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1、电化学加工,1,贾宝贤,5687026,Electrical Chemical MachiningECM,课程内容大纲,2,1绪论2电火花加工3电火花线切割加工4电化学加工5超声波加工6磨料与水喷射加工7激光加工8快速原型制造9电子束、离子束加工10化学、等离子体、磁性磨料加工、挤压珩磨,本讲内容,3,3.1电化学加工原理、特点及分类3.2电化学加工设备3.3电化学加工的基本规律3.4提高电化学加工精度的途径3.5电化学加工的应用3.6电铸和涂镀加工3.7电化学磨削3.8电化学抛光3.9电化学辅助在线削锐磨削3.10微精电化学加工,第3章 电化学加工,4,电化学加工的最初试验是出前办联人进行的
2、。但由于当时技术水平限制，难以发展。战后，为对喷气发动机及人造卫星等所使用的，具有高硬度和高韧性的耐热钢等难加工材料进行加工，美国对电化学加工进行重新估价，研制出了最早的电化学加工机。电化学加工现己用于打孔、切槽、雕模、去毛刺等方面。是应用范围很广的加工方法。,3.1 电化学加工原理、特点及分类,5,一、电化学加工原理 利用金属在电解液中产生阳极溶解的电化学原理对工件进行成形加工的一种工艺方法。电解加工原理如图1-21所示。加工时，工件接直流稳压电源正极，工具接负极，两极间保持0.11mm的间隙，具有一定压力（0.52.5Mpa）的电解液从两极间隙中高速（560m/s）流过。,一、电化学加工原
3、理,6,电化学中常用的电解液有NaCl、NaNO3和NaClO3三种溶液。下面仅介绍用10%20%的氯化钠水溶液作电解液加工低碳钢时的主要化学反应：水溶液 H2 O H+OH-工件阳极反应 Fe 2e Fe+,Fe+2OH-Fe(OH)2,一、电化学加工原理,7,工具阴极反应 2H+2e H2从以Fe+上反应可以看出，在电解加工过程中，由于外电源的作用，阳极铁不断失去电子，以Fe+的形式与水溶液中的负离子化合生成Fe(OH)2而沉淀；阴极不断得到电子，与水溶液中的H+结合而游离出氢气。在电解过程中，工件阳极和水不断消耗，而工具阴极和氯化钠并不消耗。,电化学加工1分44.mp4,一、电化学加工原
4、理,8,加工过程中，工具阴极的凸出部分与工件阳极的电极间隙最小，此处的电流密度最大，单位时间内消耗的电量最多。根据法拉第定律，金属阳极的溶解量与通过的电量成正比。因此，工件上与工具阴极凸起部位的对应处比其它部位溶解更快。,随着工具阴极不断缓慢地向工件进给，工件则不断地按工具端部的型面溶解，电解产物则不断被高速流动的电解液带走，最终工具电极的形状就“复制”在工件上。,9,电解加工7分05.mp4,两种方法,10,二、电化学加工特点,11,电化学加工的主要优点之一是它可以加工复杂的三维曲面，而不像一般的金属切削那样留下刀痕。采用不锈钢制造的阴极工具，可以把许多初步成形的零件加工到具有极高的外形尺寸
5、。其特点是：,二、电化学加工特点-优点,12,(1)无应力加工；工件不变形(2)无毛刺加工；表面质量好(3)工具和工件不接触，工具无磨损。生产效率高，是电火花加工的510倍。加工范围广，不受材料硬度的限制。,工艺特点,13,1 凡是导电材料，不论硬度、强度、韧性多高，均可加工；2 复杂形状零件一次成型,生产率高；3 表面质量好，不变形，无飞边毛刺，无残余 应力；4 工具阴极原理上不消耗;5 生产率、表面质量之间无相互制约的关系,二、电化学加工特点-应用场合,14,目前电化学加工主要用于：(1)复杂三维曲面的端面和外圆加工；(2)刻模，特别是深窄的槽和孔；(3)靠模加工和特殊形状仿形；(4)多孔
