《装片机简单介绍》PPT课件.ppt

上传人:小飞机 文档编号:5644359 上传时间:2023-08-05 格式:PPT 页数:12 大小:761KB
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1、学习周报,本周学习内容,近几周引进新设备装片机,进行调试并正式投入生产,故对装片机进行全面了解及学习。设备全称为GZP-2A全自动硅片装片机(以下简称装片机)。主要用于将方形硅片装入到25或50片篮具中以供下一工艺使用。装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料位升降结构、上料位、皮带传送结构、控制面板、硅片分取系统构成。,本周学习内容,工艺全过程:1、将两个空篮具分别放置于篮具托盘上;2、将硅片放置于上料位;3、伺服电机带动硅片向上移动到指定位置;4、电动执行器带动吸盘运动到吸片位置;5、吹气分离装置开始工作;6、吸盘吸取硅片,并轮流把硅片放置于两侧的缓冲结构上。7、传送带开始工作,把硅片送入

2、到篮具中;8、设备两组吸盘交替吸取硅片;9、两个篮中硅片都装满时,蜂鸣器提示更换空篮具。,本周学习内容,设备电控柜控制面板上由一个电源启动按钮(绿色)、一个停止按钮(红色)、一个急停按钮(红色蘑菇头按钮)和触摸屏构成。按下电源启动按钮,进入主菜单,有3个按钮:手动模式、自动模式和系统管理。手动模式一般用于设备调试,故障检查等等;自动模式用于生产;系统管理用于参数设定及修改。按下停止按钮,设备停止工作,处于关闭状态。设备运行过程中,遇到碎片或粘片等紧急情况,按下急停按钮,设备暂停;故障处理结束后,松开急停按钮,继续生产。,故障及解决方法总结,生产过程中,常会出现篮具堵塞报警,主要是由于篮具摆放偏

3、差或篮具变形导致进片不顺利引起。调整篮具位置或更换篮具即可。生产中也会出现设备异常情况,这时会出现报警信息。遇到这些情况,关闭设备电源,检查相关部件,然后开机进入手动模式进行操作测试相关部件。这些情况有:上料驱动器报警检查上料驱动器及电机。篮具1(2)驱动器报警检查篮具驱动器及电机。电动执行器报警检查电动执行器故障原因。上料伺服电机超程检查上料传感器及电机。篮具1(2)伺服电机超程检查篮具传感器及电机。,故障及解决方法总结,设备使用过程中可能出现的故障及处理方法:1、电源启动失败检查空气开关是否跳闸;检查是否有短路、漏电现象;检查主接触器是否损坏。2、伺服电机运行失败检查是否超程;检查伺服电机

4、是否损坏;检查驱动器是否损坏;检查联轴器是否松动。3、传送硅片失败检查交流电机是否损坏;检查传送带是否损坏;检查导向位置是否有改动或损坏;检查联轴器是否松动。,故障及解决方法总结,4、吹气失败检查气源是否正常;检查气孔是否堵塞;检查电磁阀是否损坏。5、电动执行器运行失败检查电动执行器是否损坏;检查电动执行器两端定位位置是否改变。6、硅片进入篮具失败检查篮具是否放置正确;检查篮具是否变形太大。7、分片失败检查吹气是否正常;检查硅片是否太粘,不易分开。,故障及解决方法总结,8、吸片失败或不牢检查真空气源是否正常;检查真空发生器是否损坏;检查真空管路是否正常。如果硅片发生屡次堵塞,首先检查导向隐形胶

5、带是否破损,更换新的隐形胶带,其次检查导向位置是否不合适,调整到合适的状态,最后检查篮具是否变形严重,如果变形严重,更换篮具。,故障及解决方法总结,如果吹气效果不好导致硅片不水平,优先采取调节吹气流量而不是调节吹气压力,使硅片水平且吸盘可以同时吸上硅片。如果真空吸盘够不着吸上硅片或四个吸盘不能同时吸上硅片,依次考虑:调节四个吸盘的位置到同一个平面;调节吹气流量,即调节吹气调速阀;调节前后吹气柱高低位置;调节吸片上端激光传感器更高一点,便于吸取。一定不能采用加大真空压力的方法。,故障及解决方法总结,如果吸盘吸取硅片导致硅片破碎,首先检查四个吸盘位置是否水平,将吸盘调节到一个平面上,其次检查真空压力是否过大,将压力调节到推荐值,再检查吸盘气缸向下是否太快,力量太大,调节吸盘气缸向下的调速阀,使气缸向下运行比较缓和。,自我体会及发现,在生产中,比较常见的故障有:1、篮具堵塞 2、吹气效果不好,吹气过大或过小 3、真空吸力不够或四个吸盘不能同时吸上硅片 4、吸盘吸取硅片导致硅片破碎 5、吸取硅片时吸了重叠片 6、硅片在传送过程中,撞上导轨 发现这些都需要经常调整,不易一直保持较好效果。同时对变频器了解不够,应学习变频器的使用方法,加深认识。,Hareon Solar,R&D Center,

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