硅材料的分类与制备课件.ppt

上传人:牧羊曲112 文档编号:3451634 上传时间:2023-03-13 格式:PPT 页数:20 大小:1.20MB
返回 下载 相关 举报
硅材料的分类与制备课件.ppt_第1页
第1页 / 共20页
硅材料的分类与制备课件.ppt_第2页
第2页 / 共20页
硅材料的分类与制备课件.ppt_第3页
第3页 / 共20页
硅材料的分类与制备课件.ppt_第4页
第4页 / 共20页
硅材料的分类与制备课件.ppt_第5页
第5页 / 共20页
点击查看更多>>
资源描述

《硅材料的分类与制备课件.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《硅材料的分类与制备课件.ppt(20页珍藏版)》请在三一办公上搜索。

1、第二章 IC制造材料,固体材料:超导体:大于106(cm)-1 导 体:106104(cm)-1 半导体:10410-10(cm)-1 绝缘体:小于10-10(cm)-1,?什么是半导体,从导电特性和机制来分:不同电阻特性不同输运机制,半导体掺入某些元素的微量原子能灵敏改变其导电性。温度、光照、压力等外界因素会使其导电能力大增。,硅的原子最外层有四个电子,每个原子和邻近的四个原子以共价键结合,组成一个正四面体。每个硅原子可以看成是四面体的中心(金刚石结构)。,金刚石结构,2.1 重要的半导体材料硅,用扫描隧道显微镜观察到的硅晶体表面的原子排列,硅材料是当代电子工业中应用最多的半导体材料,它还是

2、目前可获得的纯度最高的材料之一,其实验室纯度可达12 个“9”的本征级,工业化大生产也能达到711个“9”的高纯度。,2.2 硅材料的分类,1、按形态分:薄膜型:淀积在玻璃、钢片、铝片等廉价衬底上,所用的硅材料很少。体材料(块状硅):通常以硅片形式出现,单晶硅片(晶圓),2、按纯度分:,随着纯度上升,成本呈指数上升,3、按结构分:,单晶硅:所有的硅原子按一定规律整齐排列,结构完全是金刚石型的。长程有序多晶硅:有众多小晶粒,排列方向不同。非晶硅:短程有序,长程无序,各种硅材料的电子迁移率,单晶硅锭及硅片,非晶硅及多晶硅,上述3种分类一般要综合,例如:非晶硅薄膜多晶硅薄膜单晶硅锭(片)多晶硅锭(片

3、)半导体级的硅才能制成单晶硅,太阳级硅则只能制成多晶硅锭,非晶硅一般以薄膜形式出现。,2.3 硅材料的制备 由于硅的纯度对芯片或太阳电池有很重大的影响,所以工业生产要求使用高纯硅,以满足器件质量的需求。在硅材料的提纯工艺流程中,一般说来,化学提纯在先,物理提纯在后。原因是:一方面化学提纯可以从低纯度的原料开始,而物理提纯必须使用具有较高纯度的原料;另一方面是化学提纯难免引入化学试剂的污染,而物理提纯则没有这些污染。概况由硅石粗硅高纯多晶硅(纯度在99.9999999以上)单晶硅,1 粗硅的制备粗硅又称工业硅或结晶硅(冶金级硅),纯度在9599。这种硅是石英砂在电炉中用碳还原方法冶炼而成的。反应

4、要点:高温16001800原因:SiO2(s)十2C(s)Si(s)十2CO(g)粗硅中杂质多,主要有Fe、Al、C、B、P、Cu 等,其中Fe 含量最多。可用酸洗法初步提纯,高纯硅还需进一步提纯。,2 多晶硅的制备由粗硅合成SiHCl3(改良西门子法)或SiCl4或SiH4中间体,精馏提纯后,用氢气还原或热分解而制得多晶硅三种方法各有特点,改良西门子法是当前制取多晶硅的主要方法SiHCl3的制备多用粗硅与干燥氯化氢在200以上反应 Si十3HCl=SiHCl3+H2 除生成SiHCl3外,还可能生成SiH4、SiH3Cl、SiH2Cl2、SiCl4等各种氯化硅烷,其中主要的副反应是2Si十7

