软板黑孔作业指导书.doc

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1、软板黑孔作业指导一. 黑孔线作业需知二. 黑孔线前后制程搭配应注意事项三. 黑孔线制程操作条件及介绍:四. 各槽操作注意事项五. 黑孔线纯水规范 六. 制程药液分析与调整七. 分析频率八. 清槽程序九. 黑孔线维护保养项目 十. 液管理与分析方法十一. 重工流程 十二. 成品存放注意事项十三. 黑孔线问题与对策一. 黑孔线作业需知: 1. 往任何槽中加水时，人不可离开。2. 不定时检查传动轮片及齿轮是否有损坏松脱(若有请即更换处理)。3. 所有喷管的喷嘴(包括水洗,微蚀,酸浸等)须不定时检查是否有阻塞损坏,若有请即处理。4. 请不定时检查所有滚轮上的压条是否仍紧密,若不是请即旋紧或更换压条。5

2、. 开机后约五分钟,请检查所有水刀及喷管是否正常运作.(若水刀很弱而药液液面未及上滚轮片的1/3以上时,请即停机检查原因或请设备厂商前往维修)。6. 请不定时检查所有滚轮是否固定牢靠(尤其是药液携入及带出的阻水轮须特别注意,以及黑孔槽后的吸水海绵滚轮须留意)。7. 所有烘干槽的滚轮须至少一个月清洗一次。8. 所有吸水海绵滚轮若发现有任何变形或损坏请即更换新品。9. 请不定时检查所有阀门开关(如水阀,排药阀,药槽加水阀等)是否有不正常泄漏情形或损坏,若有请即更换。10. 请注意控制药液的液位是否过低或过高(尤其在化验分析前)。11. 化验分析所得之数值若已超出设定值的上限时,请即暂时停止加药。二

3、. 黑孔线前后制程搭配应注意事项:. 钻孔制程 :说明 : Smear产生量与Smear粘着孔壁程度与孔壁的粗糙对水平黑孔用较大的影响。1 依照钻孔设备,钻头厂家的标准操作方式操作钻孔。2 研磨钻头须严格管制及检验。3 粗糙度绝不要大于1.5mil以上。4 钉头总长度（不包括内层同的部分）不可超过内层铜厚度的0.5倍。. 电 镀 :说明 :1 镀一次铜(正片制程):黑孔板孔内为碳,因此湿润性比孔内为铜差,在制程中必须有酸浸槽,另因内层铜要有良好的镀铜接触面,必须经微蚀后镀铜。最佳之流程为: 清洁-水洗-微蚀-酸浸-镀铜 三. 黑孔线制程操作条件及介绍: 操 作 条 件 : 槽 名品 名浓度范围

4、最适值温度()浴寿命清 洁BlackHole Cleaner当量浓度:0.170.23N0.2N5350BSF/LPH9.6整 孔B/H AF Conditioner当量浓度:0.170.23N0.2N3050BSF/LPH9.8黑 孔B/H AF Starter C%固形物:1.82.8%2.2%32Ca+Mg total100ppm或1000BSF/L当量浓度:0.100.16N0.13NPH9.8微 蚀过硫酸钠120180g/l150g/l32铜含量30g/l H2SO41.03.0%2.0%铜含量 9.6分析频率 : 1次 / 每天补充添加 : 15736:（0.2-分析值）26728

5、0=？ml或者按过板量添加：每1000bsf添加15736 300ml槽寿命 : 当通过15000bsf表面积之板子时即换槽。过滤 : 10u”pp滤芯，换槽同时更换滤心。 洗槽同时清洗所有水刀。注意 : 换槽时间必需与BlackHole AF Conditioner分开,BlackHole Cleaner第一 次换槽是在生产25BSF/L f后,之后于每生产50BSF/L时换槽。槽名：三道溢流水洗槽体积：8L流 量：6-10L/min水洗水：纯水更换频率：每2天更换槽 名 : 黑 孔 槽# 1 BlackHole Starter C(T0222/15741)槽体积 : 210L建浴量 : B

