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操作SEM的实验步骤操作SEM的实验步骤 一、SEM表面形貌的拍摄 1、装样。 2、抽真空3点击，真空达到5*10Pa。 ，开始测试。 -3 4、调电压，18-20kv,进行点扫描时电压一定要达到20kv。5、调节对比度和亮度。 6、调节放大倍数找点、快速扫描慢速扫描暂停 7、filesave asEDS date即可。 注：高倍下调节清晰度。 二、SEM点扫描 1、Point & ID。 2、试样描述元素+配置文件书写已知的元素。 3、采集图像开始是调节对比度和亮度。 4、采集图谱。 5、报告结果。 6、保存至计算机Date(D:) EDS date。 采集图谱时应该注意： 消除噪声。 变换质量/原子。 打点：注意切换，以节省时间。 测能谱仪时电压为20kv。 调节像散：shift+。 图像转动：shift+F12。 页面最大化：F5。 三、卸真空，取样步骤： 1、降低放大倍数。 2、降低电压至500V。 3、点击Beam on，使之变色。 4、点击vent。 5、颜色变深。 6、取样。
