政策扶持力度却在逐年加大。日本政府2008年11月发布了“太阳能发电普及行动计划”，确定
4、太阳能发电量到2030年的发展目标是要达到2005年的40倍，并在3-5年后，将太阳能电池系统的价格降至目前的一半左右。2009年还专门安排30亿日元的补助金，专项鼓励太阳能蓄电池的技术开发。2008年9月16日，美国参议院通过了一揽子减税计划，其中将光伏行业的减税政策（ITC）续延2-6年。一 我国太阳能光伏产业基本情况1、 太阳能制造大国 中国太阳能资源非常丰富，理论储量达每年17000亿吨标准煤。太阳能资源开发利用的潜力非常广阔。中国光伏发电产业于20世纪70年代起步，90年代中期进入稳步发展时期。太阳电池及组件产量逐年稳步增加。经过30多年的努力，已迎来了快速发展的新阶段。在“光明工程
5、”先导项目和“送电到乡”工程等国家项目及世界光伏市场的有力拉动下，中国光伏发电产业迅猛发展。到2008年年底，全国光伏系统的累计装机容量达到140MW，从事光伏组件生产的企业近400家。而2008年我国的光伏产能首次超过德国，位居世界第一。2008年全世界太阳能电池总产量达6850MW，我国太阳能电池总产量达1780MW，占全球总量的26%。其中，国内太阳能电池龙头厂无锡尚德2008年产量约为500MW，排名全球第三，而天威英利产出281.5MW，天合光能产出约200MW。而从市场占有率来看，中国太阳能电池厂商（包括台湾省）的市场占有率逐年提升，2007年中国太阳能电池厂商市场占有率由2006
6、年的20%提升至35%，2008年则更进一步，大幅提升至44%，连续两年成为世界第一。2008年台湾茂迪光伏电池产量在270280MWp之间。从企业发展看，目前全国涉及太阳能的生产企业已达3000多家，有500多家光伏企业和研发单位，其中多晶硅材料企业近20家，从业人员超过10万人。我国已有11家境外上市和12家国内上市光伏企业。而在光伏设备领域，2008年我国太阳能电池设备总销售额达17.66亿元，增长迅速。其中，太阳能级硅单晶生长和加工设备销售额达12.26亿元，占太阳能电池设备销售收入的69.4%；太阳能电池芯片制造设备销售额为5.4亿元。2、 产业呈区域式竞争格局 目前，我国光伏产业经
7、过爆炸式发展，产业规模不断扩大，已初步形成环渤海、长三角、珠三角、中部地区和西部地区五大板块。长三角以江苏为产业增长极，主打中下游的光伏电池及组件生产，产业规模占全国一半；环渤海以河北为核心，主打上游材料生产加工，产业规模居第二，主要聚集区为邢台宁晋、保定和廊坊；珠三角以深圳为核心，主打下游应用产品生产；中部地区主要是江西、湖北、湖南；西部地区主要是四川、内蒙古、青海、陕西等省，重点利用能源、矿产等优势，主打上游多晶硅原料生产，可提供全国10%的原料。总体上看，我国光伏产业正处在产业重组和战略布局阶段，目前国内有28个省市都把光伏产业作为新的主导产业和产业结构调整的重点，面临着巨大的产业整合压
8、力。从我国光伏产业聚集格局变化趋势看，环渤海、长三角、珠三角和中西部地区已形成了多个覆盖光伏产业链的制造企业集群，未来将有可能逐步形成五大光伏产业集聚地。而在各省市当中，2008年江苏省太阳能电池产量占全国总产量的份额高达70%，成为名副其实的太阳能第一大省。截止2008年，江苏省已经有无锡尚德、常州天合、南京中电等6家海外上市光伏企业，其中，5家进入世界前20强，另外还有280多家为光伏上市企业、骨干企业进行配套的特色企业，已经形成了完整的光伏产业链条。 二、我国太阳能光伏产业存在的问题1、 产业结构畸形：两头在外 尽管过去几年，我国太阳能光伏产业发展迅速，但是仍然没有改变“两头在外”的畸形