6、加工；(5)拉孔；(6)去毛刺；(7)磨削；(8)珩磨；(9)切断。,二、电化学加工特点-缺点,15,电化学加工的主要缺点是不能加工非导电材料以及有尖锐的内角(r0.2mm)，因为在尖点上的电流密度很大。在实心材料上不能一步加工出盲孔(工作液流动)。电化学加工设备的腐蚀和生锈问题。,三、电化学加工分类,16,电化学加工按其作用原理可分为三大类：,第类是利用电化学反应过程中的阳极溶解来进行加工，主要有电解加工和电化学抛光等。,第类是利用电化学反应过程中的阴极沉积来进行加工，主要有电镀、电铸等。,第类是利用电化学加工与其他加工方法相结合的电化学复合加工工艺进行加工，目前主要有电解磨削、电化学阳极机
7、械加工(其中还含有电火花放电作用)。,三、电化学加工分类,17,3.2 电化学加工设备,18,一、电化学加工设备的组成电化学加工的设备主要包括三大部分。,1.机床2.电源3.工具、工件及电化学加工液循环系统,一、电化学加工设备的组成,19,机床电解加工机床的作用是安装夹具、工件和阴极，并实现其相对运动。要求机床有足够的刚性，以保证进给系统的稳定性，有较宽的调速范围，以适应多品种加工；配置汇流排和导液系统，以实现供电和供液；好的防腐安全措施，足够的抗干扰能力。电源与机床配套，提供合适的额定电压和电流，足够的稳压精度和抗干扰能力。电解液系统作为导电介质，参加电化学反应，起到排除反应产物和冷却工件的
8、作用。,二、电化学加工机床,20,10000A卧式电解加工机床（昆仑机械厂）,二、电化学加工机床,21,电化学加工机床,22,日本三菱5kA立式电解加工机床,三、工具、工件和工作液,23,1阴极工具 其形状尺寸精度直接影响到工件的加工精度，同样，工具的表面租糙度对加工后工件的表面粗糙度也有影响。对工具材料的要求 1）导电性好减小温升和热变形；2）力学性能好保证阴极的形状精度；3）耐烧蚀和可焊性；4）耐腐蚀。在电化学加工中，广泛使用的工具材料有铝、黄铜、青铜、紫铜、石墨、不锈钢、镍铜合金等。,1阴极工具,24,上述材料的工具容易加工成需要的形状，制造这些工具的方法一般采用冷锻和电镀成型。1）传统
9、方法设计，试验，修改；2）开发CAD/CAM应用软件，对复杂型面、型腔的零件发展数字化制造技术。,2阳极工件,25,工件的材料必须是良导体，其化学特性对材辑切除速率有影响。去除速度与工件材料的原子量成正比，与其原子价成反比。装夹工件的夹具由绝缘材料制成，环氧树脂或玻璃纤维是电化学加工理想的夹具材料。在某此场合，也可用便宙材料如有机玻璃和聚氯乙烯。这些材料具有良好的热稳定性和低湿性。,3电解液系统,26,电解液的主要组成有泵、电解液槽、过滤器、管道及阀等，如图所示。,4电解液,27,(1)对电解液的基本要求1)有足够的蚀除速度。即生产率高，要求电解质在溶液中有较强的溶解度和离解度，有很高的电导率
10、。2)有较高的加工精度和表面质量。电解液中的金属阳离子不应在阴极上产生放电反应而沉积到阴极工具上，以免改变工具的形状尺寸。3)阳极反应的最终产物品不溶性的化合物，这主要是便于处理，不会影响到阴极的工具尺寸。通常被加工工件的主要组成元素的氢氧化物大都难溶于中性的盐溶液。但在加工小孔时要求阳极的反应物是可溶性的。除此之外，还要求电解液具有：高的电导率：低的粘应和高的比热容，较好的化学稳定性；无腐蚀和毒性，价廉而容易得到。,4电解液,28,(2)三种常用的电解液 电解液可分为中性盐溶液、酸性溶液与碱性溶液三大类，表3-2为一些常用的电解液及其特性。,3.3电化学加工的基本规律,29,一、生产率及其影
