英福康氦检仪技术手册分解.doc

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1、技术手册2003年3月11日 2.0版UL1000 Fab氦检漏仪目录1一般信息1.1本手册使用符号1.1.1安全符号1.1.2指示符1.1.3真空符号1.1.4术语定义1.2INFICON服务的支持1.2.1维修中心1.3前言1.3.1用途1.3.2技术参数1.3.2.1物理参数1.3.2.2电气参数1.3.2.3其它参数1.3.2.4环境条件1.4开箱1.4.1设备供货范围1.4.2附件与选件1.4.2.1吸入器管线SL2001.4.2.2工具箱1.4.2.3氦气瓶支架1.4.2.4ESD 垫层1.4.2.5手持单元2安装2.1运输2.2就位2.3电连接2.3.1供电电源2.3.2数据采集

2、系统的连接2.3.2.1附件2.3.2.2数字输出2.3.2.3数字输入2.3.2.4记录仪2.3.2.5RS2322.3.2.6手持单元2.4真空连接件2.4.1进气口2.4.2排气2.4.3放空2.4.4冲洗/气镇3初始运行检查3.1需要的设备3.2初始运行说明3.2.1启动与测量0-23.2.2内部校准3.2.3验证4说明和工作原理4.1前言4.2UL1000Fab的组件4.2.1真空系统4.2.2控制面板4.2.2.1液晶显示器4.2.2.2启动按键4.2.2.3停止按键4.2.2.4抑零按键4.2.2.5菜单按键4.2.2.6软键4.2.2.7数值输入4.3工作模式4.3.1真空模式

3、4.3.2吸入器模式5UL1000Fab的运行5.1显示屏5.2起转模式中的显示屏5.3测量模式中的显示屏5.3.1校准的调用5.3.2扬声器音量5.3.3显示屏的状态线5.3.4数值显示模式5.3.5趋向模式6菜单说明6.1主菜单6.2一览6.2.1线性/对数刻度6.2.2显示范围 自动/手动6.2.3时间轴6.2.4对比度6.2.5待用模式中的本底6.2.6小数点位数6.2.7漏率过滤器6.3模式6.4触发与警告6.4.1触发值16.4.2触发值26.4.3音量6.4.4单位6.4.5警告延迟6.4.6音响警告型式6.4.6.1定点0-36.4.6.2漏率正比6.4.6.3设点6.4.6.

4、4触发警告6.5校准6.6设定值6.6.1真空设定值6.6.1.1放空延迟6.6.1.2保护功能6.6.1.3内测试漏孔漏率6.6.1.4机器因素6.6.2抑零-时间6.6.3质量6.6.4接口6.6.4.1记录仪输出6.6.5杂项6.6.5.1时间和日期6.6.5.3语言6.6.5.3校准请求6.6.5.4电源频率6.6.5.5服务区间排气过滤器6.6.5.6服务信息排气过滤器6.6.6参数保存/载入6.6.6.1载入参数组16.6.6.2载入参数组26.7信息6.7.1服务6.7.1.1调试6.7.1.2因素6.7.1.3切换灯丝6.7.1.4高级功能6.7.1.5手动调谐6.7.1.6复

5、位功能6.8查访控制6.8.1查访校准功能6.8.2更改菜单-PIN6.8.3更改设备-PIN6.8.4抑零7校准7.1前言7.2校准进程7.2.1内部校准7.2.1.1自动内部校准7.2.1.2手动内部校准7.2.2外部校准8误差和警告信息8.1提示0-48.2信息清单9接口说明9.1ASCII-模式9.1.1误差信息9.1.2参数9.1.3实例9.1.4指令清单9.2二进制模式9.2.1实例9.2.2数据格式9.2.3误差信息9.2.4指令10维护10.1INFICON服务10.2维护计划10.2.1最小维护10.2.2标准维护10.2.3高级维护10.3维护步骤10.3.1更换排气消音器

