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13、浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 薛俊 明 ， 孙 建 ， 任慧志 ， 刘云周 ， 苓伟 ， 段 周祯华 ， 张德坤 ， 赵 颖 ， 新华 耿用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极.txt心若无尘，一花一世界，一鸟一天堂。我曾经喜欢过你，现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡
14、鉴慕雷亨砷 （ 南开大学光电子薄膜 器件与技术研究所 ； 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 ； 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极.txt心若无尘，一花一世界，一鸟一天堂。我曾经喜欢过你，现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 光电信息技术科学教育部重 点实验室， 天津） 用直流磁控溅
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16、 厚 的 透 明导 电膜 ， 最 后再用 电阻蒸发法沉积 电极 。实验获得了较好的 界面 ， 实现 了 背电极的增 反作用 ， 电池 的短 使 路 电流增加 光 电转化效率提 高 （ ， 绝对效率 ） 小面积电池效率达到 ， 。用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极.txt心若无尘，一花一世界，一鸟一天堂。我曾经喜欢过你，现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休
17、果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 关键词 ： 晶硅电池 ； 非 复合背 电极 ； 背反射 ； 短路电流 ； 转换效 率用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极.txt心若无尘，一花一世界，一鸟一天堂。我曾经喜欢过你，现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 中图
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20、下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 ， ， ， 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极.txt心若无尘，一花一世界，一鸟一天堂。我曾经喜欢过你，现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞
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31、慕雷亨砷 作 者 简 介 ： 俊 明 （ ） 男 ， 肃 省 人 ， 教 授 。 薛 一 ， 甘 副 ： 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极.txt心若无尘，一花一世界，一鸟一天堂。我曾经喜欢过你，现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 维普资讯 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOA
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34、缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 第 卷用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极.txt心若无尘，一花一世界，一鸟一天堂。我曾经喜欢过你，现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 引 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOA
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37、通 过采 用绒 面透 明导 电膜 以增 大光 在 电池 的光 程 ； 层 通 过 复 合背 反射 电极 以增强 背 电极对 长波 段光 的反 射作用 。其 中 合背反 射 电极 不但 复 可 以使 的 光吸 收增 强 ， 而增 大短路 电流 ， 高 电池 的转化 效率 ， 层 从 提 而且 可 以进一 步 减 薄 ， 善 电池 的 层 改 稳 定性 ； 此外 ， 可 以阻挡 金属 背 电极 元 素如 或 向 的扩散 ， 层 改善 界 面及 电池性 能 。 目前 ， 国用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制
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