11、响因素,4.3.3.1 基本概念生产率：单位时间内蚀除的金属量（g/min）法拉第电解定律：阳极金属去蚀量M与电荷量（Q=It)成正比理论蚀除量：M=KQ=KIt K-电化学当量 g/(Ah电流效率：实际蚀除量与理论蚀除量之比实际蚀除量 M:M=KQ=KIt,一、生产率及其影响因素,30,金属的电化学当量KM=KQ=KIt电流密度I成正比，但过高时火花放电，10100A/cm3电极间隙（双曲线关系 va=C/）,二、精度成型规律,31,蚀除速度与加工间隙有关。实际电化学加工中，进给速度会影响到加工间隙的大小，同样影响工件尺寸和成型精度。,图4-18中，设电解加工开始的起始间隙为,则此时的蚀除速
12、度,设阴极以恒定速度 向工件进给，则加工间隙逐渐减少，而蚀除速度相应增大。设工件足够厚，随着时间的推移，总会有工件的蚀除速度 与阴极的进给速度 相等。,1端面平衡间隙,1.端面平衡间隙,2.法向平衡间隙,b,3.侧面间隙,4.平衡间隙理论的应用,计算加工中的各种电极间隙，如端面、斜面、侧面的间隙；设计电极时计算阴极尺寸及修正量；分析加工精度；选择加工参数，如电极间隙、电源电压、进给速度等。,三、表面质量,37,包括表面粗糙度和表面的物理化学性质改变两方面。（1）工件材料的合金成分、金相组织及热处理状态；（2）工艺参数，如电流密度、电解液的流速与温度等；（3）阴极的表面质量，如条纹、刻痕都会复印
13、到工件上去。,3.4提高电化学加工精度的途径,38,目前生产中提高电化学加工精度的主要途径有：1脉冲电流加工1）消除加工间隙内电解液电导率的不均匀。采用脉冲电流加工可在两个脉冲间隔时间内，通过电解液的流动与冲刷，使间隙内电解液的电导率分布均匀。2）脉冲电流加工使阴极在电化学反应中析出的氢气是断续的，呈脉冲状。它可以对电解液起搅拌作用，有利于电解产物的去除，提高电解加工精度。,2小间隙电解加工,采用小间隙加工，对提高加工精度、生产率是有利的。但对液流阻力增大，电流密度大，使电解液温升快、压力高，还易发生短路。,除了前面已提到的采用钝化性电解液，如NaNO3、NaClO3等外，正进一步研究采用复合
14、电解液，主要是在氯化钠电解液中添加其它成分，既保持NaCl电解液的高效率,又提高了加工精度。采用低浓度电解液，加工精度可显著提高。,3改进电解液,（1）混气电解加工原理及优缺点 混气电解加工就是将一定压力的气体（主要是压缩空气或二氧化碳、氮气等）用混气装置使它与电解液混合在一起，使电解液成为包含无效气泡的气液混合物，然后送入加工区进行电解加工。,4混气电解加工,电解液中混入气体后，将会起到下述作用：1）增加了电解液的电阻率，减少杂散腐蚀，使电解液向非线性方面转化。2）降低电解液的密度和粘度，增加流速，均匀流场。,4混气电解加工,混气电解液的主要缺点是，由于其电流密度的下降，使生产率比不混气下降
15、了1/31/2，这适用于小功率电源加工大工件。,4混气电解加工,3.5电化学加工的应用,44,电化学加工在现代加工方法中是发展最快的一种。它在通用性方面的潜力最大，目前电化学加工大致分为如下几种形式：,电化学加工,电极进给式加工电极静置式加工,二锥形状：打孔、套孔、切断三维形状：型腔加工、成形加工,二维及三维形状，去毛刺、加工空刀、加工凸起,3.5电化学加工的应用,45,1.深孔扩孔加工2.型孔加工3.型腔加工4.套料加工5.叶片加工6.电解倒棱去毛刺7.电解刻字8.电解抛光9.数控展成电解加工,一、深孔扩孔加工,46,深孔扩孔加工按阴极的运动形式，可分为固定式和移动式两种。,固定式即工件和阴
16、极之间无相对运功，其优点是：设备简单，操作方便，加工效率高。但阴极较工件长，所需电源功率较大，同时电解液在进出口处的温度、电解产物不同，容易引起粗糙度和尺寸精度不均匀现象。,47,电解加工弹膛抛壳槽剖视,抛壳槽阴极,固定式,一、深孔扩孔加工,48,移动式加工通常是将零件固定在机床上，阴极在零件内扎作袖向移动。移动式的阴极较短，精度要求较低，制造容易，可加工任意长度的零件而不受电源功率的限制。但它需要有效长度大于工件长度的机床，同时加工中加工面积的不断变化，故出现收口和喇叭口，需采用自动控制。,49,移动式,变截面深孔电解加工组合阴极,二、型孔加工,用于形状复杂、尺寸较小的异形通孔和育孔的零件加
