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1、1,QIHANG上海企航科技咨询有限公司,2,ESD控制方案认证检验检测技术,主讲：刘长雄,QIHANG上海企航科技咨询有限公司,3,一、认证检验计划要求,4,文件化的质量管理体系架构,质量手册,程序文件,作业标准、检查标准,质量记录、作业记录,质量方针、目标,文件化的管理体系,写做记说一致,ESD控制方案,方案计划、验证计划、其它作业指导书,验证记录、作业记录,ESD S20.20标准要求,ISO9001标准要求,5,1、静电放电控制方案计划,目的：本标准的目的是提供行政和技术上的要求，以及建立，实施和维护静电放电的控制方案(文中称“方案”)。各单位应制定一个静电放电控制方案计划，将方案中的
2、每一个要求都一一列出。这些要求是：培训 认证检验 接地及等电位相连系统 人员接地 静电放电保护区之要求 包装系统 标记静电放电控制方案计划是实施和检验静电放电控制方案的首要文件。其目标是全面实施和整合一个与内部质量系统要求相符合的方案。该静电放电控制方案计划应适用于单位内部工作的各个方面。,6,2、认证检验计划,认证检验计划的建立，是要确保单位能够满足静电放电方案计划的要求。认证检验计划应该明确要进行检验的技术要求，相关的测试范围及认证频率。根据此计划进行认证检验。认证检验计划还应规定，检测和测试方法及设备。如果单位采用的方法与本文件所列出的标准有差异，必须提供一个修改声明作为静电放电控制方案
3、计划的一部分存档。认证检验纪录应该被确认并保存，以便证明符合了静电放电控制方案中的技术要求。所选择的测试设备应能够完成认证检验计划中定义的测量项目。,检查频率建议可根据稽查之历史据订定,7,3、合格检验与认证检验,标准中有哪些合格检验及认证检验参数要求？哪些物品哪些地方要认证检验？要用什么检验设备？用什么方法检验？,在静电放电控制产品和材料的初始选择的时候采用产品合格检验。可采用的方法为：产品规范复查，独立实验室评估或内部实验室评估。,8,4、哪些物品要定期验证？,ESD TR53-01：2006-静电放电保护设备和材料之达标验证-建议下所述之静电放电防护品、材及设备等应定期接受功能性验证检测
4、：接地/搭接系统工作台面手腕带手腕带性能测试器防静电鞋地板材质服装座椅移动式设备(手推)包装静电消除器人员接地系统,设备定期保养、校准,9,5、ESD 物品检测频与方式,10,6、静电用品测试标准,11,7、ESDA认可的认证机构,DNV Certification,Inc.BSI,Inc.QMI,A Division of CSA Group National Quality Assurance,USA(NQA,USA)Lloyds Register Quality Assurance,Inc.(LRQA)TUV America,Inc SGS SA PSB Certification BV
5、Qi(NA),Inc.,12,二、符合性验证技术,13,1、接地/搭接系统符合性验证,目的：确保EPA 工作站内所有之工作台面、固定式装置、手持式装置及人员接地装置等均应接至共同接地点(Common point ground；CPG)。共同接地点再接至ESD 接地/搭接考点。一般ESD 接地/搭接考点应为交电(AC)设备接地点。采用辅助接地时，应搭接至交电(AC)设备接地。检测设备：(A)直奥姆计：可测范围应为 0.11M，精确应为10%。(B)交电插座分析器：指示设备接地导线是否存在。地线与中线、火线与中性线、火线与接地线是否装置颠倒、设备接地线阻抗是否符合规范要求、(C)交电电测试器(阻抗
6、计)：测设备接地导体自电源插座至主电源控制盘中性搭接点间之阻抗值，也具可检测接线正确性。(D)条适当长之检测接导线。,现场CPG须标识出来,最好是AC地与静电地线分开,14,万用表/直奥姆计,电压档：量交流、直流电压值电阻档：量接地、手环阻抗插头与拉环间阻抗为1M10%,设备对CPG1.0欧姆,与防雷地线距离20M!,总接地10欧姆,15,断路器的使用,16,交流电插座分析器,左零右火上地是否正确地、中线阻抗,交电插座分析器,交电电测试器(阻抗计),1.0欧姆,17,接地点对CPG1.0欧姆,18,钳形接地电阻测试仪,测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由电压线圈及电流线圈组成。电压线圈提供
7、激励信号，并在被测回路上感应一个电势E。在电势E的作用下将在被测回路产生电流I。仪表对E及I进行量测，并通过欧姆定理：R=E/I测量范围：0.1-1000,分辨率；0.01.,1.0欧姆,19,自动厂房静电接地系统监测器：,可同时并实时监测个作业员腕带和个工作枱面的ESD接地况有独的安全警报声响告警装置采用电阻回监控方式，准确而有效,连续式静电腕带及工作台监测器：,配有字显示操控面板及管锁实时测接地系统之AC与DC阻抗可实时监测并有声光警报，256组记忆装置，可接计算机印监测纪报告可侦测ESD接地和AC接地是否混接,20,2、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证,标准没有作要求,21,3、工作
