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1、洁净度等级对照iso洁净等级1-9级可能是参照的ISO的标准国际标准, 一般我们所说的百级相当于ISO5级 万级相当于ISO7级 十万级相当于ISO8级 一百万级相当于ISO9级 1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级 还有著名的美国联邦标准可以参考； 2，ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级 3，洁净度等级在100级以下者通常用0.5m粒径考核的居多； 4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小，对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径而要用到更多的粒径，如0.3 m 0.2m 甚至0
2、.1m对洁净室进行检测评定。 ISO 1644 国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级 ISO1 ISO2 ISO3 ISO4 ISO5 ISO6 ISO7 ISO8 ISO9 等于或大于相应粒径的最大允许浓度 0.1m 10 100 1000 10000 100000 1000000 0.2m 2 24 237 2365 23651 236514 0.3m 0.5m 1m 5m 310 102 1018 10176 101763 4 35 352 3517 35168 351676 3516757 35167572 8 83 832 8318 83176 831764 8317638 29 293 2925 29251 292511
