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1、课程报告：太阳能电池的生产工艺的现状与发展学院名称：机电学院专业：电子科学与技术班 级：姓名：MHY学 号：二。一八年七月太阳能电池的生产工艺的现状与发展随着全球工业化的进程，煤炭、石油等常规能源的频频告急，人们将目光纷纷投向了各 种可再生能源的利用上。其中，太阳能可说是取之不尽、用之不竭。因此，太阳能光伏技术 极有可能成为21世纪最有发展潜力的光电技术之一。所谓光伏，是指通过太阳能电池为媒介， 将太阳光转化为电能的过程。然而我们清晰的意识到，由于太阳能电池的生产工艺技术复杂、 生产成本远高于目前稳定能源的市场价格，转换效率难以突破、能耗高等难题影响了太阳能 发电产业的进一步发展。因此，如何在
2、提高转换效率的同时降低生产成本已成当今世界光伏技术研究工作的重中之重。中国渔光风能源基地太阳能电池一种把太阳能转换成电能的能量转换器，太阳能电池工作原理的基础，是太 阳能电池的光生伏打效应。首先，太阳能电池吸收阳光，只有当光量子能量是半导体材料的 禁带宽度Eg的数倍时才会产生多个电子-空穴对，其间的差值则转化为热量。然而，在电 子-空穴对产生的同时也发生了电子-空穴的再复合；最后，利用外加电场使电子-空穴对相 互分离形成扩散电流；简而言之，主要分三个过程：太阳光吸收过程、电子-空穴对激发过 程、分离光生载流子过程。由于不同的材料可以吸收的太阳光源的光谱能量不同不同种类的太阳能电池是决定能 量转
3、换效率大小的一个重要因素。表1为目前不同材料太阳能电池的转换效率。由表1可 知，按材料种类分，常用的太阳能电池主要有如下五类：（a）单晶硅太阳能电池（b）多晶 硅太阳能电池（c）非晶硅太阳能电池（d）碑化镓（GaAs）化合物太阳能电池（e）有机太阳能电池种类常用半导体材料能量转换效率（）结晶硅太阳能电池单晶硅26.70.5多晶硅22.30.4非晶硅太阳能电池a-Si10.20.3化合物太阳能电池GaAs28.80.9CIGS21.70；5有机太阳能电池9.7 土 0,3半导体太阳能电池。表1太阳能电池转化效率由于单晶硅太阳能电池转换效率为较高单硅晶电池成为目前在太阳能光伏市场中最为 主流的产品
4、，在市场中的占比例达到80%左右，所以从未来的发展趋势进行观察，可以断 言在未来的5-10内单晶硅电池还将会继续在太阳能电池市场中占据主导地位。在此背景下， 本文围绕单晶硅太阳能电池生产工艺为中心，对制绒、扩散制结、等离子边缘刻蚀、去磷硅 玻璃、PECVD镀减反射膜、丝网印刷电极、烧结几种单晶硅太阳能电池的生产工艺展开分 析。制绒在单晶硅太阳能电池生产环节中制绒是第一步，其过程是采用质量分数为20%的碱液 放置于八十摄氏度的环境中，对单晶硅太阳能电池的硅片进行表面的处理，进而达到去除硅 片损伤层的目的。在制绒过程中，单晶硅硅片表面可形成一个角锥形的外表，其具体的反应 过程为：2NaOH+Si+
5、2H2O一2H2f + Na2SiO3而对于单晶硅片上表面生成的二氧化硅则 可以是氟氢酸给以去除，其反应的方程为：6HF+SiO2 一 2H2O+H2SiF6最后再使用盐酸进 行硅片的表面处理工作，即可在水中溶解变成络合物，最后在采用喷淋的方式将其表面的杂质给以去除，烘干处理后即完成了制绒环节。通威太阳能自动化生产线扩散制结扩散制结其扩散源为三氯氧磷而三氯氧磷在高温的环境下会发生分解生成五氧化二磷 和无氯化磷。而分解产物中的五氧化二磷会和单晶硅太阳能电池中的硅片发生反应生成二氧 化硅和磷单质。而当环境中有外来的氧气时，就会和扩散源分解出的无氯化磷进一步反应生 成五氧化二磷和氯气因此在扩散制结环