5、HClSiHCl3十SiCl4十3H2,SiHCl3性质又称硅氯仿,结构与SiCl4相似,为四面体型。SiHCl3稳定性稍差,易水解SiHCl3十2H2O=SiO2十3HCl十H2注意要点(1)合成温度宜低,温度过高易生成副产物。常加少量铜粉或银粉作为催化剂(2)反应放热,常通入Ar或N2带走热量以提高转化率(3)须严格控制无水无氧。因SiHCl3水解产生的SiO2会堵塞管道造引起事故。而氧气则会与SiHCl3或H2反应,引起燃烧或爆炸,SiHCl3的提纯精馏利用杂质和SiHCl3沸点不同用精馏的方法分离提纯多晶硅的制备精馏提纯后的SiHCl3用高纯氢气还原得到多晶硅SiHCl3十H2=Si十

6、3HCl 上述反应是生成SiHCl3的逆反应。反应得到的多晶硅还不能直接用于生产电子元器件,必须将它制成单晶体并在单晶生长过程中“掺杂”,以获得特定性能的半导体。,3、单晶硅的制备 多晶硅主要产品有棒状和粒状两种。制备单晶硅,一方面是晶化(让硅原子排成金刚石结构),另一方面也有提纯作用(分凝效应)。区熔(FZ)法直拉法(CZ):将多晶硅融解 后,再利用硅晶种慢慢拉出单晶硅晶棒。一支85公分长,重76.6公斤的 8寸 硅晶棒,约需 2天半时间长成。区熔单晶硅(FZ-Si)主要用于制作电力电子器件(SR、SCR、GTO等)、射线探测器、高压大功率晶体管等;直拉单晶硅(CZ-Si)主要用于制作LSI

7、、晶体管、传感器及硅光电池等。浇注多晶硅、淀积和溅射非晶硅主要用作各种硅光电池等。,拉单晶,2.4 多晶硅材料相关产业链产品,芯片制造及封装,半导体用硅材料产业链,硅系太阳能电池产业链,1、有时候,我们活得累,并非生活过于刻薄,而是我们太容易被外界的氛围所感染,被他人的情绪所左右。2、身材不好就去锻炼,没钱就努力去赚。别把窘境迁怒于别人,唯一可以抱怨的,只是不够努力的自己。3、大概是没有了当初那种毫无顾虑的勇气,才变成现在所谓成熟稳重的样子。4、世界上只有想不通的人,没有走不通的路。将帅的坚强意志,就像城市主要街道汇集点上的方尖碑一样,在军事艺术中占有十分突出的地位。5、世上最美好的事是:我已

8、经长大,父母还未老;我有能力报答,父母仍然健康。6、没什么可怕的,大家都一样,在试探中不断前行。7、时间就像一张网,你撒在哪里,你的收获就在哪里。纽扣第一颗就扣错了,可你扣到最后一颗才发现。有些事一开始就是错的,可只有到最后才不得不承认。8、世上的事,只要肯用心去学,没有一件是太晚的。要始终保持敬畏之心,对阳光,对美,对痛楚。9、别再去抱怨身边人善变,多懂一些道理,明白一些事理,毕竟每个人都是越活越现实。10、山有封顶,还有彼岸,慢慢长途,终有回转,余味苦涩,终有回甘。11、人生就像是一个马尔可夫链,你的未来取决于你当下正在做的事,而无关于过去做完的事。12、女人,要么有美貌,要么有智慧,如果

9、两者你都不占绝对优势,那你就选择善良。13、时间,抓住了就是黄金,虚度了就是流水。理想,努力了才叫梦想,放弃了那只是妄想。努力,虽然未必会收获,但放弃,就一定一无所获。14、一个人的知识,通过学习可以得到;一个人的成长,就必须通过磨练。若是自己没有尽力,就没有资格批评别人不用心。开口抱怨很容易,但是闭嘴努力的人更加值得尊敬。15、如果没有人为你遮风挡雨,那就学会自己披荆斩棘,面对一切,用倔强的骄傲,活出无人能及的精彩。16、成功的秘诀在于永不改变既定的目标。若不给自己设限,则人生中就没有限制你发挥的藩篱。幸福不会遗漏任何人,迟早有一天它会找到你。17、一个人只要强烈地坚持不懈地追求,他就能达到

10、目的。你在希望中享受到的乐趣,比将来实际享受的乐趣要大得多。18、无论是对事还是对人,我们只需要做好自己的本分,不与过多人建立亲密的关系,也不要因为关系亲密便掏心掏肺,切莫交浅言深,应适可而止。19、大家常说一句话,认真你就输了,可是不认真的话,这辈子你就废了,自己的人生都不认真面对的话,那谁要认真对待你。20、没有收拾残局的能力,就别放纵善变的情绪。1、不是井里没有水,而是你挖的不够深。不是成功来得慢,而是你努力的不够多。2、孤单一人的时间使自己变得优秀,给来的人一个惊喜,也给自己一个好的交代。3、命运给你一个比别人低的起点是想告诉你,让你用你的一生去奋斗出一个绝地反击的故事,所以有什么理由