6、10.3.2打开UL1000Fab10.3.3检查/更换过滤器过滤筛网10.4涡轮分子泵10.5涡旋泵附录A图B索引0-51 一般信息注意我们建议您仔细阅读本使用说明书，以保证从一开始就进入最佳工作状态。本使用说明包含有关UL1000Fab的功能、安装、启动和运行等重要信息。一般说明本公司保留设计与特定参数的更改权。图示是无约束的。1.1本手册使用符号1.1.1安全符号有关操作安全与保护的重要标注如下：注意有关正确搬运与使用设备的信息。忽视将导致误动作或设备的局部损伤。警告有关防止大范围地损坏设备和环境的信息。危险有关防止各种人身伤害的信息。熟练人员表示必须由熟练人员才能执行的步骤。1-11.

7、1.2指示符提示有关有益的步骤的信息。注意有关用户必须遵守的特殊技术要求的信息。参考图示依次包含章节数，图号和项号。例如：Fig.2-4/7为2章的图4中项7。1.1.3真空符号下面列出本手册中使用的一些重要的真空符号。真空泵通用涡轮分子泵测量仪器阀门1.1.4术语定义自动换挡自动选择前置放大器的量程和真空量程。取决于所选的工作模式：“2：真空模式”，“2：吸入器N/SP模式”或“2：部分常规/无油模式”， UL1000Fab的自动换挡功能覆盖整个量程或漏率。不仅漏率讯号而且试样中的压强（进气口压强PE）和前级压强（PV）均用作为控制目的。在主量程之间的量程转换通过阀门执行。在主量程内的细量程

8、转换由切换前置放大器的增益系数来完成。1-2自动质量调整这个功能自动调整质谱仪从而显示最大漏率。控制计算机在选择的范围内改变离子加速电压直到离子检测器检测到最大的离子流。在每次校准过程中自动运行质量调整功能。自动抑零确定和自动适应氦本底。通过这功能，确定仪器的内部零点，然后将它从当前的漏率讯号中扣除。这功能在校准过程中或当操作起始按键时运行，只要UL1000Fab在待用或放空模式至少预先运行20秒钟。如先前抑制的氦本底应跌落，这样在抑零期间将只显示限值，零点是自动适应的。菜单菜单允许用户按自己的要求编程UL1000Fab。菜单是树状结构的。缺省UL1000Fab供应时工厂设定的状态。FINEF

9、INE是中间测量模式，进气口压强在1至0.1毫巴之间。检测限值为110-10毫巴升/秒。GROSSGROSS是用于高进气口压强的测量模式（1至15毫巴）。最小检测限值为110-7毫巴升/秒。ULTRAULTRA是最灵敏的测量范围，进气口压强低于0.1毫巴。最小检测限值为110-12毫巴升/秒。1-3最小可检漏率UL1000Fab的最小可检漏率 510-12毫巴升/秒。内部氦本底在测量系统中的氦分压强。内部氦本底值在待用模式中测量，并从讯号中扣除。测量测量模式待用UL1000Fab测量试件的漏率。INFICON服务的支持如将设备返回INFICON或INFICON的授权代理。请标明设备无危害健康的

10、物质或设备已污染。如已污染，前请标明危害的性质。无污染申报表的任何设备INFICON将按发送地址退回。详细说明污染类型的表格复制于图1-1中。建议签订一份维护和检修合同。1-4污染申报表检修和/或服务的提供仅适用于已提交正确完整申报表的真空设备和元件。手续不完整的将导致延迟。本申报表必须由经过授权和有资格的人员填写和签署。1 产品说明型号编号出厂号2 返修原因3 使用的工作液体4 产品的污染过程：毒性 否 是 腐蚀性 否 是 生物危害性 否 是 *）易爆性 否 是 *）放射性 否 是 *）其它有害性物质 否 是 *）已污染的真空产品如无书面的污染资料是不能接受的！5 有害的物质、气体和/或副产

