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1、S02,破片类型总结,破片的判定rule,2011-3-18版本,破片规格,JI易混淆破片类型总结,JI 破片处理流程图,发现破片,立即停线,保留现场，通知当线设备和值班制程及线长,Owner,MFG,MFG,当线设备和值班制程工程师,当线设备和值班制程到现场确认原因,调整机台到正常状态,确认有risk漏到下游站点需进行锁帐,确认首片OK后开线,值班制程工程师,Process,当线设备工程师,MFG当线设备工程师,Remark:若确认为异物压破片,当线设备和值班制程工程师必须将异物保留下来交给offline破片负责人以便分析做长期改善,破片的判定基本步骤,1.若为明显原因例如亲眼看到设备撞击
2、签设备,人员操作不当签人为等可直接判定责任单位2.若原因不明确的,一般先根据lot NO查过帐时间,看是否在流程中有异常,是否有拔片做repair run等3.根据破片时间,看机台报警记录,是否有当机异常,是否人员操机不当4.查EC破片检查机的报警记录,是否为来料破片,JI设备常见破片现象,OLB异物压破,OLB假压压破,一般能看到有集中受力点的发散裂纹如下图所示,或是破损位置有异物,误判的例子:如下不属于OLB异物压破,绿色底色部分-表示OLB bonding区红色线条-表示裂纹,一般为新线发生,某1个假压异常导致破片,一般是此假压头所压的COF对应位置都破损,举例:2E06发现如下图X1/
3、X2/X3 COF同一位置破损,都对应假压head1,判定为假压异常破片,绿色底色部分-表示OLB bonding区红色线条-表示裂纹,若确认为异物压破,还要看产生异物的原因来判定,ACF贴附不良产生残胶&机台掉屑等 签设备人员操作不当,5S点检异常,换料异常等带入异物-签人为JI无此类材料的异物,Cell来料异物 签cell,其他设备撞机破片:由于撞机的方式千姿百态,现象不一,具体可根据机台报警记录确认,MA易混淆破片类型总结,MA破片类型总结,校正平台撕膜机重合机翻转机Robot/翻转机掉片Aging 炉倒片新线重合区,109校正平台,干涉点,110撕膜机,116重合区,推杆重合,Robot/翻转机掉片,夹爪位置松脱,挡片歪斜,Aging 炉内倒片,新线重合区,定位柱,MA制程破片大全,MA制程破片大全,MA制程破片大全,2E3#T315XW03-4/L6 Cell 毛边不良,OK,NG,人为破片类型总结,人为破片类型总结,