11、不努力!4、心中没有过分的贪求,自然苦就少。口里不说多余的话,自然祸就少。腹内的食物能减少,自然病就少。思绪中没有过分欲,自然忧就少。大悲是无泪的,同样大悟无言。缘来尽量要惜,缘尽就放。人生本来就空,对人家笑笑,对自己笑笑,笑着看天下,看日出日落,花谢花开,岂不自在,哪里来的尘埃!5、心情就像衣服,脏了就拿去洗洗,晒晒,阳光自然就会蔓延开来。阳光那么好,何必自寻烦恼,过好每一个当下,一万个美丽的未来抵不过一个温暖的现在。6、无论你正遭遇着什么,你都要从落魄中站起来重振旗鼓,要继续保持热忱,要继续保持微笑,就像从未受伤过一样。7、生命的美丽,永远展现在她的进取之中;就像大树的美丽,是展现在它负势

12、向上高耸入云的蓬勃生机中;像雄鹰的美丽,是展现在它搏风击雨如苍天之魂的翱翔中;像江河的美丽,是展现在它波涛汹涌一泻千里的奔流中。8、有些事,不可避免地发生,阴晴圆缺皆有规律,我们只能坦然地接受;有些事,只要你愿意努力,矢志不渝地付出,就能慢慢改变它的轨迹。9、与其埋怨世界,不如改变自己。管好自己的心,做好自己的事,比什么都强。人生无完美,曲折亦风景。别把失去看得过重,放弃是另一种拥有;不要经常艳羡他人,人做到了,心悟到了,相信属于你的风景就在下一个拐弯处。10、有些事想开了,你就会明白,在世上,你就是你,你痛痛你自己,你累累你自己,就算有人同情你,那又怎样,最后收拾残局的还是要靠你自己。11、

13、人生的某些障碍,你是逃不掉的。与其费尽周折绕过去,不如勇敢地攀登,或许这会铸就你人生的高点。12、有些压力总是得自己扛过去,说出来就成了充满负能量的抱怨。寻求安慰也无济于事,还徒增了别人的烦恼。13、认识到我们的所见所闻都是假象,认识到此生都是虚幻,我们才能真正认识到佛法的真相。钱多了会压死你,你承受得了吗?带,带不走,放,放不下。时时刻刻发悲心,饶益众生为他人。14、梦想总是跑在我的前面。努力追寻它们,为了那一瞬间的同步,这就是动人的生命奇迹。15、懒惰不会让你一下子跌倒,但会在不知不觉中减少你的收获;勤奋也不会让你一夜成功,但会在不知不觉中积累你的成果。人生需要挑战,更需要坚持和勤奋!16

14、、人生在世:可以缺钱,但不能缺德;可以失言,但不能失信;可以倒下,但不能跪下;可以求名,但不能盗名;可以低落,但不能堕落;可以放松,但不能放纵;可以虚荣,但不能虚伪;可以平凡,但不能平庸;可以浪漫,但不能浪荡;可以生气,但不能生事。17、人生没有笔直路,当你感到迷茫、失落时,找几部这种充满正能量的电影,坐下来静静欣赏,去发现生命中真正重要的东西。18、在人生的舞台上,当有人愿意在台下陪你度过无数个没有未来的夜时,你就更想展现精彩绝伦的自己。但愿每个被努力支撑的灵魂能吸引更多的人同行。19、积极的人在每一次忧患中都看到一个机会,而消极的人则在每个机会中看到了某种忧患。莫找借口失败,只找理由成功。

15、20、每一个成就和长进,都蕴含着曾经受过的寂寞、洒过的汗水、流过的眼泪。许多时候不是看到希望才去坚持,而是坚持了才能看到希望。1、想要体面生活,又觉得打拼辛苦;想要健康身体,又无法坚持运动。人最失败的,莫过于对自己不负责任,连答应自己的事都办不到,又何必抱怨这个世界都和你作对?人生的道理很简单,你想要什么,就去付出足够的努力。2、时间是最公平的,活一天就拥有24小时,差别只是珍惜。你若不相信努力和时光,时光一定第一个辜负你。有梦想就立刻行动,因为现在过的每一天,都是余生中最年轻的一天。3、无论正在经历什么,都请不要轻言放弃,因为从来没有一种坚持会被辜负。谁的人生不是荆棘前行,生活从来不会一蹴而