11、品 请列出与设备接触过的物质、气体和副产品：商标 / 产品名称制造厂化学名称（或符号）危险性材料等级如泄漏应采取的措施人体接触的急救方法6 有法律约束的申报：我申明本申报表中的信息是完整和正确的。污染的产品将按相应的危险性物质包装、运输和标志的规定发运。公司或机构的名称：地址： 邮编：电话： 电传：电子邮件：姓名： 公司盖章：日期和有法律约束的签名：图1-1污染申报表1-51.2.1 维修中心当您需要紧急协助时，请与当地的INFICON维修中心联系或联系德国科隆的服务热线。国家公司城市电话传真E-Mail巴西PV Prest VacuoLtda.Santana deParnaiba+55.11

12、.870.2665+55.11.870.2665pv.br中国INFICON LTD香港+852.2520.2880+852.2865.6883reach.china北京+86.10.6590.0164+86.10.6590.0521广州+86.20.8723.6889+86.20.8723.6003上海+86.21.6295.3094+86.21.6295.3852法国INFICONVif+33.4.7672.5215+33.4.7672.5235德国INFICON GmbH科隆+49.221.3474.2222+49.221.3474.2221Leakdetection.service以色

13、列Mark TechnologiesLtd.Kiriat Ono+972.3.534.6822+972.3.534.2589日本INFICON Co. Ltd.Ibariki-ken+81.298.89.2741+81.298.89.2838reach.japan韩国INFICON Ltd.汉城+82.31.206.0237+82.31.206.0239reach.korea新加坡INFICON PTE LTD新加坡+65.890.6250+65.890.6266reach.sigapore台湾INFICON Co. Ltd.Chubei City,Hsinchu+886.3.553.3797

14、+886.3.553.3794reach.taiwan英国INFICON Ltd.伦敦+44.208.971.7050+44.208.971.7005美国INFICON Inc.EastSyracuseNY+1.315.434.1167+1.315.434.2551Service.usaSan Jose,CA+1.408.361.1200+1.408.361.1556Austin,TX+1.512.448.0488+1.512.448.03981.3前言1.3.1 用途UL1000Fab是氦检漏仪。本仪器可用下面两种测试方式检测试件中漏孔的位置与大小：首先将试件抽空，在外面喷氦。为此需在UL1

15、000Fab与试件间提供真空连接（真空模式）。或在试件中充以氦压，用连接于仪器进气口上的吸入器探头在试件外搜索（吸入器模式）。1-6注意UL1000Fab只能用于检漏。切勿用作为抽气系统（尤其不能抽腐蚀性或潮湿气体）。1.3.2技术参数1.3.2.1物理参数最大进气口压强15毫巴最低可检氦漏率 真空模式- GROSS模式110-7毫巴 升/秒- FINE模式110-10毫巴 升/秒- ULTRA模式510-12毫巴 升/秒（见下面的注） 吸入器模式110-7毫巴 升/秒可显示的最大氦漏率0.1毫巴 升/秒测量范围2个量级漏率讯号的时间常数1秒（盲住，最终值的63%）粗抽能力25米3/小时（50

16、Hz）进气口处的抽速（氦）30米3/小时（60Hz） 真空模式- GROSS模式0.7升/秒- FINE模式0.7升/秒- ULTRA模式2.2升/秒可检质量数，和质谱仪扇形磁场离子源两个阴极；铱氧化钇进气口DN25KF起转时间(从开机)2.5分注意达到最小可检漏率范围必须满足某些条件：1-7UL1000Fab已充分预热室温条件必须稳定（温度，无震动/加速）被测试件已长时间抽空（本底不再降低）抑零功能必须起作用1.3.2.2电气参数电源，单相（与型号有关）件号 500-100220240伏,50/60 Hz件号 500-101100120伏,60 Hz功率损耗1100伏安保护类型IP40电源电