17、工。型孔的加工一般采用端面进给法，为避免锥度，阴极侧面要绝缘。,用于尺寸较大、形状复杂的型腔加工，生产率高，表面质量好，但加工精度不太高。多用于锻模型腔加工，精度控制在0.10.2mm。也采用端面进给法。,阴极设计制造是关键。用成型精度高的电解液或混气加工时，阴极设计较易。为使流场均匀，阴极对应处加开增液孔。,近年发展用简单形状电极的数控电解加工，柔性好，减少准备时间，电源容量小，但加工速度降低。,三、型腔加工,52,毫米坦克炮的膛线,用于等截面的大面积异型孔或异型零件的加工，端面进给加工方式。,零件尺寸精度由阴极片内腔口保证，偶尔短路烧伤时，只需更换阴极片。,四、套料加工,叶片型面复杂，精度
18、要求较高，加工批量大，电解加工效果好。加工方式有单面加工和双面加工。机床有立式和卧式两种。多用NaCl电解液混气加工。,电解加工整体叶轮已普遍应用，直接在轮坯上套料加工叶片（等截面），叶轮强度高，质量好，加工周期大大缩短。,五、叶片加工,机加工中去毛刺工作量很大，电解去毛刺效率高，节省费用。加工原理是尖角处电流密度最高。去毛刺时间与加工电压、加工间隙及电解液参数有关。,六、电解倒棱去毛刺,电解刻字,3.6 电化学磨削,一、加工原理电解磨削是电解加工的一种特殊形式，是电解与机械的复合加工方法。它是靠金属的溶解(占95%98%)和机械磨削(占2%5%)的综合作用来实现加工的。电化学磨削加工因工件的
19、形状、加工精度及加工批量的大小而不同，根据磨轮的种类和电流的供给方式，其工作原理可分为三种方式：,电解磨削-电解加工之一.mp4,1电化学与机械联合作用,用金属结合剂粘结或用电化学沉积金刚石磨轮及导电磨轮。,加工原理如所示。加工过程中，磨轮(砂轮)不断旋转，磨轮上凸出的砂粒与工件接触，形成磨轮与工件间的电解间隙。电解液不断供给，磨轮在旋转中，将工件表面由电化学反应生成的钝化膜除去，继续进行电化学反应，如此反复不断，直到加工完毕。,1电化学与机械联合作用,2.机械磨削方法,经过上述的粗加工、半精加工后，切断电解电源，只用机械磨削方法进行加工，达到提高加工精度的目的。这种方法主要是利用电化学磨削高
20、效率的优点，达到加工余量之后停止电化学加工，不必更换磨轮就能进行精密磨削。采用成型石墨磨轮并与工件处于完全非接触状态进行电化学成型磨削。,电解磨削加工特点（与磨削相比）,优点：加工范围广，加工效率高可提高加工精度及表面质量砂轮磨损量小缺点：刃口不易锋利机床、夹具等需要防锈处理需要吸、排气装置需要直流电源、电解液过滤、循环系统等附属设备,二、电化学磨削加工速度、精度及表面质量,1影响电化学磨削加工速度的因素,生产率=KIA(or=iA)K-质量电化学当量 g/(Ah)-体积电化学当量 mm3/(Ah)I-电流密度 A-导电面积,电化学当量K电流密度I磨轮（阴极）与工件间的导电面积A磨削压力压力越
21、大，工作台走刀速度越快，阳极金属被活化的程度越高，生产率也越高。,2.影响电化学磨削加工精度的因素,电解液影响阳极表面钝化膜的性质，钝化膜结构疏松，对工件表面的保护能力差，加工精度就低阴极导电面积和磨粒轨迹阴阳极上各点的相对速度和轨迹不等，砂轮边缘线速度高，进给方向两侧轨迹重复程度较大，磨削量多，磨出的工件成中凸的“鱼背”状。工件材料性质合金成分复杂的材料，不同元素的溶解速度不同机械因素机床成形运动精度、夹具精度、磨轮精度等,3.影响电化学磨削加工表面质量的因素,电参数工作电压、电流密度电解液选用钝化或半钝化电解液工件材料性质机械因素磨料粒度越细越能均匀地去除凸起部分的钝化膜，并使加工间隙减小
