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1、第四章货物需求一览表及技术规格北京理工大学激光直写设备采购项目需求序号设备名称数量/单位是否允许进口控制预算1激光直写设备1台是145万元一、采购标的需实现的功能或者目标，为落实政府采购政策需满足的要求（一）项目基本情况介绍本项目拟采购激光直写设备1台，预算金额145万元（人民币）。激光直写设备采购品目属于政府采购品目分类目录（2022年印发）中的A电子工业生产设备。（二）采购标的实现的功能或者目标激光直写设备的主要功能是通过无掩模光刻的方式在辂片掩膜版、陶瓷基片以及硅片上进行无掩膜曝光，以便在光刻胶表面生成尺寸精确的特征图形，包含二维图形与三维图形。（三）为落实政府采购政策需满足的要求详见第
2、一章。.二、采购标的需执行的国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范无。三、采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求#1、激光直写设备主要通过无掩模光刻的方式在铝片掩膜版、陶瓷基片以及硅片上进行无掩膜曝光，以便在光刻胶表面生成尺寸精确的特征图形，包含二维图形与三维图形。#2、设备至少包括以下主要部件：直写模块、直写光源、样品台模块、显微镜模块、对准，对焦及校正模块、计算机及软件等模块。3、设备组成：3.1 直写模块：#3.1.1采用数字微镜技术；3.L2直写分辨率：0.6m,1.0Hnb2.Oum,5.0Hln四种分辨模式，且不同分辨率模式可通过软件自动切换。最快直写速度
3、（mm2min）:170.6um,501Unb1002um,1805m;#3.L3对准及套刻精度：0.5m;3. L4灰度直写等级：2255级三维图形曝光；4. 2直写光源3.2.1光源波长：385nm波长长寿光源（工作寿命210000小时），适用于g-,h-,i-line正负光刻胶。有升级365nm与405nm波长双光源的空间：5. 2.2光源功率:1.5W;6. 3样品台模块7. 3.1最大基片尺寸：223OmmX230mm；8. 3.2最大基片厚度：15mm；3.3.3最大直写加工区域：195mm195mm；3. 3.4配备X、Y、Z三维直流线性位移电机，步进精度IOOnn1；4. 4显
4、微镜模块5. 4.1集成光学显微镜系统，放大倍数分别为：X3/X5/X10/X20,4种放大倍数可通过软件自动切换；6. 4.2软件界面额外的X4数码变焦；7. 4.3配有光学轮廓探测系统，可对显影后的图形进行二维成像；3 .4.4配有光学成像拼接模块，可对样品进行大面积光学成像，方便寻找目标位置。4 .5对准、对焦及校准模块3.5.1配备虚拟掩膜对准软件，用于曝光前检查图形在基底上的位置；#3.5.2配备自动对焦组件，可对表面不平整的样品进行Z向聚焦加工面自动调节;升3.5.3带寻找最优光刻参数模块和灰度光刻校正模块。# 3.5.4配备自动标记识别功能，可快速自动识别特定图形标记图案，适用于
5、套刻工艺；# 3.5.5配备自动快对准模块，可快速寻找圆形或方形基底几何中心：# 3.5.6配备温度校正模块，防止长时间曝光所导致的热漂移问题。3. 6计算机及软件4. 6.1配套控制计算机一套（CPU：主频：23.20GHz,核心数：26,InteIi5-10505同等或更高性能；内存：28GB；硬盘：21TB机械硬盘；操作系统：WindOWS10或更新正版操作系统；液晶显示器：227英寸）：5. 6.2安装基于WindOWS系统的专用控制软件，兼容CIF,TIFF,BMP,DXF,GDSll,Gerber等格式文件；6. 6.3配置专业CAD电路设计正版软件。7. 7其它功能3.7.1带有
6、多基片多任务自动加工功能；3.7.2带有同一任务不同区域不同分辨率模式自动组合加工功能：3. 7.3配有激光防护外壳和安全锁功能，保护人员操作安全。3. 7.4配有气浮式光学平台。4、设备尺寸及工作条件：4. 1工作电源:90260V,50-60Hz交流电；4. 2工作温度：10C30C;4. 3环境湿度：60%;4.4主机尺寸：75cm75cm75cic4.5工作能耗：光刻主机W65W,控制计算机W60W四、采购标的的数量、采购项目交付或者实施的时间和地点（本项为实质性条款，不允许负偏离，须在商务技术册中明确应答）序号采购标的名称数量单位项目实施的时间1激光直写设备1台签订合同后6个月内完成
7、供货、安装、调试、验收五、采购标的需满足的服务标准、期限、效率等要求1、合同履行期限：签订合同之口起至质保期结束（本条为实质性条款，不允许偏离）； 2、投标人需提供投标产品制造厂家出具的针对本项目的授权书及质保承诺函，否则投标将被拒绝（仅限进口产品）（本条为实质性条款，不允许偏离）。 3、本项目合同条款中的付款方式为实质性条款，不允许偏离。4、售后服务要求： （1）设备自安装、调试合格之日起在正常使用状态下，质保期为1年；（本条为实质性条款，不允许偏离）（2）质保期间，设备发生除人为因素损坏外故障由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换。在质保期间出现故障，会在工作日的4小时之内做出响应，2
8、个工作日内网络或电话排查故障并给出初步的解决方案，如有必要,将在72小时内到场支持。免费提供email技术支持，并且在24小时内回复。一般问题在48小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。（3）供应商提供终身保修，只收取零部件成本费。（4）提供长期技术支持服务，质保期后可提供线上技术咨询和每年1次现场再培训。5、培训服务要求：货物到达学校后7天内由供应商联系安装相关事宜。货物到达学校后7天内由投标人负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由投标人自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训，培训时长不少于12小时。培训内容包含但不限于：设备的工
9、作原理、操作步骤、正常维护和应用等。培训人员必须为投标人公司专职技术人员，不得派出学生或投标人用户等非公司专职技术人员提供培训I,否则用户方将拒绝接受。6、项目实施的地点：北京理工大学良乡校区前沿交叉大楼六、采购标的验收标准1、设备到货：设备到货前应将安装环境要求书面通知采购人，并与采购人协商足够准备时间。到货时需按采购人要求将设备在双方商定的时间运到指定安装位置，并由设备安装工程师当场进行开箱检查。2、设备安装调试：设备经开箱检查确认一切正常后，由设备安装工程师执行安装调试直至达到验收指标（以技术规格要求指标为验收指标）。由采购人进行使用性能方面的验收。3、设备安装、调试完成后，由采购人组织验收，验收合格后，采购人及中标人双方共同签署验收文件。4、设备的性能应符合投标人投标文件中承诺的技术指标，所有指标验收必须由采购人确认。5、最终验收时，按招标文件、投标文件及合同要求对所提供产品数量、质量、性能进行验收，对产品运转有关技术指标和性能进行测试和验收。七、说明1、本章所有商务、技术要求如未要求提供相关证明材料，则只须在投标文件商务技术册附件5（技术规格偏离表）、附件6（商务条款偏离表）中列明是否偏离。实质性条款必须无偏离或正偏离，未写明是否偏离或响应为负偏离，将导致其投标被拒绝。2、带“”条款为实质性指标，不允许负偏离，如有负偏离，视为非实质性响应招标文件,其投标将被拒绝。