8、台面符合性验证,目的：确保ESD 防护工作台面、架子、抽屉、ESD 防护储存设备是否搭接至接地/搭接考点。电阻是否符合。(1)检测设备：高阻表(MeggerMeter/High Resistance Ohmmeter)(A)测量范围:1103 1.9991013(至少要10次方以上，最大可测电阻11016)(B)圆柱电极：符合ANSI/EOS/ESD4.1规定。重2.270.06kg、半径63.50.25mm 体积圆柱、导电接触材硬等级应为Shore A：50-70。10V 测试电压测属表面，电极间之电阻应小于1.0103。(C)直(DC)奥姆计：可测范围应为0.11M，精确应为10%。(D)
9、条适当长之检测接导线。,22,(2)检测程序：,(A)验证前，勿即清洁 ESD 防护工作台面。(B)将所有 ESDS 从工作台面移除。(C)工作台面上导电物品及具独接地的交电气设备仍维持接地。(D)将一条检测导线一端接至电极，另一端接至整合性电阻测试器。(E)将另一条检测导线一端接至整合性电阻测试器，另一端接至接地考点。(F)将电极置于工作台面正中央，测试电压设定为10V，经一段适当之测试时间或待值稳定。(G)指示电阻小于 1.0106，则再继续测试。地面距离100CM 其它工作表面距离30CM，测试3-5次取平均.(H)指示电阻等于或大于 1.0106，则将测试电压改设定100V，再重新测试
10、工作表面。检测应包括 ESD 防护工作台上磨损处或具明显脏污处。,23,工作表面点对点阻抗测试,大于1.0 x106，但应小于1.0 x109电压小于200V,测五次取平均。,24,工作表面点对点阻抗测试,大于1.0 x106，但应小于1.0 x109电压小于200V,25,工作表面点对地阻抗测试,大于1.0 x106，但应小于1.0 x109电压小于200V,测五次取平均,26,表面阻抗测试仪,将表放在被测表面上，按住红色的测量钮，持续发亮的发光二极管（LED）指示出测量的表面阻抗量级。测五次取平均。,量程指示 103=1千欧姆绿色LED 104=10千欧姆 绿色LED 105=100千欧姆
11、 绿色LED106=1兆欧姆 黄色LED 107=10兆欧姆 黄色LED 108=100兆欧姆 黄色LED 109=1000兆欧姆 黄色LED 1010=10000兆欧姆 黄色LED 1011=100000兆欧姆黄色LED1012=1000000兆欧姆 红色LED 1012=绝缘 红色LED,此表还可测量对地电阻,每十二个月需校准表面阻抗表,27,4、防静电手腕带符合性验证,检测设备：(A)整合性电阻()测试器：测范围至少为1.01010奥姆计，开测试电压为DC10V与100V(10%)。(B)手持式电极：锈钢圆柱棒、长75mm(3inches)以上，直径25mm(1inches)、钢棒一端接
12、香蕉插头或纹端子测试线。(C)一条适当长检测导线。,3.5107欧姆,0.8106欧姆-1.2106欧姆,28,5、人体综合阻抗测试,检测设备：(A)整合性电阻()测试器：测范围为5.0104 1.01010 奥姆计，开测试电压为DC 730V。(B)手持式电极：锈钢圆柱棒、长75mm(3inches)以上，直径25mm(1 inches)、钢棒一端接香蕉插头或纹端子导线。(C)足部电极：导电属板 305mm2(12inches2)。(D)条适当长之检测接导线。,3.5107欧姆,1.0109欧姆,29,6、静电鞋阻抗测量,1 109 欧姆 100伏,3.5 107欧姆,30,7、防静电移动式
13、设备(手推)符合性验证,1 109 欧姆,31,8、防静电地板符合性验证,(1)检测设备：-与工作表面测量一致(A)整合性电阻()测试器：测范围至少为1.01010 之奥姆计，并且其开测试电压为DC10V与100V(10%)。6次方以下用10V档。否则用100V档。(B)圆柱电极：重2.270.06kg、半径63.50.25mm体积圆柱、导电接触材硬等级Shore A：50-70。当选用10V 测试电压，测属表面时，其电极间之电阻应小于1.0103。(C)条适当长之检测接导线。,32,点对地测量,注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取平均,1109欧姆,33,点对点测量,注意：地面
14、距离100CM，其它30CM、测试5次取平均46为导电地板，69为静电耗散地板,1109欧姆,34,9、防静电服装符合性验证,(1)检测设备:一般为高阻仪(A)整合性电阻()测试器：开测试电压为DC 100V(10%)，范围至少为1.01012。(B)圆柱电极：重为2.270.06kg、半径63.50.25mm 体积圆柱、导电接触材硬等级Shore A：50-70。(C)条适当长之检测接导线。(D)绝缘支撑板：平坦绝缘板，大小足以支撑进 ESD 材检测工作。符合ASTM D-257规定，绝缘板表面电阻应大于1.01013/sq。,35,静电工作服表面阻抗测试,防静电装服(袖口对袖口)符合性验证