9、产业机构。2008年我国光伏系统安装量为40MW，占全球总安装量的比例仅为0.73%。而在2007年我国光伏系统安装量为20MW，占全球总安装量的比例为0.8%。而传统光伏大国德国2008年的光伏系统安装量1500MW，占全球总安装量的比例达到27.27%；欧洲另一光伏大国西班牙的安装量则达到2511MW，占全球总安装量的比例则高达45.65%。 与我国光伏系统安装量极少相对应的是，近年来我国光伏产品的产量已经稳居世界头把交椅。据中投顾问最新发布的2009-2012年中国太阳能电池行业投资分析及前景预测报告显示，2008年我国光伏电池产量达1.78GW，占全球总量的26%。而从市场占有率来看，
10、中国太阳能电池厂商）包括台湾省）的市场占有率逐年提升，2007年中国太阳能电池厂商市场占有率由2006年的20%提升至35%，2008年则更进一步，大幅提升至44%，连续两年成为世界第一。终端市场在外且主要其中在欧洲，已经使得我国光伏制造厂商在金融危机中遭遇到了极大地打击。与终端市场相对应的是，上游的多晶硅产业的提纯核心技术主要掌握在国外七大厂商手中，包括美国的Hemlock，挪威的REC、美国的MEMC、德国的Wacker、日本的Tokuyama、Mitsubishi Material和Sumitomo Titanium。他们垄断了全球的多晶硅料供应，获得了太阳能产业最丰厚的利润。 2、暴利
11、不再难阻多晶硅投资狂潮 2006年以来我国多晶硅项目累计投资已达440亿元，而且这种趋势还有愈演愈烈的倾向。国内两大光伏龙头企业天威保变、江西赛维累计8000吨的多晶硅项目正在建设。从2006年下半年开始，多晶硅概念在国内逐渐升温，许多上市企业纷纷涉足其中。A股中投资多晶硅的企业包括南玻A、川投能源、天威保变、特变电工、江苏阳光、乐山电力、岷江水电、通威股份、航天机电、桂东电力、银星能源等十余家。2008年虽然遭遇经济危机，但很多企业仍然逆市扩产。2008年11月底，江苏顺大一期1500吨多晶硅项目正式投产；12月底江苏阳光一期1500吨项目、南玻A1500吨生产线分别投产；2009年1月亚洲
12、硅业1500吨生产线举行投产仪式；2009年4月江苏中能13500吨产能将全部投产。另外，目前我国在建项目多晶硅项目总数逾20个，总投资额逾700亿。其中，在建最大的项目为南京大陆投资集团、美国PPP、SCC、西图等公司共同投资建设托克托县多晶硅项目，总投资180亿元，建设规模为年产多晶硅18000吨。而云南爱硅信科技有限公司总规划10000吨/年多晶硅项目，总投资也逾100亿元。最新开工的项目则由山东晟朗能源科技有限公司2009年4月18日投资兴建，首期投资11亿，总投资达90亿。在国内企业不断掀起的多晶硅投资热潮中，2009年国际多晶硅远期合同加权平均价格比2008年下跌30%至107美元
13、/公斤，现货价格则在2009年5月已跌至60-70美元/公斤。国内的多晶硅成本普遍在每公斤50美元至70美元，个别没有闭环式生产的公司，成本高达每公斤100美元。这也就意味着，国内多晶硅企业的利润已经相当微薄，甚至出现亏损经营的状况。 3、 原料产地对多晶硅价格没有发言权 长期以来，多晶硅产业的“弱势”始终困扰着我国光伏产业，最大的原因就是无法突破国际大厂的技术壁垒而导致成本高企。但是国内多晶硅产业并非没有优势，这种优势就在于多晶硅上游原料冶金硅80%的主要产地来自于我国。中投顾问最新发布的2009-2012年中国金属硅市场投资分析及前景预测报告显示，我国是全球主要的金属硅产地，2007年中国