6、lackHole Starter C 100% BlackHole Starter C : 是一微碱性含黑碳悬浮粒溶液,提供基材表面一层连续性碳膜层。注意 : 产品使用前,请使用干净之搅拌器充分搅拌后再加入槽中。配槽程序 : 1.将槽中注入BlackHole Starter C,加入210公升(排水阀需紧闭)。 2.开启加热器及帮浦循环加热至32 2即可。操作温度 : 32 2 范 围 最适值控制浓度 : %固形物 1.82.8% 2.2% PH 9.8 当量浓度 0.100.16 N 0.13 N分析频率 : %固形物 二次 / 每周 PH 一次 / 每天 当量浓度 一次 / 每天补充添加

7、: 按过板量添加：每1000bsf添加1574 300ml（此为三个黑孔槽的总共添加量）槽寿命 : Ca+Mg total100ppm或者过板面积达到1000BSF/L时换槽注 : 二. 黑孔槽循环pump24小时不可关闭。 三. 计算黑孔槽液寿命时，需以所有黑孔槽总共的槽体积为准。槽名：吹烘干槽烘干温度：4050维护：每两周清理一次槽名：一道溢流水洗槽体积：180L流 量：6-10L/min水洗水：纯水更换频率：每班更换槽 名 : 整 孔 槽BlackHole Conditioner(15737)槽体积 : 280公升开缸量 : 纯水 97.5% BlackHole Conditioner

8、2.5% BlackHole Conditioner : 为一轻微碱性溶液用来整平玻璃纤维及基材表面,用在 二次黑孔前。配槽程序 : 1.先将纯水注入槽体约1/2满。 2.加入7L BlackHole Conditioner药水。 3.将纯水补满至高液位。 4.开启加热器及帮浦循环加热至32 2即可。操作温度 : 32 3 范 围 最适值控制浓度 : 当量浓度 0.170.23 N 0.2 N PH 9.8分析频率 : 1次 / 每天补充添加 : 15736:（0.2-分析值）137250=？ml或者按过板量添加：每1000bsf添加15737 150ml槽寿命 : 当通过9,000bsf表面

9、积之板子时即换槽。过滤 : 10u”pp滤芯，换槽同时更换滤心。 洗槽同时清洗所有水刀。注意 : 换槽时间必需与BlackHole Cleaner分开。槽名：溢流水洗槽体积：360L流 量：6-10L/min水洗水：纯水更换频率：每两天更换槽 名 : 黑 孔 槽# 2 BlackHole Starter C(T0222/15741)槽体积 : 220L开缸量 : BlackHole Starter C 100% BlackHole Starter C : 是一微碱性含黑碳悬浮粒溶液,提供基材表面一层连续性碳膜层。注意 : 产品使用前,请使用干净之搅拌器充分搅拌后再加入槽中。配槽程序 : 1.将

10、槽中注入BlackHole Starter C,加入220L(排水阀需紧闭)。 2.开启加热器及帮浦循环加热至32 2即可。操作温度 : 32 2 范 围 最适值控制浓度 : %固形物 1.82.8% 2.2% PH 9.8 当量浓度 0.100.16 N 0.13 N分析频率 : %固形物 二次 / 每周 PH 一次 / 每天 当量浓度 一次 / 每天补充添加 : 按过板量添加每1000bsf添加15741 300ml（此为两黑孔槽的总共加入量）槽寿命 : Ca+Mg total100ppm或者过板面积达到1000BSF/L时换槽注 : 二. 循环pump24小时不可关闭。 三. 计算黑孔槽

