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1、真空泵常见问题,扩散泵.罗茨泵.旋片泵.滑阀泵.；现在我们对相关问题进行讨论。,扩散泵,影响扩散泵性能的因素 1.扩散泵油蒸气的反流 扩散泵油蒸气的反流可归结为五种原因：*泵壁表面油膜和油滴的蒸发（如图1所示）*喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射（如图2所示）*一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发（如图3所示）*喷口边缘高速油蒸气流的散射（如图4所示*室温下油沿泵壁的表面迁移（爬移)(如图5所示),反流示意图,2.气体分子的反扩散,在扩散泵中，低真空端的气体分子总会进入高真空端，特别是某些质量较轻的气体，如氢.氦等反扩散比较大，其中氢的反扩散最大，可达10-3 mg/h，氮的反扩散较小，约为10
2、-7 mg/h.,3.扩散泵油的裂化分解,扩散泵油分两种：矿物油，此种油稳定性及耐氧化能力都较差，在室温下的饱和蒸气压力10-5 pa 10-7pa.另一种是硅油，热稳定性及抗氧化性都较好，室温下的饱和蒸气压力10-6pa 10-8pa.,在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温.金属催化作用以及油爆发式沸腾，是高分子的有裂化成低分子的碳氢化合物及轻的气体等)。这些裂化后的氢和碳氢化合物的蒸汽压很高，限制了扩散泵的极限真空。此外，机械泵油反流到扩散泵中，也产生分裂物，使扩散泵的真空受到影响。,4.真空泵的清洁度,清洗不干净的真空泵，污染物会留在泵中并重复循环，影响泵极限真空。,提高油扩散泵极限真空的方
3、法,1.扩散泵结构设计上的改进 改进扩散泵的结构，如加分流装置;合理的分配锅炉的加热功率，增大锅炉中心区；改进喷嘴角设计；在一级导流管中加装加热器进行气象加热，以增加蒸汽流速度减少真气流的散射。上述措施也可减少油的裂化，反流，提高扩散泵的极限真空。,减少油蒸气的反流,1.加挡油帽 在第一级喷嘴上面，加水冷挡油帽，通常可使反油量降低半个到两个数量级。2.障板 使用水冷或低温介质冷却的各种挡板，可使反油量大大降低。,3.冷阱 使用液态冷阱捕集反流蒸气。液态冷阱不能把油真气挡住，仍有少量的油蒸气分子通过冷阱进入被抽容器中，其途径有；1.两个油分子之间的碰撞；2.油分子和气体分子的多次碰撞；3.没被捕
4、集的油分子反弹到高真空的区域中；4.室温下油从泵壁表面迁移。扩散泵系统采用液态冷阱后可获得10-8pa 10-9pa 的极限真空,4.吸附阱 扩散泵进气口安装13X型分子筛或氧化铝吸附阱吸附反流的油蒸气后，可以获得10-8 10-9 真空度。这种阱有如下缺点：1.吸附剂易粉末化；2.吸附剂要在活化；3.需经常更换吸附剂，操作不便。5.钛升华阱,扩散泵与真空室之间装上用液氮冷却的钛升华阱，即可以消除有机物真气对系统的污染，又能降低CO.CO2 和 H2,阀门,扩散泵的返流，在泵启动和停止后的一段时间内有两个最大峰值，泵运转时可利用阀门的关闭避开这两个最大返油区。,减少气体的反扩散,反扩散过去的气
