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,区熔单晶基础知识北京天能运通晶体技术有限公,区熔硅单晶生产工艺的优点区熔硅单晶工艺的优点:无污染,其产纯度高,杂质及氧碳含量低,电阻率高可用作大功率整流器各种规格的可控硅,探测器等器件,悬浮区熔工艺的设备、区熔炉的种类外热式区熔炉:因其高频加热时耦合松弛,功率损耗大,不易形成一个较窄的熔区,增大单晶直径受到限制等原因,现已被淘汰。,区熔炉的种类2、内热式区熔炉1)内热料棒移动式区熔炉:因电器参数稳定,故障较小,高频屏蔽好,目前均采用此法。2)线圈移动式区熔炉电器参数不够稳定,故障较多,功率损耗较大,高频屏蔽困难。,内热式区熔炉的结构大体分为三个组成部分1、炉体部分:炉体、炉室、传动系统、水冷系统、润滑系统、真空系统和观察装置2、真空系统:机械泵、油扩散泵或分子泵;真空检测装置3、电控系统:高频炉、控制箱。,保护气体般采用氢气和氩气氢气:1是由于氢气是易燃易爆气体,比较危险2是氢气是有较大的扩散速度和很高的导热性拉出的单晶易脆,缺陷多,目前已被淘汰氩气:由于是惰性气体,导热率比氢气小7陪,单晶质量易于控制,所以被广泛使用氩气纯度必须大于99999%,氧含量小于1106ppM,露点-70C,频加热线圈的形式及其工作原理高频感应加热的优点二、感应加热线圈的形式三、加热线圈工作原理,