11、液寿命时，需以所有黑孔槽总共的槽体积为准。槽名：吹烘干槽烘干温度：7580维护：每两周清理一次四. 各槽操作注意事项清洁槽1. 依据操作面积添加药水以及更槽2. 更槽时只需要以清水冲洗即可配槽3. 此药水槽之PH值不可低于9.64. 每周更换滤心一次.5. 需不定期检查超音波震荡是否正常。整孔槽1.依据操作面积添加药水以及更槽2.更槽时只需要以清水冲洗即可配槽3.此药水槽之PH值不可低于9.84.每两周更换滤心一次.5.整孔槽和清洁槽不可同时更槽。黑孔槽1.依据操作面积添加药水以及更槽2.注意带入量及黑孔前之纯水洗是否开,以减低对黑孔液的污染,以保护黑孔槽之寿命。3.槽内之吸水海棉滚轮每天须先

12、以纯水湿润后才可开机操作,烘干前之海绵滚轮须3-4小 时湿润一次。4.每周最多加水不可超过槽体积的10%5.循环pump24小时不可关闭6.温度不可超过40.7.更槽时只需要以清水冲洗即可配槽其它注意事项：1.保持地板干燥，槽体有渗漏情况可容易查出。2.液位控制：平常操作时须将液位控制在操作液位，停机时控制在满液位。如果不足时可加纯水补充（黑孔槽除外）五：黑孔线纯水规范1. S.S (悬浮固形物)5PPM以下2. T.D.S (总溶解固形物)10PPM以下3. 总硬度20PPM以下4. 金属离子不可验出5. 氯离子不可验出6. 导电镀15s/cm以下六.制程药液分析与调整 :槽 名槽体积（L）

13、品 名浓 度 范 围最 适 值调 整清 洁220当量浓度0.170.23N0.13N每增加0.01 N 加入BlackHole Cleaner700ml。PH9.6黑 孔 #1210%固形物1.82.8%2.2%按板面积添加当量浓度0.100.16N0.13NPH9.8整 孔280当量浓度0.170.23N0.13N每增加0.01 N 加入BlackHole Conditioner 300ml。PH9.8黑 孔 #2 220%固形物1.82.8%2.2%按板面积添加当量浓度0.100.16N0.13NPH9.8H2SO41.03.0%2.0%分析添加铜含量30g/l七. 分析频率 :槽 名品

14、名分 析 频 率备 注清 洁当量浓度一次 / 日PH一次 / 日整 孔当量浓度一次 / 日PH一次 / 日黑 孔% 固形物二次 / 周PH一次 / 日H2SO4一次 / 日铜含量一次 / 日咬蚀深度一次 / 日八. 清槽步骤 :黑孔槽( BlackHole Tank ) :清槽时机：换槽时1. 将槽液吸出排除,以清水冲洗槽壁去除部份污物。2. 将槽中注满水,启动水刀持续搅拌12小时后排除(注意水刀是否阻塞)。3. 以清水冲洗槽壁,水床,水刀及槽底,直至看不到黑色颗粒物。4. 注满纯水,启动水刀持续搅拌12小时后排除(此时水床应已相当干净,不会有黑色颗粒物存在,若不是请重复24的步骤)。5. 将

15、槽液吸出排除,并以吸尘器尽量将槽液吸干。6. 重新加入黑孔的开缸液即可。九. 黑孔线维护保养项目 项 目滤 心滤 网水 刀喷 嘴滚 轮清洁槽检 查清 洗更 换黑孔槽检 查清 洗更 换整孔槽检 查清 洗更 换微蚀槽检 查清 洗更 换抗氧化检 查清 洗更 换水洗槽检 查清 洗更 换烘干段检 查清 洗更 换符号说明 : 注1.哄干段之滚轮每月以酒精擦拭一次,黑孔段之吸水海棉滚轮每 两月更换一次。每日每辆周清槽时每三日每月损坏变形十. 药液管理与分析方法(1). 清洁槽 :1.溶液当量浓度 A.试剂 1.0.1N盐酸 2.1%M.O指示剂 B.方法 1.取10ml槽液放入250ml锥形瓶中,加入100