17、缆（EU，USA，UK）3米1.3.2.3其它参数阀门电磁阀尺寸(宽高深)包括手把（毫米）1068525850尺寸(宽高深)包括手把（吋）422133重量（公斤）110重量（磅）242噪声电平dB（A）58音响警告dB（A）90使用中最大可接受加速度污染水平（按IEC60664-1标准）2过电压类别（按IEC60664-1标准）1.3.2.4环境条件用于室内允许环境温度(在运行过程中)+10+40允许储存温度- 40+60最高相对湿度80无凝聚最大允许海拔高度(在运行过程中)2000米1-81.4开箱UL1000Fab到货后应立即开箱，即使暂不安装。检查运输箱是否有任何外伤。完全取开包装材料。

18、检查UL1000Fab的完整性（参考1.4.1节设备供货范围），并仔细目测检查UL1000Fab。如发现任何损伤，立即报告代理商和保险商。如损坏件必须更换，请与订货部门联系。提示保留包装材料，以便发现损坏时申诉。提示开箱请用随设备提供的开箱工具。1.4.1设备供货范围氦检漏仪UL1000Fab排气软管适配件电源电缆夹具成套保险丝成套工具袋软管卡箍（2+2）排气过滤器用的过滤筛网（要安装的）文件夹- UL1000Fab 技术手册- UL1000Fab备件清单1-91.4.2附件与选件下列部件可附加订货： 吸入器管线 SL20014005 工具箱（可拆卸的）551-000 氦气瓶支架551-001

19、 ESD 垫层551-002 手持单元成套件，包括- 手持单元20099022- 带电缆（按需要），4米20099027- 延伸电缆，8米14022 带软管的喷枪165551.4.2.1吸入器管线SL200使用UL1000Fab的吸入器管线可容易地转换成吸入器检漏仪。吸入器管线长度为4米（即12呎）。1.4.2.2工具箱工具箱是带盖的可拆卸的分隔箱，可存放接头和小夹具加上手持单元（参阅1.4.2.5节）。存放空间约5升。工具箱放置在工作面上，用手把压住。1.4.2.3氦气瓶支架氦瓶支架使您便于随UL1000Fab携带氦瓶和喷枪。只适用小型和中型的氦瓶不影响UL1000Fab的稳定性。1.4.2

20、.4ESD 垫层这个垫层放在UL1000Fab的工作面上，由进气口环夹住与接地。用于避免工作面与灵敏的试件间的放电。 1-101.4.2.5手持单元手持单元是一个遥控器，用于从30米外的距离操纵UL1000Fab。它具有开机，停机/放空，抑零与扬声器音量，和用条图显示漏率。 1-11 2安装2.1运输注意 UL1000Fab仪器未设置任何吊眼，因此运输时不要使用任何起吊设备。注意 推拉UL1000Fab必须使用为此目的提供的把手。注意 远距离运输必须使用原来的包装箱。将UL1000Fab装入运输箱时，不要安装小脚轮。2.2就位将UL1000Fab推至所需的位置，制动小脚轮。警告 UL1000F

21、ab运行时，不能暴露于水或水滴中。也不能暴露于任何其它液体中。警告 避免接触酸、碱或溶剂，以及避免恶劣的气候环境。2-1警告 UL1000Fab仅限于室内使用。注意 确保充分的空冷条件。切勿阻塞空冷的进风口和排风口。注意 为避免有坡度时滑动可锁住UL1000Fab小脚轮的前轮。注意 将UL1000Fab推至所需的位置，制动小脚轮。建议用吸入器探头检测距UL1000Fab半径约10米内所有的氦源，检查是否存在任何氦漏。2.3电连接2.3.1供电电源注意电气连接必须遵守当地的规程。警告 将UL1000Fab连接至电源前必须确认当地的供电电源电压与UL1000Fab的额定值相符。仪器必须连接有保护接