5、体的分压Pf和扩散泵前级排气口处该气体的分压Pj成正比，即Pf=rPj。降低前级压力Pj和压缩比r可以降低Pj。,扩散泵的前级再串接一台扩散泵可以降低前级气体分压Pj。采用多级泵（目前多采用四级泵代替原来的三级泵），则可以降低压缩比r，使返扩散减少。,五.用扩散泵获得高真空的方法,1.选用性能好的扩散泵油2.采用合理的烘烤技术3增加冷阱装置，防止泵油返流和迁移4.减少被抽气体的反扩散,扩散泵结构示意图,滑阀泵及原理其示意图,滑阀泵故障现象及排除方法,旋片泵及原理其示意图,故障及其排除方法,.极限压力与极限全压力不好的原因判断和消除方法1.新泵.泵口检测，全压力不好，旋去加油赛，无明显漏气声，可
6、能是因存放日久和不当，有水气等进入泵内，可密闭泵口开气镇阀2-4小时，应有所回升，或更换新油，可更显著。,2.无漏气声，开气镇阀及换油无效，应检查阀座上的小油空是否堵塞，小孔的位置：2X-4C泵在阀坐侧面，2X-8,15泵在短阀片处月牙槽内，2X-30A，70A在短阀片附近的阀座平面上。,3.带系统后抽不好，有明显漏气，接头.管道或容器有漏气，应擦找和消除。4.泵未经拆卸清洗，突然出现碰撞声，真空度下降，可检查旋片弹簧是否折断或有无异物进入泵内。泵温是否太高，旋片紧，活动不畅。,5.泵使用日久，真空度下降，可因泵油混入可凝性气体和泵油裂解变质以及橡胶老化所致，可用换油.换橡胶件方法逐一试验。,
7、6.泵拆洗装配后，有大漏气声，可能是橡胶件装配不当.顺坏，应调整或更换。7.排气阀片老化变形.顺坏或螺钉松脱，会出现异样排气和油面的显著泛动，也会影响真空度，应调整重装。8.因泵温太高而使真空度，特别是全压强降低时，应加强冷却。,9.以上措施无效，无漏气声，可能是使用日久，零部件磨损或受腐蚀所致，也可能是转子变形，精度降低，甚至转子.旋片等零件损坏，应拆开检查，修正或调换新零件。10.仪表失真，规管污染，引起误判，应校准比较，清洗或换新。,喷油.漏油及其消除方法：喷油可因油位过高，油盒.挡油板松脱，装配不当所致，可逐一检查。漏油可因油封弹簧脱落.磨损.放油螺塞和垫片损坏，侧盖垫片没垫好，气镇阀
8、停泵后忘关等引起，可检查调整或调换。,罗茨泵及其原理示意图,罗茨泵与滑阀泵旋片泵组合,扩散泵内部水冷及外形图,扩散泵及水冷示意图,运转,1.启动1.1 接通冷却水，确认冷却水的流量是否达到规定要求。1.2 启动前级泵，当扩散泵泵口压力=10Pa后，才能启动扩散泵加热电源。1.3 泵加热4080分钟后，就进入正常工作状态。,2.停止2.1 先关闭高真空阀门，然后切断扩散泵电源，前级泵继续工作。2.2 当炉体内部温度降到=60的时候（用手可以接触的状态），可以停止前级真空泵。,注意事项,1.像炉体内放气时，必须在泵油温度=60时进行。油温度过高，会造成泵油氧化，导致泵性能下降。放气时请从高真空端放
9、气，避免损坏泵芯。如果不能从高真空端放气时，请保证小流量的缓慢放气。,2.扩散泵在正常运行中遇意外停电.停水时，请按下面步骤处理：2.1 切断电源 2.2 立刻关闭高真空阀门和前级真空阀 2.3 将电炉从泵底卸下，并移开。（注意安全，小心烫手！）2.4 像泵底不淋水。注意：（水蒸气烫人！）,3.在停止作业后，扩散泵短期内不使用时，请将泵水冷管道中的水排出管道以外，同时用压缩空气将残余水分吹干，防止水冷管道腐蚀。,4.扩散泵工作一段时后，若发现真空度变坏，或抽速降低使系统恢复时间太长时，必须对泵清洗，更换泵油。5.扩散泵应存放在温度为1035.湿度不超过85%的通风良好的室内,炉体真空系统组合图,泵连接等注意事项,保证密封面不被划伤保证密封圈干净螺丝均匀对称向下拧泵要放置平稳泵油要按要求量加入在启扩散泵后观察泵的三相电流（是否断路影响加热）,