16、就,也不会永远安稳,只要努力,就能做独一无二平凡可贵的自己。4、努力本就是年轻人应有的状态,是件充实且美好的事,可一旦有了表演的成分,就会显得廉价,努力,不该是为了朋友圈多获得几个赞,不该是每次长篇赘述后的自我感动,它是一件平凡而自然而然的事,最佳的努力不过是:但行好事,莫问前程。愿努力,成就更好的你!5、付出努力却没能实现的梦想,爱了很久却没能在一起的人,活得用力却平淡寂寞的青春,遗憾是每一次小的挫折,它磨去最初柔软的心智、让我们懂得累积时间的力量;那些孤独沉寂的时光,让我们学会守候内心的平和与坚定。那些脆弱的不完美,都会在努力和坚持下,改变模样。6、人生中总会有一段艰难的路,需要自己独自走

17、完,没人帮助,没人陪伴,不必畏惧,昂头走过去就是了,经历所有的挫折与磨难,你会发现,自己远比想象中要强大得多。多走弯路,才会找到捷径,经历也是人生,修炼一颗强大的内心,做更好的自己!7、“一定要成功”这种内在的推动力是我们生命中最神奇最有趣的东西。一个人要做成大事,绝不能缺少这种力量,因为这种力量能够驱动人不停地提高自己的能力。一个人只有先在心里肯定自己,相信自己,才能成就自己!8、人生的旅途中,最清晰的脚印,往往印在最泥泞的路上,所以,别畏惧暂时的困顿,即使无人鼓掌,也要全情投入,优雅坚持。真正改变命运的,并不是等来的机遇,而是我们的态度。9、这世上没有所谓的天才,也没有不劳而获的回报,你所

18、看到的每个光鲜人物,其背后都付出了令人震惊的努力。请相信,你的潜力还远远没有爆发出来,不要给自己的人生设限,你自以为的极限,只是别人的起点。写给渴望突破瓶颈、实现快速跨越的你。10、生活中,有人给予帮助,那是幸运,没人给予帮助,那是命运。我们要学会在幸运青睐自己的时候学会感恩,在命运磨练自己的时候学会坚韧。这既是对自己的尊重,也是对自己的负责。11、失败不可怕,可怕的是从来没有努力过,还怡然自得地安慰自己,连一点点的懊悔都被麻木所掩盖下去。不能怕,没什么比自己背叛自己更可怕。12、跌倒了,一定要爬起来。不爬起来,别人会看不起你,你自己也会失去机会。在人前微笑,在人后落泪,可这是每个人都要学会的

19、成长。13、要相信,这个世界上永远能够依靠的只有你自己。所以,管别人怎么看,坚持自己的坚持,直到坚持不下去为止。14、也许你想要的未来在别人眼里不值一提,也许你已经很努力了可还是有人不满意,也许你的理想离你的距离从来没有拉近过.但请你继续向前走,因为别人看不到你的努力,你却始终看得见自己。15、所有的辉煌和伟大,一定伴随着挫折和跌倒;所有的风光背后,一定都是一串串揉和着泪水和汗水的脚印。16、成功的反义词不是失败,而是从未行动。有一天你总会明白,遗憾比失败更让你难以面对。17、没有一件事情可以一下子把你打垮,也不会有一件事情可以让你一步登天,慢慢走,慢慢看,生命是一个慢慢累积的过程。18、努力也许不等于成功,可是那段追逐梦想的努力,会让你找到一个更好的自己,一个沉默努力充实安静的自己。19、你相信梦想,梦想才会相信你。有一种落差是,你配不上自己的野心,也辜负了所受的苦难。20、生活不会按你想要的方式进行,它会给你一段时间,让你孤独、迷茫又沉默忧郁。但如果靠这段时间跟自己独处,多看一本书,去做可以做的事,放下过去的人,等你度过低潮,那些独处的时光必定能照亮你的路,也是这些不堪陪你成熟。所以,现在没那么糟,看似生活对你的亏欠,其实都是祝愿。,

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置:首页 > 生活休闲 > 在线阅读


备案号:宁ICP备20000045号-2

经营许可证:宁B2-20210002

宁公网安备 64010402000987号