16、ml纯水。 2.加入5滴之M.O指示剂,以0.1N之盐酸滴定至红色终点。 C.计算 槽液当量浓度 = (0.1N HCl之ml数) (HCl之当量浓度)/10(2). 黑孔槽 :1.固形物含量 A.仪器 1.电动天平 2.烤箱 3.马表 4.铝盘 B.方法 1.精称铝盘0.1mg(A)。 2.取5ml(约5g)BlackHole AF Starter至铝盘内,记录总重量(B)。 3.将铝盘置于烤箱内以120烘烤60分钟。 4.增加温度至220再烘烤90分钟。 5.将铝盘移至干燥箱冷却。 6.秤重铝盘并记录(C)。 C.计算 %固形物 = (C A) (B A) 100 补充: (2.2 固含量

17、) (槽体积) 67 = BlackHole AF Starter添加ml数注意：如果固形物高于2.8则通过少量多次缓慢加水的方法予以调整，切切不可一次大量的添加纯水。因现在未购置浓缩液15741，在调节固形物含量时要依情况而定，若太低则仍需要15741来调节。按过板量添加每1000bsf添加15741 300ml（此为两黑孔槽的总共加入量）2.当量浓度 A.试剂 1.0.5N HCl标准液 2.0.5N NaOH标准液 B.方法 1.取25ml槽液至150ml烧杯中。 2.精确地加入25ml的0.5N HCl至烧杯中。 3.以0.5N NaOH滴定至PH=5.4。 C.计算 (25 N HC

18、l) (ml NaOH N NaOH) 25 = 槽液当量浓度3.PH分析 将BlackHole样本用抽滤瓶通过玻璃纤维滤纸进行抽滤。用以校正过之PH meter直 接量测,正常运作下PH会很稳定控制于9.610.6。（3). 整孔槽 :1.当量浓度 A.试剂 1.0.1N盐酸 2.M.O指示剂 B.方法 1.取10ml槽液至250ml锥形瓶中,加入100ml纯水。 2.加5滴M.O指示剂并以0.1N HCl滴定至粉红色为终点。 C.计算(0.1N HCl ml数) (HCl之当量浓度) 10 = 槽液当量浓度（4). 微蚀槽 :1.BlackHole Microclean A.试剂 1.50

19、%H2SO4 2.碘化钾 KI 3.0.1N Na2S2O3 4.淀粉指示剂 B.方法 1.取2ml槽液至250ml锥形瓶中,加入50ml纯水。 2.加入5ml 50%H2SO4溶液。 3.加3g KI。 4.将溶液静置10分钟,加25滴淀粉指示剂。 5.以0.1N Na2S2O3滴定至透明澄清。 C.计算 (Na2S2O3之ml数) 0.1 119.28 2 = g/l BlackHole Microclean 补充: (150 g/l Microclean) 槽体积 = BlackHole Microclean补充量2.H2SO4 A.试剂 1.0.1N NaOH 2.M.O指示剂 B.方

20、法 1.取1.0ml槽液至250ml锥形瓶中,加50ml纯水。 2.加23滴M.O指示剂。 3.以0.1N NaOH滴定至淡黄色,记录所用之NaOH ml数。 C.计算 (0.1N NaOH ml数) (0.1N NaOH之当量浓度) 2.8 = % H2SO4 补充 : (2 - % H2SO4) 槽体积 = 补充量3.铜含量 A.试剂 1.0.1N EDTA 2.氨水 3.PAN指示剂 4.甲醇 B.方法 1.取5ml槽液至250ml锥形瓶中,加50ml纯水。 2.加5ml氨水。 3.加25ml甲醇。 4.加8滴PAN指示剂。 5.以0.1N EDTA滴定由深蓝色至草绿色,记录所用EDTA