22、地的电源。2-2UL1000Fab电源电压的额定值可从仪器后板电源插座 图2-2/7下方的铭牌上读出。电压是固定的不能更改。在电源开关中为每根电源导线装有单独的保险丝。仪器的可拆卸电源电缆随仪器供货。电源插座 图2-2/7位于仪器的后板上。危险 必须使用带有保护接地导线的3芯电源电缆。运行UL1000Fab时必须连接保护接地。2-3图2-2：连接件1. 附件7. 电源插座2. 数字输出8. 电源开关3. 数字输入9. 扬声器4. 记录仪10. 放空5. RS23211. 冲洗/气镇6. 手持单元12. 排气提示插座：附件，数字输出，数字输入和记录仪的接脚1在顶上。接脚编号是向下计数的。2.3.

23、2数据采集系统的连接2.3.2.1附件下列附件连接至这个接口 图2-2/1：外放空阀外分流阀吸入器探头2-4接脚1和3连接有0.8安慢熔保险丝。功率容量为10瓦。接脚自上至下编号。脚 用途 1 +24伏，不间断供电电源，用于INFICON分流阀或吸入器管线。2 GND243,6 输入4,5,7,8 输出2.3.2.2数字输出脚 用途 1 +24伏，与Digital Out“的插座1桥接2 GND243 触发器14 触发器25 触发器36 抑零工作7 准备8 校准工作 9 校准请求10 误差11 警告12 气镇13 测量14 记录仪选通15 公共数字输出2-52.3.2.3数字输入脚 用途 1

24、+24伏，与Digital Out“的插座1桥接2 GND243 启动4 停止5 抑零6 校准7 清除8 气镇 9 吸入器/真空10 打印11 公共数字15 外0.10伏输入16 XP23,15的参考电位2.3.2.4记录仪记录仪输出（图2-2/4）用于记录漏率、进气口压强和前级真空压强。测量值由0伏. . .10伏范围的模拟讯号输出。分辨率限于10毫伏。连接记录仪（例如X(t)记录仪）输出的仪器，其输入内阻应不小于2.5仟欧。测量值通过脚1，4输出。脚2和3为参考电位（GND）。接脚自上至下编号。提示表示压强和漏率与电压的关系曲线附在附录（XXX）中。注意图形记录仪输出与其它接脚之间是电绝缘

25、的。尽管如此，如出现交流声干扰可将UL1000Fab与图形记录仪工作于同一电源相位。如不可能这样做，则必须确保两仪器的机柜保持同电位接地。脚 用途 1模拟12 GND3 GND4 模拟22-62.3.2.5RS232RS232C接口（图2-2/5）用作数据通讯设备（DCE）可连接个人计算机（PC），用于监测和数据记录。通过9脚sub-D插座连接。详细信息参阅9章。脚 用途 2TXD3 RXD5 GND7 CTS8 RTS2.3.2.6手持单元手持单元接口（图2-2/6）是一个串列接口，由手持单元控制UL1000Fab。手持单元可通过带RJ45插头的延伸电缆连接。详细信息参阅9章。脚 用途 2+

26、24伏（0.8安时间延迟保险丝）3 0伏5 RXD（RS232C接口）7 TXD（RS232C接口）2.4真空连接件2.4.1进气口进气口位于UL1000Fab的顶部。法兰型号为DN25KF。如选用真空模式，测试件或测试室必须连接进气口（参阅6.3节）。进气口还用于连接吸入器管线。2-72.4.2排气排气法兰（图2-2/12）位于UL1000Fab后板的下方。法兰型号为DN16KF。检漏仪供货时只安装了排气过滤器壳体，过滤筛网未予装，它随检漏仪一起供货，可安装在排气过滤器中。此外，也可在排气口上连接排气管道，警告 与UL1000Fab连接的腔体有关，如腔体内有致命性气体，可通过排气口进入空气中