14、金属硅总产量为95-100万吨，而2006年中国金属硅总产量为75-80万吨。进入21世纪以来，中国的工业硅生产和出口一直保持着较快的增长速度。2001年中国出口工业硅32.24万吨，2002年为38.74万吨，2003年达到47.90万吨，2004年突破50万吨，达到54.51万吨，2005年与2004年基本持平，为53.61万吨。但2006年达到61.4万吨，比2005年增长了14.6%；2007年上半年又比2006年同期增长了16.3%，2007年全年出口工业硅达到69.8万吨，比2006年增长了13.8%。2008年1-3月份中国金属硅生产量在200000-250000吨左右，国内消费
15、量在35000-85000吨左右，其余全部出口。我国多晶硅产业同样拥有巨大的资源优势，但不但没有把优势转化为胜势，反而完全受制于国际大厂。根本原因在于没有形成类似于铁矿石领域的“三巨头”那样的规模化优势，而是一些中小企业各自为战，且存在恶性竞争。4 、政策拉动效应有限到目前为止，国内甚至全球光伏产业都还是明显的“政策市”阶段，从国外光伏产业的发展经验来看，在政府出台相关财政补贴或电价上网政策后，行业基本都出现了爆发性的增长，比如德国、西班牙等。2004年德国政府启动上网电价法，即著名的EEG法案，导致德国光伏安装量激增，最初的上网电价为3倍的零售电价或者8倍的工业电价。光伏系统在安装后的20年
16、内固定价格，但推迟一年，固定价格下调一定的比率。德国现行的太阳能补助案是在2008年由该国下议院正式宣读后定案。目前的太阳能年度收购电价税率）Feed-in Tariffs）由2008年以前年降幅5%，改成2009、2010年降8%、2011年降9%；地面装配系统）Ground- mounted system）从2008年降6.5%，改成20092010年降10%。新法规已在2009年1月1日生效。2004年西班牙开始实施“皇家太阳能计划”。2006年进行了修改，该计划提出了购电补偿法，对发电量小于100kWp（千瓦能）的光伏系统，实行按0.44EUD/kWh的价格（为平均电价的5.75倍），
17、有效期为25年，25年后购电价格变为平均电价的4.6倍。对大于100kWp的光伏发电系统，则采用0.23EU/kWh的价格（平均电价的3倍）。以上政策对于德国、西班牙的光伏产业发展起到了至关重要的作用。而我国在2007年以前光伏产业的政策基本上是空白一片。2007年可再生能源中长期发展规划的出台作用也是相当有限。进入2009年之后，我国政府相继出台了“太阳能屋顶计划”、“金太阳工程”等政策，但中投顾问能源行业首席研究员姜谦认为，姜谦指出，光伏产业要正常发展，最重要的还是解决上网电价的问题。也就是说，发出来的电电网公司有积极性去购买，终端用户乐意去用才是最关键的因素。德国、西班牙等国的财政补贴正
18、是从此处下手，才使得光伏行业出现了爆发性的增长。而我国三部门此次联合颁发的“金太阳工程”，补贴的重点则是集中在安装侧，并未解决上网电价这一实质性问题。仅从这一层面上看，“金太阳工程”开启光伏产业井喷时代就难言乐观。 三、我国太阳能光伏产业发展趋势 1、2、3、 待添加的隐藏文字内容3我国光伏产业吸引世界目光 伴随着太阳能投资热潮在中国的兴起，中国的太阳能产业已经成为全球瞩目的焦点。著名投资银行拉扎德资本预计，2011年前中国太阳能产业规模能达到1-1.5GW。2012年前该行业规模将达到2GW，2020年前则会达到20GW。另外，预计我国太阳能光伏行业有望吸引逾100亿美元的私人投资，并有助中