21、 ml数。 C.计算 (EDTA之ml数) (EDTA之当量浓度) 63.54 5 = g/l铜含量4.咬蚀深度之测定 A.方法 1.取裸铜基板先经刷磨或前处理过。 2.裁切成15cm 15cm。 3.量称裁切后之基板重量至小数点第四位(W1)。 4.将基板放入微蚀段走一趟(抗氧化段不开),再次称重至小数点第四位(W2)。 B.计算 W1 W2 99.5 = ”(Microinch)十一. 重工流程 :问 题处 理 方 式日在Cleaner/Conditioner清洁整孔段或其水洗段异常须重工重新由清洁整孔段入料。在黑孔#1段异常须重工由微蚀段走完, 重新由清洁整孔段入料重工。在黑孔#1后之风

22、刀后须重工由微蚀段走完, 重新由清洁整孔段入料重工。在整孔段或其水洗段异常须重工由微蚀段走完, 重新由清洁整孔段入料重工。在黑孔#2段异常须重工由微蚀段走完, 重新由清洁整孔段入料重工。在第二次风刀,烘干段后须重工由微蚀段走完, 重新由清洁整孔段入料重工。在微蚀段或其水洗段异常须重工将微蚀速度段提高30%，由微蚀段入料并续下流程在抗氧化段或其水洗段异常须重工将微蚀速度段提高30%，由微蚀段入料并续下流程。干膜段须重工1. 剥膜。2. 去毛头。3. 由清洁整孔段入料。4. 重贴干膜。注 : 1，以上所有重工板均不可迭放。 2，任何板重工时，都必须将微蚀段速度提高30%以防止咬蚀过度。十二. 成品

23、存放注意事项 :在非NaOH气体之环境下,黑孔成品板本身可无限期放置,但建议在铜表面氧化前即进行下制程，最好当天即压膜。黑孔线之黑孔抗氧化剂可使铜面维持23天不氧化,亦即须在23天内进行压膜或电镀,否则即须酸洗处理或在黑孔在线重工。十三. 黑孔线问题与对策 :现 象原 因 分 析处 理 方 法去毛边不良1. 去毛边机刷轮的水平对位偏差。2. 刷轮耗损。3. 去毛边机刷轮的水洗喷嘴阻塞。4. 刷轮的电流控制不当。1. 定期做设备保养维修校正,及每周做刷幅测试。2. 整刷或更换。3. 水洗水回收系统是否故障,不定时检查喷嘴及清洁保养。4. 不同板厚须做调整修正,每周做刷幅测试。孔 塞1. 钻孔不良

24、(未钻透,位偏,断针或排屑不良) 。2. 去毛边机的高压水洗故障或喷嘴阻塞。3. 去胶渣不良(水刀阻塞,温度及浓度控制不当) 。4. 钻孔后板子堆栈过高,造成孔边毛屑压挤。1. 减少钻孔的迭板数。2. 清洁回收水的过滤系统,随时检查喷嘴是否阻塞。3. 不定时检查设备,并依正常作业程序添加药水且记录之。4. 钻孔后板子改成斜放式堆栈。卡 板1. 水刀上浮或传动齿轮松脱。2. 进料时板间距离过小。3. 传动马达或变频器故障,调校不当。4. 传动滚轮故障或轮片毁损。5. 板子过薄(低于0.4mm),面积过小或过大。1. 重新固定水刀并调整其流量至适当,更换齿轮或重新锁紧。2. 板间距应不可小于30m

25、m。3. 定期测速校正。4. 修护或更新。5. 请依设备制造商所设计的规格来生产。现 象原 因 分 析处 理 方 法黑孔槽液固形物异常偏低或偏高1. 槽液液位控制不当。2. 水洗不良。3. 水洗水带入量过多。4. 槽内冷却管泄漏。5. 添加之纯水水值异常。6. 黑孔槽液带出量过多。7. 水洗槽之阻水轮上浮,失去阻水效果。1. 定期液位检查。2. 水洗槽定期清洗,喷嘴,水刀定期清洗。3. 检查阻水滚轮是否材质劣化。4. 将槽液抽出检查。5. 时常检验纯水水值,确保黑孔液之寿命。6. 检查阻水海绵滚轮是否材质劣化, 滚轮压条是否松脱。7. 滚轮压条松脱或滚轮材质不适当。板面刮伤或条状痕迹1. 去毛