22、，表面质量好。但过细容易引起火花而降低质量。,三、电化学磨削的应用,用于磨削一些高硬度的零件，如各种硬质合金刀具、量具拉丝模具、轧辊等。对于普通磨削很难加工的小孔、深孔、薄壁套筒、细长杆零件等，电化学磨削也能显示出优越性。对于复杂型面的零件，也可采用电化学研磨和电化学珩磨，电化学磨削加工的应用范围正日益扩大。1硬质合金刀具的电解磨削2硬质合金轧辊的电解磨削,3电化学珩磨,用镶嵌在珩(hng)磨头上的油石对工件表面施加一定压力，珩磨工具或工件同时作相对旋转和轴向直线往复运动，切除工件上极小余量的精加工方法。（无磨料颗粒）,4电化学研磨,研磨利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒，通过研具与工件在一定压
23、力下的相对运动对加工表面进行的精整加工（如切削加工）。研磨可用于加工各种金属和非金属材料，加工的表面形状有平面，内、外圆柱面和圆锥面，凸、凹球面，螺纹，齿面及其他型面。加工精度可达IT501，表面粗糙度可达Ra0.630.01微米。,3.7电铸和涂镀加工,电铸和涂镀加工在原理和本质上都是属于电镀工艺的范畴，都和电解相反，利用电镀液中的金属正离子在电场的作用下，镀覆沉积到阴极上去(增材加工)的过程。主要包括电镀、电铸及电涂镀三类。它们之间有明显的不同之处：,电铸和电刷镀8分02.mp4,1电铸加工的原理、特点和应用范围电铸原理如图4-49所示，在直流电源的作用下，金属盐溶液中的金属离子在阴极获得
24、电子而沉积在阴极母模的表面。阳极的金属原子失去电子而成为正离子，源源不断地补充到电铸液中，使溶液中的金属离子浓度保持基本不变。当母模上的电铸层达到所需的厚度时取出，将电铸层与型芯分离，即可获得型面与型芯凹、凸相反的电铸模具型腔零件的成型表面。,一、电铸加工,1电铸槽；2阳极；3电源；4沉积层；5原模；6搅拌器；7电铸液；8过滤器；9泵；10加热器,电铸槽,电铸槽,电铸加工的特点,复制精度高。能准确、精密地复制复杂型面和细微纹路。能获得尺寸精度高、表面粗糙度优于Ra0.1m的复制品，同一原模生产的电铸件一致性好。借助石膏、石蜡、环氧树脂等作为原模材料，可把复杂零件的内表面复制为外表面，外表面复制
25、为内表面，然后再电铸复制，适应性广泛。电铸时，金属沉积速度缓慢，制造周期长。电铸层厚度不易均匀，且厚度较薄，仅为48 mm左右。有时存在一定的原模制造和脱模困难。,电铸加工的应用,复制精细的表面轮廓花纹，如唱片模，工艺美术品模、纸币、证券、邮票的印刷板。复制注塑用的模具、电火花型腔加工用的电极工具。制造复杂、高精度的空心零件和薄壁零件如波导管等。制企表画粗糙度标照样块，反光镜，表盘、异形孔喷噶等特殊零件。,3电铸设备,3电铸加工的工艺过程,电铸加工的工艺流程（1）,电铸加工的工艺流程（2）,原模类型快速成型石膏、石蜡环氧树脂硅胶模导电化处理导电胶化学镀真空镀膜、离子镀,电铸加工的工艺流程（3）
26、,背衬处理浇铸铝合金浇铸低熔点合金环氧树脂硅胶模脱模处理机械敲击法热胀冷缩法溶解、熔解法,电铸加工的应用（1）,制作各种网罩,制作各种低刚度件,电铸加工的应用（2）,各种微型图案,电铸加工的应用（3）,光盘模具,【加工例：鍍金 t0.6200400】微細形状電鋳金型加工例,二、涂镀加工,工作原理：镀液中金属正离子在电场作用下在阴极表面获得电子而还原沉积到工件（阴极）上。厚度：0.0010.5mm,涂镀的特点,特点：设备简单、操作方便 可镀多种金属 镀层结合力强 人工操作，效率低,涂镀的应用,应用 磨损表面修复 填补零件表面各种缺陷局部防腐处理,涂镀的基本设备,电源镀笔镀液泵回转台,涂镀的工艺过
