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厂务系统概述,一、厂务系统功能,目录,三、厂务系统流程,二、厂务系统使用材质,一、厂务系统功能,1.1 水系统在制程中的功能,1.2 气体系统在制程中的功能,1.3 化学系统在制程中的功能,1.4 真空系统在制程中的功能,1.5 排气/排水系统在制程中的功能,二、厂务系统使用材质,2.1 水系统使用材质,2.2 气体系统使用材质,2.3 化学系统使用材质,2.4 真空系统使用材质,2.5 排气系统使用材质,2.6 排水系统使用材质,三、厂务系统流程,3.1 制程冷却水系统简略流程,3.2 冰水系统简略流程,3.3 纯水系统简略流程,3.4 自来水/回收水系统简略流程,3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程,3.6 其他大宗气体/特气系统简略流程,3.7 高真空/排气系统简略流程,3.8 真空系统简略流程,3.9 化学系统简略流程,3.10 废水收集系统简略流程,3.11 废水处理系统简略流程,Waste Water Treatment,英文缩写对照,