19、国未来三年成为全球主要的太阳能设备市场。姜谦认为，虽然到目前为止全球太阳能产业的终端市场仍然集中在欧洲，但随着金融危机后各国太阳能政策的转变，中国等新兴市场有望取代西班牙、德国成为全球太阳能产业的主要增长点。2009年6月24日浙江温州大展国际贸易有限公司“牵手”沙特阿拉伯巴格山集团，巴格山将以资金入股在温州投资太阳能项目，该项目总投资5.3亿元。6月22日江苏响水县与美国新能源技术公司签订太阳能光伏产业基地项目协议书。该项目一年内建成一条生产线，年产1000吨多晶硅，三年内建成7条生产线，年产7000吨多晶硅，总投资约50亿元，六年内投资完成光伏产业基地，将发展成“多晶硅硅锭硅片光伏电池组件
20、”完整的太阳能光伏产业链。6月16日四川甘孜州政府与西班牙维拉米尔集团在西班牙正式签订协议，总投资8.2亿欧元的硅产业合作项目落户康定。姜谦指出，短短几天之内，多家国际企业纷纷选择投资光伏产业，这并非偶然。说明在我国政府强有力的政策引导下，我国的光伏产业不仅让国内企业看到了机遇，而且可以毫不夸张地说，中国的太阳能光伏产业已经吸引了世界的目光。姜谦同时认为，以上国际企业的入主应该只是一个开端，未来应该会有更多的海外资本选择涉足中国太阳能光伏产业。这不管是对国内光伏产业来说，还是对我国的整个能源产业来说，都是一个巨大的机遇。虽然说我国光伏产业的前景一片广阔，但是发展历程并不会一帆风顺。一个新兴产业
21、的快速发展，前提必须是涉及产业链上中下游的相关行业同步发展。而这种发展已不仅仅是简单的产能获得提升，更重要的是在掌握核心技术前提下的国际竞争力的提升。如果说先前的终端市场集中在海外是国内光伏制造企业发展的最大瓶颈的话，那么后金融危机时代，内需市场逐步开启的情况下，国内企业却将面临因成本高企而导致产品缺乏竞争力的尴尬。若国内厂商不尽快在技术领域寻求突破，那么，未来受影响的将不止单个企业的利益，整个国内光伏产业的发展或许都会受到国际巨头的牵制。4、 终端市场将成光伏业新宠儿当行业利润不再，甚至出现亏损经营状况之后，企业投身多晶硅行业的热情也会消失殆尽。近日有消息传出，四川省一些多晶硅企业已经出现间
22、歇性停产，这应该是国内多晶硅行业大洗牌的先兆。 几家欢喜几家愁，光伏产业曾经的宠儿多晶硅浮华褪去之后，必定有新的替代者。而终端市场则有望成为这个新的宠儿。7月14日，赛维LDK太阳能有限公司宣布收购意大利太阳能市场专业系统整合商SGT公司的控股权。收购后赛维LDK将持有SGT公司70%的股份。这是继6月中旬拿下国内的敦煌10兆瓦太阳能项目之后，赛维LDK加快向光伏下游拓展的又一表现。 其实，早在2008年2月投资25亿美元成立苏州Best Solar公司，正式进入太阳能电池片生产领域；2008年11月，公司年产1500吨的多晶硅一期项目正式投产，赛维LDK逐步向产业链上下游渗透。2009年5月
