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1、亚纳科技（深圳）有限公司蒸镀机的运用与流程,evaporation的运做可分为10大类,一.蒸镀原理,二.运用产业,三.真空定义,五.机械的运用,六.電腦操作,四.結構系统,十.注意事项,九.机台保养,八.异常与处理,七.運作流程,一.真空蒸镀原理,蒸镀 是指将蒸镀源（镀层的材料來源）加热蒸发直接凝结于工件表面而形成镀层。1)应用 金属與元素半导体的镀膜 合金的蒸镀砷化镓，娣化銦等化合物的蒸镀 2)蒸发 金属蒸发或氣化的方法很多，包括利用热电阻，輻射，感应，电子束，电弧等方式加热。蒸镀时，基材則属于基能。,蒸镀试图如下：,二.蒸镀所运用产业,光学眼镜,车载导行,电脑,手机,三.真空定义,一个容
2、器内空间的压力小于大气压就是真空,也可以说若容器内气体分子密度小于2.5*10Torr/CM3(一大气压分子的密度)侧该容器内为真空,简单的表示为:压力大气压力;真空度代表真空系统中压力的程度,一般分为:,粗略真空:760-1Torr,超高真空:107-1010,极高真空:1010 Torr以上,高真空:103-107 Torr,中度真空:1-103 Torr,自然真空,人造真空,四.結構系统,五.机械的运用与原理,1.RP(回转帮浦）原理：油封式真空帮浦是以油体当做活塞，叶轮转动时，油体被抛向外围形成移动的油封环，油封环内部中空，因为叶轮相对於机体是偏心运转，因此叶轮转动时，在吸入口位置逐渐
3、离开油封环，两叶片间空间逐渐增大而吸入气体，当页轮转到排气口位置时，再度进入油封环，两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体并由排气口排出，如此周而复始。注（RP与BP组合运用，可将抽气范围延伸至中真空）压力范围：760-103 Torr 抽气速度：50-3000/M,组合运用,机械的运用与原理,2.BP（鲁氏帮浦）原理：油封式真空帮浦是以油体当做活塞，叶轮转动时，油体被抛向外围形成移动的油封环，油封环内部中空，因为叶轮相对於机体是偏心运转，因此叶轮转动时，在吸入口位置逐渐离开油封环，两叶片间空间逐渐增大而吸入气体，当页轮转到排气口位置时，再度进入油封环，两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体并由排气口排出，如
4、此周而复始。压力范围：50104 Torr 抽气速度：200100.000K1/H,机械的运用与原理,3.DP(扩散帮浦)原理:当扩散帮浦油锅中的真空油被加热到沸腾温度时,便产生大量的油蒸气,油蒸气经导管由喷嘴高速喷出,被抽分子一旦落入射流范围,便可以从射流中获得向出口方向运动的动量,射流在在往下运动过程中,有冷却水冷却,油分子就被冷凝下来,沿泵壁流回泵的底部,继续循环使用;压力范围:103-1010 Torr 抽气速度:10/sec-100.000/sec,七.电脑操作（抽气画面）,电脑操作（流程画面）,1.粗抽灯亮，表示粗抽流程已完成,且主画面“细抽灯亮 起,表示细抽流程正在运行，Poly
5、cold冷却自动启动2.当桶身真空度达到电子枪真空度时，电子枪面板“VAC灯3.电子枪高压被启动,开始蒸镀4.当蒸镀完成后,根据电脑之设定参数,进行泄气流程5.泄气灯亮起,ROTA OFF6.HV OFF系统画面“HV”灯熄,待阀门关闭定位后,坩面 面polycold除霜自动开启7.除霜完成后,执行桶身泄气动作,运转准备完成,粗抽,细抽,蒸镀准备完成,蒸镀,泄气,开机,电脑操作（泄气画面）,六.evaporation运做流程,evaporation运做流程,八.异常与处理,九.保养事项,十.注意事项,注意事项：1.开机前，确认所以电源是否接好,开启 2.检查（DP）进水，回水压力是否正常（4-
6、6KG)回水阀有无全开 3.开启（DP）时需要预热30分钟,温度需要达到210,才可以进行抽气 4.检查PD RP 油位是否正常,有无变质 5.早晚班交接班時須小清機，全面更換艙內的鋁箔紙,清潔電子鎗坩鍋 6.電鍍每周需大清機一次(噴砂高壓水槍沖洗乾燥酒精擦拭),结 论,蒸镀优点：1.能在金属、半导体、绝缘体表、金属、半导体、绝缘体、不同成分 比的合金，化合物及氮化物等薄膜，其适用范围之广是其它方法无法 与之比似的 2.可以设定不同的沉积速率,不同的基板温度和不同的蒸气分子蒸镀成 膜,因而可得到不同的显微结构和结晶形态（单晶，多晶或非晶等）的薄膜 3.薄膜的纯度很高,易与在线检测和控制膜厚与成分,膜厚控制精度 最高可达分子层级 4.排出污染物很少,且基本上没有,谢谢观赏！杨 敏 2009/12/23,