6、节中可以通入适量的氧气来促进扩散制结的进行。 而在三氯氧磷的分解过程中也会在单晶硅片的表面不断累积下五氧化二磷进而和硅片发生 反应生成一层磷硅玻璃，并且磷还会不断向外进行扩散。等离子边缘刻蚀对于单晶硅片而言其在经过了扩散处理之后在其正面以及边缘处都形成一个扩散层， 而该扩散层在正面存在是十分必要，而在边缘存在则是需要去掉的，因此进行单晶硅太阳能 电池的边结绝缘刻蚀对于降低单晶硅太阳能电池的漏电量是单晶硅太阳能电池的生产环节 中一个十分必要的环节。在单晶硅太阳能电池的边缘刻蚀环节上是通过高频的辉光放电进行 反应，从而使反应气体被激活为活性粒子，而这些活性粒子则是需要刻蚀的地方。等离子在 和这些部
7、位接触后，就会和硅片发生反应，继而将挥发性反应物四氟化硅去除，达到边缘腐 蚀的效果。去磷硅玻璃在去磷硅玻璃环节需要现将槽内的液体给以替换为清水，然后在氟氢酸槽放入80升的 水，然后在向槽中添加含量密度在48.9-19.25之间的氟氢酸。而随着去磷硅玻璃环节的不 断进行，氟氢酸会不断被消耗，进而其浓度会逐渐降低。因此在实际的工业生产中，为了保 障去磷硅玻璃能够顺利的进行，需要每经过六小时向槽内的液体进行一次替换，而喷淋槽以 及清洗槽的纯水则需要每12小时更换一次。PECVD镀减反射膜PECVD镀减反射膜是单晶电池生产中最为重要的一个环节PECVD所指的是化学气相 沉积减反射膜，具体而言即SiNx
8、减反射膜。在单晶硅电池太阳能电池上镀上一层SiNx减 反射膜可以极大程度上提升单晶硅太阳能电池的太阳能吸收效率此外还可以在氢原子的钝 化效果下，实现单晶硅太阳能电池开路电压以及短路电流的大幅度提升，是单晶电池环节中 提升电池性能的一个重要措施。单晶电池生产过程中的化学气相沉积减反射膜其工作的原理 是使用低温等离子体作为镀膜的动力提供者，并且在此基础上将石墨加入到硅片中，通过加 热反应条件进行加热并且需要在化学气相沉积减反射膜的过程中通入一定量的其他成分与 其中，具体的成分为氮气、暗器以及四氢化硅气体，并且采用辉光放电技术在镀膜中产生等 离子体。在经过一系列的离子反应以及化学反应后，就会在单晶硅
9、太阳能电池硅片的表面形 成一层十分稳定的固态薄膜，该过程的具体反应式为：NH3 + SiH4-SixNyHz+H2f通威太阳能无尘生产车间丝网印刷电极丝网印刷电极环节的基本原理为使用网版上的网口作为渗透孔进而在施加外界压力的 条件下，使浆料能够通过渗透孔进一步渗透到单晶硅太阳能电池的硅片上。而在对电极进行 丝网印刷的过程中主要需要使用到的材料有刮刀、网版、印刷机、浆料以及硅片几者。印刷 步骤为首先使用Ag/AL的背印刷电极并且给以烘干，进而使用Ag/AL浆背电场并烘干，最 后使用Ag/AL浆印刷正电极。烧结烧结环节是单晶硅太阳能电池生产的最后一个环节。烧结环节就是为了降低系统内的自 由能，在烧
10、结的过程中颗粒会出现一系列的变化：接触一结合一自由收缩一空隙排除一晶 体性能提升等。而在经过烧结的这一系列环节之后，单晶硅太阳能电池体系内的自由能便可以最大程度上的实现降低，系统的整体稳定性得到了进一步的提升，其中厚膜粉系统也经过 烧结环节后变得更为密实。展望基于目前我国低碳经济和绿色经济的发展主轴发展太阳能产业是未来我国的能源发展 的一个必然趋势，而在太阳能产业中单晶硅电池又是其中占比最大，最有前景的一个分支。 从目前太阳能电池领域的发展方向来看，柔性太阳能电池将成为未来光伏领域的重要应用， 这种太阳能电池可以制作在塑料基底或纺织物（如帐篷、衣服等）上。除了易于形变的特点， 其生产工艺的温度始终控制在120度以下，具有良好的工业生产远景。然而我们应该清楚 的认识到光伏电池技术发展的最初动力是为了缓解能源、环境的压力为人类幸福生活服务。 因此光伏电池的发展思路应该是可持续性的而不是仅仅把它看作一项阶段性的能源技术。