23、，赛维LDK董事长彭小峰在“两岸太阳能论坛”上表示，公司不排除与同业在全球主要市场成立组件与系统公司，这意味着赛维LDK将垂直一体化作为了企业的战略目标。 此外，长期从事硅片生产的浙江昱辉近期在四川投资多晶硅生产基地的基础上，还将启动太阳能电池生产线，并收购了一家电池组件生产企业，打造垂直一体化企业趋势已经非常明显。对于跃跃欲试抢滩光伏市场的中国五大电力集团而言，其进入的模式也更偏向于“垂直一体化产业链”模式，中电投、大唐和国电都已提出了“多晶硅太阳能电池太阳能发电”全方位介入太阳能产业的设想。 姜谦指出，赛维LDK向光伏下游拓展的动作可以看作是光伏产业的一个风向标。预计未来会有更多的企业跟随
24、它的步伐。 3、光伏业学院化之路将愈走愈宽 2008年10月6日，我国首个太阳能光伏学院南昌大学太阳能光伏学院挂牌成立。2009年4月，经国家教育部教发函）2009）86号文、江西省政府赣府字）2009）13号文批准，江西中山职业技术学院更名为江西太阳能科技职业学院）国标代码：14166），这也是全国首家太阳能科技职业学院，2009年4月20日，由无锡科技职业学院与无锡尚德太阳能电力控股有限公司共同建立的尚德光伏学院在科技职业学院正式揭牌成立。2009年5月22日，阿特斯阳光电力与常熟理工学院签定框架协议，双方将合作创办阿特斯太阳能光伏科技学院。 短短的几个月时间，太阳能光伏学院在全国各地如雨
25、后春笋般茁壮成长起来。中投顾问能源行业首席研究员姜谦表示，这反应了一种趋势。在金融危机在下，我国光伏产业受到了很大的冲击，一个最主要的原因就是，没有核心技术在手，无法掌控市场主动权，面对危机只能被动挨打。但金融危机同时也给光伏产业指明了一条道路，那就是，只有在研发领域占领先机，才能在竞争激烈的国际市场上拥有话语权。而研发、研究恰是大学领先于企业的地方所在。未来如有更多的大学和光伏企业进行全方位的合作，光伏产业的“学院”化之路将愈走愈宽，而我国光伏产业也会从“制造大国”逐渐走向“制造强国”。5、 薄膜电池投资日益增多 由于在过去的几年中，国际多晶硅现货价格猛涨，一度从2005年的35美元/公斤攀
26、升至2008年的480美元/公斤，因此价格低廉的薄膜电池得到了迅速的发展。不少人认为，低价的薄膜太阳能电池将是晶体硅电池最大的竞争对手。但是这场危机冲击得海外市场严重萎缩，导致多晶硅价格暴跌，因此业内又有了“薄膜电池优势不在”的论断。但事实却是：在技术创新意识和能力突飞猛进的21世纪，低价且有极大工艺改良性的产品永远能吸引投资者的目光。5月5日，河北新奥光伏能源有限公司生产的中国第一块超大型5.7硅基薄膜太阳能电池板正式亮相第三届国际太阳能光伏大会。该公司自2007年投资薄膜电池领域，计划总投资140亿元人民币，到2010年产能达到500MW。5月12日，中特集团（香港）与重庆市綦江县签订投资
27、协议，计划在綦江县投资38亿元着力打造薄膜太阳能光伏产业园；5月中旬，江苏绿洲新能源公司投资6亿美元在江苏省镇江市新上总产能达200MW的非晶硅薄膜电池项目；5月25日，浙江正泰首条20MW微晶非晶第二代薄膜电池生产线正式投产，目前该公司在薄膜电池上的投资已达20亿元人民币；5月末，信义玻璃宣布引入年产能达275万平方米的第二条光伏薄膜导电玻璃生产线，预期2010年第三季度于珠三角投产，总投资额逾1亿元人民币；6月5日，由中国汇通担保有限公司、台湾威奈科技股份有限公司联合投资1.5亿美元的CIGS薄膜太阳能电池生产线、太阳能电站及太阳能相关系列产品生产项目正式签约；此外，天威薄膜公司薄膜太阳能