27、程,表面预处理除油、除锈电净处理活化处理镀底层镀尺寸镀层和工作镀层镀后清洗,复合镀原理与应用,复合镀原理：电镀+微小颗粒的沉积,复合镀原理与应用,复合镀工艺的应用 获得耐磨层 制造切削工具,获得耐磨层,复合镀层（Ni-SiC）,获得耐磨层,复合镀层（Ni-PTFE）齿轮,制造切削工具,各种精密金刚石砂轮的制作,3.8 电化学抛光,图,图,图中阳极金属表面上凸出部分在电解过程中的溶解速率大于凹陷部分的溶解速率，经一段时间的电解可使表面达到平滑而有光泽的要求。此过程如图所示。,电化学抛光,以钢铁制件为例。电化学抛光时，工件作为阳极，不锈钢板作为阴极，故在含有磷酸、硫酸的电解液中进行电解，阳极(工件
28、)铁溶解,Fe-3e-Fe3+,Fe3+进一步与溶液中的磷酸氢根和硫酸根离子形成Fe2(HPO4)3和Fe2(SO4)3.随着阳极附近盐的浓度不断增加,在金属表面形成一黏性薄膜,从而使电解液浓度增大,导电性降低.由于在金属不平表面上的液膜厚度分布不均匀，凹入的部分膜较厚，因而电流密度小，Fe不易溶解而呈钝化状态；凸起的部分膜较薄，电流密度较大，Fe易于溶解而呈活化状态。这样凸起部分比凹入部分溶解要快，于是粗糙表面逐渐得以平整。在阴极，主要是H+2H+十2e-H2(g),抛光与加工的主要区别,（1）工件和工具之间的加工间隙大，有利于表面的均匀溶解（2）电流密度小（3）电解液一般不流动 设备比较简
29、单，包括直流电源，清洗槽和电解抛光槽，不需要昂贵的电解液循环、过滤系统，阴极结构也简单。,电化学抛光特点,抛光效率高，在通常情况下，利用电解抛光要比手工抛光效率高10倍以上。一致性强,抛光均匀性好，工件边角处均能有效的抛光。表面质量好，电解抛光的表面粗糙度细化程度较高，比用电火花成型加工的型腔的表面粗糙度要提高一个等级。不受材料硬度影响，电解抛光是采用电化腐蚀原理抛光的，与材料硬度无关。,电化学抛光特点,电解抛光优点：效率高 抛光后工件表面形成致密的氧化膜 不产生加工变质层 不造成新的表面残余应力，不受材料硬度和强度的限制,影响电化学抛光质量的因素,（1）电解液的成分、比例（2）电参数 阳极电
30、位和阳极电流密度（3）电解液温度及其搅拌情况（4）金属的金相组织与原始表面状态,电化学抛光工艺选择,1、材料：SUS304或SUS316为奥氏体不锈钢。2、工件抛光前表面状况：焊接联体件,机加工件,表面含有较多轻度的划伤，一致性很差，防腐蚀能力差。3、抛光后内外观差别：没有黑色氧化皮，并使表面带亮光色质，一致性较好，防腐蚀能力加强。4、工件使用场所级别：食品及制药级甚至更高级别场所。5、工件抛光后使用级别：可以直接使用在任何腐蚀性行业,防腐等级为盐雾实验96小时(实验执行标准：ASTM-B117),图片展示-部分设备,纯水设备,超声波清洗,千分尺,生产线,生产线,图片展示-部分产品,3.9电化
31、学辅助在线削锐磨削,使用ELID磨削，冷却液为一种特殊电解液。通电后，砂轮结合剂发生氧化，氧化层阻止电解进一步进行。在切削力作用下，氧化层脱落，露出了新的锋利磨粒。由于电解修锐连续进行，砂轮在整个磨削过程保持同一锋利状态，进而保证加工精度的要求。,一、电化学式在线削锐磨削原理,(Electrolytic In-process Dressing,ELID)在线电解修整,二、电化学式在线削锐磨削加工设备,二、电化学式在线削锐磨削加工设备,二、电化学式在线削锐磨削加工设备,三、电化学辅助在线削锐磨削加工原理,3.10微精电化学加工,以钢铁,一、微精电化学加工的理论基础,以钢铁,二、微精电化学加工方法,以钢铁,三、微精电化学加工的发展前景,目前微精电解加工还处于研究和试验阶段，其应用还局限于一些特殊的场合，如电子工业中微小零件的电化学蚀刻加工(美国IBM公司)、微米级浅槽加工(荷兰飞利浦公司)、微型轴电解抛光(日本东京大学)已取得了很好的加工效果，精度已可达微米级。微细直写加工、微细群缝加工及微孔电液束加工，以及电解与超声、电火花、机械等方式结合形成的复合微精工艺已显示出良好的应用前景。,
