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1、,光學鍍膜基礎知識,理論基礎各类膜系硬體系統品質維護,一.光學薄膜理论基础,光學薄膜 基本上是藉由干涉作用而達到效果的。是在 學元件上或 獨立的基板上鍍上一層或多層的介電質膜或 金屬膜或介電質膜與金 屬膜組 成的膜堆來改變光波傳導的特性。因 此 波在薄膜中行進才 會發生透射、反射、吸 收、散射、相位偏移等變化。光波經過薄膜後在光譜上會起變化，因此這些變化會使得 學薄膜至少具有下列功能：1.反射 的提高或 穿透 的降低 2.反射 的降低或 穿透 的提高 3.雙色、偏極光的分光作用 4.光譜帶通或截止等濾 光作用 5.輻射器之光 通量調變 6.光電資訊的儲存及輸入,1.在膜層中，波的干涉結果，如R
2、%、T%都是與膜質本身和兩邊界邊的 折射率有關系，相位變化也是如此。2.由于干涉作用造成的反射率有時升高，有時反而降低，都 要視膜层的折射率高於或低於基板折射率而定。若NfNs，則反射率會提高(Ns为基底)NfNs，則反射率會降低 3.因此若要在鏡片上鍍上抗反射膜，薄膜的折射率就必須小於基板的折射率,且膜厚要在1/4波長的奇數倍，才會使反射 達到最小。干涉現象必須滿足3個條件才能發生:1.振動頻率相等 2.振動方向一致 3.相位差恆定,一.光學薄膜理论基础,镀膜目的:反射率的提高或透射率的降低反射率的降低或透射率的提高分光作用：中性分光、变色分光、偏极光分光 光谱带通、带止及长波通或短波通之滤
3、光作用相位改变液晶显示功能之影显色光显示、色光反射、伪钞及有价证券之防止光波的引导、光开关及积体光路,一.光學薄膜理论基础,單層減反射膜,二.各种膜係介紹,AR-Coating,輔正膜,IR膜,IR膜,高反膜,三.硬体系统,鍍膜機臺內部結構,離子源助鍍,鍍膜機類型,鍍膜機构造五大系統,排氣系統控制系統蒸鍍系統監控系統輔助系統,排氣系統,工作原理,通過三個泵浦(RP,MP,DP)的工作,從而達到鍍膜所需的真空條件 1大氣壓=760torr=1.013*105pa A)3.0*10-5 TORR B)4.0*10-4 pa,泵浦及真空計圖,RP,MP,DP,真空計,控制系統,工作原理,通過自動化程
4、式來控製所有泵浦和閥門的正常運轉,從而確保鍍膜機的效率的品質,鍍膜機控制柜,主要通過 PLC 控制電路自動完成,鍍膜機控制界面,機器觸摸界面,蒸鍍系統,工作原理,鍍膜藥材在真空中,通過電子槍發出的電子束或鎢片的電流使其熔解而蒸發后,而沉積在基底(鏡片)的表面,蒸鍍圖片,電子槍蒸鍍裝置,鎢片蒸鍍裝置,蒸鍍所用藥材,MGF2,H4,TiO2,Ti3O5,AL2O3,SIO2,金屬AL,Ag,Cr,NB2O5,Ta2O5,監控系統,工作原理,通過專用的軟體來縮小設計鍍膜厚度和實際鍍膜厚度之間的差值,監控控制系統示意圖,LP1300EBA 透過式光學監控,LP900EBA 石英膜厚監控,石英膜厚儀,膜
5、厚系統控制界面1,蒸鍍中畫面!,監控系統控制界面2,蒸鍍完成畫面,全部通過自動化程式控制!,監控系統的種類,透過式(37臺)反射式(4臺)時間(3臺)目視/石英監控(7臺),輔助系統,工作原理,1.提升機臺的抽氣性能2.便於人員操作3.提高機臺的精度4.分析異常產生的原因,輔助設備圖片,冰水機,POLYCOLD,叉車,冷卻水,鍍膜三要素,1.真空度(3.0*10-5torr)2.抽氣時間(45min)3.溫度(300)當以上三個條件同時滿足時,自 動化程式會自動運行,保養的目的,讓鍍膜機能長時間地正常運轉降低故障時間提高機臺精度,穩定品質加快抽氣速度,提升機臺利用率,日常保養項目及周期,電子槍(坩鍋)部位的吸塵-1次/伞離子槍部位的清潔-1次/伞遮板的清潔-3次/班燈絲的更換-1次/班綠紙的更換-2次/班機臺外表的擦拭-2次/班,定期保養項目及周期,泵浦和管路的保養-1次/年油類的更換(或添加)-1次/年密封環的更換-1次/年加熱絲的噴砂處理-1次/年真空桶的打磨-1次/3天內壁板的噴砂處理-1次/3天真空計的校正-1次/月投光源燈泡的更換-1次/15天,