27、。2.4.3放空试件测试完毕后通常放空室内空气，必要时可放空其它气体（如新鲜空气，干燥空气，氮气，）至大气压强。此时，必须用软管连接至软管联接件图2-2/10。2.4.4 冲洗/气镇冲洗模式中建议用无氦气体。由于喷检或冲环境空气可能被污染。此时，应将供气管道（如氮气，干燥空气）连接至软管联接件图2-2/11。气压不要超过1050毫巴。图2-2中的接头是快速接头，用于连接管径为8/6毫米的软管。2-83初始运行检查本章说明初始运行步骤，包括如何开上UL1000Fab电源，如何测量和如何执行内部校准。注意在初始运行的过程中如发生任何意外的情况或检漏仪反应不正常，可在任何时间关断UL1000Fab电

28、源。3.1需要的设备需要下列部件：法兰盲板25KF（如未预先安装在进气口上）。带有DN25KF适配件的氦测试漏孔（选件）。3.2初始运行说明请按照下述步骤一步一步地启动初始运行。更详细的说明请参阅5章UL1000Fab的运行。3-13.2.1启动与测量1UL1000Fab开箱和检查是否有任何外伤（参阅1.4节开箱）。2将仪器连接电源（参阅2.3.1节供电电源）。3用电源开关（图2-2/8），开上检漏仪。UL1000Fab启动后，在控制面板（图3-3/1）的显示屏上出现欢迎画面，然后显示涡轮分子泵转速、前级压强、工作灯丝和发射等状态信息。整个启动过程约需2分钟，并发出笛音表示启动完成。此时UL1

29、000Fab进入待用状态。图3-3UL1000Fab的顶视图1控制面板2进气口4检查进气口（图3-3/2）是否已盲住。如未，请在进气口上盖上盲板。3-25按下启动按键（图3-4/6）后，进气口将被抽空，片刻后将显示测量的漏率。这是测量模式。如已连接试件，此时即可喷氦检漏。图3-4控制面板1液晶显示器85号软键 21号软键96号软键32号软键107号软键43号软键118号软键54号软键12菜单按键6启动按键13停止按键7控制面板14抑零按键6为消除任何本底讯号（在试件中的残余氦气）可按抑零按键 图3-4/14。要撤消抑零功能，可按住抑零按键持续2.3秒钟。7按停止按键 图3-4/13，UL100

30、0Fab将进入待用状态。如按住数秒钟UL1000Fab的进气口将被放空。8为完成启动顺序请进入16步。为校准请进入9步。3-33.2.2内部校准9进行内部校准（参阅7.2.1节内部校准）。为了更好地定量测量，请让仪器预热（15 20分钟）。按校准键（5号软键，图3-4/8），进入校准菜单。按内部键（4号软键，图3-4/5），选用内部校准。按自动键（8号软键，图3-4/11），启用内部校准的自动程序，约需30秒钟。10按停止按键（图3-4/13），直至显示器上出现待用/放空信息。此时进气口被放空。3.2.3 验证请按下列步骤验证精度。需用测试漏孔。如无测试漏孔，请进入16步。11从进气口卸下盲板

31、，将打开的氦测试漏孔接至进气口上。12再次按启动按键（图3-4/6）。抽空进气口，测量和显示氦测试漏孔的漏率。13按停止按键（图3-4/13）中止测量。将显示待用模式。14再次按停止按键（图3-4/13），直至显示器上出现待用 放空，此时进气口被放空。15从进气口上卸下氦测试漏孔，在进气口上重新盖上盲板。16关断检漏仪的电源开关（图2-2/8）。初始运行完成。3-44说明和工作原理4.1前言UL1000Fab基本上是一台真空应用的氦检漏仪，进行测试时试件是处于抽空状态。使用作为UL1000Fab组成部件的抽气系统进行抽空。也可由与检漏仪平行设置的附加真空泵进行抽空。UL1000Fab的另一个运行模式是吸入器模式，此时仪器必须连接附件吸入器管线（参阅1.4.2节附件和选件）。