28、电池研发检测中心4月8日奠基开建，富捷投资在武汉投资4亿元的薄膜项目也已于近日开建；还有广东省佛山市三水园区，随着中国建材集团、爱康集团总计近50亿元的薄膜项目入驻，这里已经成为中国重要的薄膜电池产业基地之一。放眼全球，2008年，全球薄膜太阳能电池实际产量远超预期，达到892MW，比2007年增长123%，连续两年成长率超过120%。薄膜巨头美国First Solar公司2008产量更是达到503MW，跃居全球太阳能电池产量排行榜次席，而且非常有可能在今年荣登榜首，达到1000MW的产量。从2008年7月份以来，联想、英特尔、国际金融公司IFC等纷纷进入薄膜电池行业。今年5月初，全球最大的太
29、阳能电池制造商Q-Cells旗下Sunfilm公司与Sontor公司宣布联手建立世界上最大的硅基多结薄膜组件公司。 结束语在金融危机形势下,2009年3月23日,财政部、住房和城乡建设部出台关于加快推进太阳能光电建筑应用的实施意见,并出台了太阳能光电建筑应用财政补助资金管理暂行办法,决定有条件地对部分光伏建筑进行每瓦最多20元人民币的补贴。这两个文件的出台,让国内太阳能光伏企业看到了光明的前景 在我国能源供需平衡中,可再生能源已经具有重要地位。而太阳能光伏发电的应用是光伏系统的发展趋势。当然,要使太阳能发电真正达到民用水平,主要有两个问题需要解决:第一是提高太阳能光电变换效率,降低成本。目前光
30、伏发电成本高昂,为传统能源的5-8倍,尚不具备大幅应用的条件。目前,我国90%以上的光伏电池组件和系统销往国外,国内建筑安装应用量较小。我国的光伏产业己出现了典型的产业与市场倒挂现象,而我国目前的光伏发电仅限于边远无电地区和大城市里的一些示范工程。第二是实现太阳能发电与电网的连接。大功率光伏并网发电系统以及光伏发电与建筑相结合的屋顶并网光伏发电系统都必将成为光伏应用最重要的领域,有着十分广阔的前景。虽然我国电力供应业发展十分成熟,但是光伏发电本身规模小,上网电价高,对电网运行的稳定性和经济性均有不利影响,这也是新能源发电产业面临的共同困境。我国是以煤炭为主要消费能源的国家。较之以油、气为主的能
31、源消费主流,能源结构很不合理。在相当长的历史时期,我国曾把发展能源、交通作为国民经济的发展重点,对能源资源过度的开采和粗放型使用,不惜以环境污染作为代价,试图突破能源和交通对国民经济的制约,致使我国现在的能源开发面临着极大的挑战。曾经的炙热让我们舍弃了长远,追逐那短暂的利益,忘却了我们的生命之源-降低发电成本。降低发电成本意味着光伏行业要有更大的发展。当前我国十分重视太阳能的开发和利用,根据我国太阳能光电发展计划,到2020年的太阳能光电总容量将达到300MWp。总之,我国对太阳能的利用起步较晚,潜力很大,特别是我国地域广袤,太阳能资源丰富,开发利用太阳能的空间十分广阔,必须重视其开发利用,为
32、今后我国的能源提供更多的选择。 6致谢经过一段时间的忙碌和工作，本次毕业论文设计已经接近尾声，作为一个大专生的毕业论文，由于经验不足难免有许多考虑不周全的地方。如果没有指导老师的监督，想要完成这个设计是难以想象的。在论文写作过程中，的到了老师耐心的指导。他严肃的科学态度，严谨的治学精神，精益求精的工作作风，深深的感染和激励着我，从课题的选择到项目的最终完成，老师都始终给予我细心的指导和不懈的支持，并将积极影响我今后的学校和工作。在论文即将完成之际，我的心情无法平静，很紧张，很激动，文章最后，我在此谨向老师致以诚挚的谢意和崇高的敬意，谢谢！7参考文献1 唐雪林等刷洗对硅单晶抛光片表面质量的影响98全国半导体硅材料学术会议论文集，上海，1998：104 2董慧燕国外硅片清洗工艺研究新发展98全国半导体硅材料学术会议论文集，上海，1998：31