15、,可接地1109欧姆,普通静电服11011欧姆,系统电阻3.5107欧姆,新品反复摩擦20次静电电压小于100V,36,10、防静电座椅符合性验证,综合阻抗点对地,37,点对点,1 109 欧姆,38,点对点测量,1 109 欧姆,39,11、其它用品表面阻抗,1 109 欧姆,40,12、静电消除器（离子风扇）符合性验证,检测设备：(A)充电板监测器(CPM：charge plate moniter)：可携式验证工具组包括：电场计、可拆式(隔导电)平板、平板充电器及接地线等组件。(B)码表或其它适当测放电时间之工具。(C)测尺。,41,离子风机,产生原理：A、强电场的条件下空气电晕电离，产生
16、正负离子；B、A射线和射线作用空气分子使之成为空气离子；C、高能射线（X射线）作用空气分让基电离离子风机按形式分为:台式离子风机，卧式离子风机，悬挂式离子风机，微型离子风机输入电压：100VAC 50、60Hz,120VAC/60Hz,230VAC/50Hz最大功率：25W左右离子平衡：0+/-25V（有的设备是本能，无需调较）消散速度：由1000V至100V小于1.5秒（最大风量）覆盖范围：30cm*150cm显示：亮-有高压电产生离子显示报警：测量仪内的感应器损坏保养三步曲 清洁 检测 调较,STM3.1-2000,消散时间：用户自定残留电压50伏特,42,检测程序,放电时间(衰减时间)试
17、验：(a)启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定态。(b)将检测平板短暂性接地，并设定(或验证)为电压值。(c)请勿于子化气场内，将可携式验证仪器进归(或进充电)动作。(d)将检测平板充电至超过各电极初始检测电压之适当伏特(如12001500V)。(e)将检测板面向静电消除风扇的气方向。(f)放电时间测始于检测板电压衰减至初始测试电压(如1000V)时，并停止于检测板电压衰减至最终测试电压(如100V)。(g)针对另一电极重复上述程序。(h)记各电极放电时间(秒)。残余电压(offset voltage)(剩余子)试验：(a)启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定态。(b)将检
18、测平板短暂性接地，并设定(或验证)为电压值。(c)请勿于子化气场内，将可携式验证仪器进归(或进充电)动作。(d)将检测板面向静电消除风扇的气方向。(e)等待使用者规范之时间。(f)纪检测板上之残余电压(offset voltage)(或剩余子)。,43,带电平板监测仪(Charge Plate Monitor),离子平衡电压、静电消散时间、人体静电压、防静电材料性能等测量-ANSI EOS/ESD S3.1监测空气离子平衡监测电荷从固定电压点到需要终结点(通常为原始电量的10）的衰减速度.,44,立式离子风机测量,消散时间：用户自定残留电压50伏特,45,悬挂式离子风机测量,46,13、防静电
19、包装材之符合性验证,ANSI/ESD S541 ESDS 物品之包装材 定期检测程序,建议：反正摩擦后电压少于100V,47,静电防护材料分类及测量,48,三 其它设备的使用及测量,49,1、静电场表(Field Meter)(静电电压表),有效检测ESD工作场所设备，工作台面，工具的带静电电荷。电场测量范围+/-20Kv*2 LED确定标准测距:25mm+/-1mm ESDSTM3.1-2000 lonization 标准可配离子平衡测量板（+/-200V）精 度:低范围精度为：正负0.1kv；高范围精度为：正负1kv静电场可测:+/-(0.00-20.0kV)（自动显示调整）,50,2、温
20、/湿度计,测量范围：室内温度（-3050）湿度（20%99%）,EPA区相对湿度30%-70%，,51,3、静电电荷量测量,测量器件上的静电荷1.将器件放入法拉第罩,记录读数A2.将器件移出法拉第罩,记录读数B移动电荷=B,稳定电荷=A-B,52,铁尖端部位与接地点之间电阻值，通电热态下时电阻值应小于2.0(或电压低于2mV)；未通电态下时，电阻值应小于2.0。铁尖端电压测及消散电测试时，所测得之尖端电压应小于AC/DC 20 mV，消散电应小于10 mA。每日或定期检测消散电及电阻值，以确保尖端电压应小于20 mV。,4、电烙铁,53,5、手持工具,防静电手持工具之电阻测试方法。标准建议电阻值应为小于109电池驱动式或气动式手持工具电阻值应小于1.01012。,54,6、自动取放设备AHE（ESD SP10.1）,自行制订认证检验规定,100伏,55,7、ESD电脑监视系统,56,
