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1、气体纯化技术,技术基于：,Purification,基于“FAB”模式纯化所有的大宗气体（N2、O2、Ar、He、和CAD）可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到0.1ppb产气流量范围从10M3/hr到3000M3/hr。对大量的特气也能纯化。,Pure Gas Technologies,吹扫/柜式纯化器点使用式纯化器区域纯化器大型纯化器,Bulk Gas Purification Technologies,材料及操作原则杂质去除应用,Materials,Getters:均质金属（无支撑）：球状锆、钒、钛Supported Metals:支撑性材料、反应金属：球状铜、镍、铂、保护性物质Zeo
2、lites：均质金属：球状、分子筛,Operation,纯化进程1、催化氧化2、物理吸收3、化学吸收,催化氧化,催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物氧化CO2和H2O。方法：催化器+加温+O2保护性物质+铂，300400，富氧环境反应过程：2H2+O2=2H2O 2CO+1O2=2CO2 1CH4+2O2=1CO2+2H2O,催化氧化,N2/Ar,O2,CO,H2,CH4,CO2H2O,H2O,CO2,CO2H2O,Pd,Pd,O,O,O2,Pd,O,物理吸收,分子筛优点：1、能有效去除CO2与H2O（不去除O2）2、筒室温度可控 3、进程在高温下完全可逆缺点：1、常量普通,物理吸附,N2/
3、Ar,O2,CO,H2,CH4,CO2,H2O,CO2,H2O,H2O,H2O,CO2,化学吸收,支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等优点：1、金属能化学吸附O2、CO、H22、金属网格能物理吸附H2O与CO23、筒室温度可控4、进程在高温下完全可逆：NiO+H2+加温=Ni+H2O5、局部压力不会造成重大影响,化学吸附支撑性金属,N2/Ar,CO,H2,H2O,CO2,Ni,Ni,O,O2,Ni,O,O,Ni,Ni,化学吸收,捕获器：锆、钒、钛、等优点：1、化学方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO22、筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化3、相对较高的产量4、局部压力不会造成重
4、大影响,化学吸附捕获器,He/Ar,H,Zr,Zr,O,O2,Zr,N,C,Zr,CO2/CO,N2,CH4,热扩散,表面杂质 扩散至大宗气体,300-400 0 C,氧气纯化工艺,催化床吸附床,物理吸附,H2O,H2,CH4,CO,+O2,CO2+H2O,CO2,PS6装配图,仪表气体系统图,PS6,纯化器人机界面,STATUS指示性的显示系统状态TIME为当前进行步骤计时TEMP&PRESSURE指示性的显示当前的压力温度FLOW当前进程气体流量数,人机界面按键,在任何界面下激活目录条回到主界面在任何界面下进入报警和警告界面关闭报警声 提高/减低所需值 在多个文档中切换,人机界面操作,按下
5、 后出现的界面：Restart：启动初纯化器，或者在出现报警后取消报警并重启纯化器。Details:深入显示当前系统的控制点参数。Alarms:激活报警界面，显示激活的报警，警告及信息。Events:激活历史事件表，显示最多500条历史事件。,人机界面操作,按下 后的界面,人机界面操作,人机界面操作,故障处理,故障报警界面：按下 后显示的界面。,故障处理,当出现故障的时候STATUS信息会从System OK变到闪烁的Alarm、Warning信息。ACCEPT:点击确认单个报警信息。ALL：点击确认所有报警信息。ACCEPT后的警报信息会显示为灰色未ACCEPT得警报信息会显示为红色信息代码：表示Alarm 表示Warning气Fault Reporting.xml,结束,感谢大家！FIN！vampirctutor,