26、边机压力过大或刷轮水平不准。2. 滚轮齿轮松脱,水刀上浮。3. 吹烘干段之风刀高度调整不当,造成与板面接触。4. 微蚀槽喷嘴排列角度不对,滚轮排列不当造成喷洒阻碍或喷嘴阻塞。1. 调整毛边机之电流值(做刷幅测试),定期注油保养校正。2. 检查滚轮,水刀是否正常运转,固定适当与否。3. 调校风刀之角度及与板面相对之距离。4. 喷嘴角度需成15左右之角度。调整滚轮排列或确定喷压须有2.0kg/cm2以上,确实清洗喷嘴。微蚀槽中微蚀剂浓度异常(偏低)1. 未完全溶解。2. 待机时间过久。3. 纯水水质异常。4. 温度偏高。1. 量产前须确定Microclean完全溶解且勿大量添加。2. 待机时间超过

27、6小时以上时,请重新分析调整浓度。3. 定期水质检定校验。4. 重新调校温度。现 象原 因 分 析处 理 方 法表面残碳1. 压合的残胶。2. 钻孔贴合时胶带的残胶。3. 迭板过高造成板面凹陷或毛屑残留。4. 去毛边机刷磨不良。5. 铜箔的凹陷,坑洞过多。6. 黑孔液带出量过多。7. 黑孔液固形物浓度过高。8. 微蚀喷洒段喷洒嘴阻塞。9. 微蚀槽液浓度过低或铜含量过高。10. 黑孔#1及黑孔#2,3后之吹烘干段未定期做清洁保养。11. 黑孔#1及黑孔#2,3之烘干温度过高。12. 压合后基板之板边未磨边,造成黑孔板搬运过程中之压伤,碰伤而沾黏上黑碳。1. 保持迭合室之清洁及彻底将压合的钢板清洁

28、。2. 采用较不会有残胶之胶带或以MEK擦拭清洁板面。3. 采用斜放式迭板及钻孔后板面之清洁维护。4. 定期维护保养及做刷幅测试。5. 选用质量较稳定之铜箔。6. 定期清洗黑孔槽之阻水海绵滚轮,检查压条是否松脱及注意其使用寿命。7. 依分析结果加纯水做调整,约控制在2.02.7%之间。8. 清洁喷嘴,各喷嘴调成约15角,若毁损请更换同一样式之喷嘴。9. 确实化验分析管理。10. 每周至少做一次擦拭。11. 设定温度依基板板面温度5060而定,勿过高。12. 压合后分割之基板一定要磨边,且需 清洗过。渗 镀( under plating ) 1. 干膜贴膜不良。2. 黑孔段微蚀槽液浓度偏低或喷嘴

29、阻塞。3. 镀铜的清洁剂槽液温度过高。1. 压膜滚轮温度设定异常或故障,压膜 速度过快。2. 微蚀槽之微蚀剂浓度勿低于120g/l,随时检查喷嘴,而喷嘴型式为扇形,勿任意变更。3. 重新设定检讨。孔 破1. 去胶渣不良(中合槽液浓度偏低) 。2. 微蚀过度。3. 镀铜前处理不良。4. 黑孔液污染或碱度过低。5. 药液槽水床液位偏低。6. 槽液温度异常或烘干段温度异常(偏低) 。7. 重工次数过多。1.a.槽液浓度,液温偏低,分析调整。b.检查水刀马达是否正常。c.若胶渣量过多,可先以160烘烤基板3小时,以利去胶渣,或将钻孔条件做一适当之更改。2.微蚀速率控制在3060” 。3.清洁槽药液浓度偏低或振荡器故障。4. 量测黑孔液中之钙,镁浓度(勿超过100ppm) 。5. 定期维护保养马达及槽体之清洁。6. 定期检测。7.重工不可超过三次。