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1、项目五 厂房洁净室的运行管理,汤春荣 暖通09-321,一、洁净室的管理及定期检查,（一）管理的意义 实践已经证明，洁净室能否发挥预期的作用和为各类产品生产提供一个预想的生产环境，与洁净室的正确设计、精心施工和严格的维护管理密切相关。一个建好的洁净室，如果设计是正确的、合理的，施工建造是高质量的，但运行中的维护管理不科学、不严格，必将使该洁净室的空气洁净度等级逐渐下降，生产环境不能满足产品生产的要求，从而使产品质量下降、成品率下降，甚至不可能制造出合格的产品。,（一）管理的意义 所谓洁净室的维护管理应包括洁净室内的人员及生产工艺设备、工器具的管理，空气、水、气体、化学品的设备及输送过程的管理，
2、洁净室的清扫灭菌等。许多工程实例证明，洁净室不仅要建好，而且更应该管理好、用好，要增强洁净意识，建立健全洁净室维护管理的规章制度，自觉地做好洁净室的管理工作。加强洁净室的运行管理，对于洁净厂房的安全、稳定运转也是十分重要的。洁净厂房的安全管理工作比一般生产厂房更为重要，这是因为洁净室的密闭性好、平面布置曲折，洁净室内设施、装修要求严格，建造费用高，洁净室内通常设置有贵重设备、仪器等，一旦发生安全事故，损失巨大。另外，某些洁净厂房内的产品生产过程中需要使用一定数量的可燃气体、溶剂、化学品，有的还需使用有毒的气体、液体等，这样便容易引发安全事故。据调查资料表明，洁净厂房的安全事故时有发生，其原因是
3、多方面的，,（一）管理的意义 其中由于生产工艺设备或生产环境控制设备的操作引发的安全事故占总数的57%，所以加强洁净厂房内的各类设备及其相关设施的维护管理，对确保洁净室的安全、稳定运行十分重要。综上所述，加强洁净厂房运行中的维护管理，不仅能确保洁净室内的空气洁净度等级，提高产品质量，而且还能保证安全生产。洁净厂房的建造费用昂贵，大多洁净室内生产高新技术产品，产品价值高，有的还是过敏经济的重要产品。因此，洁净厂房一旦因维护管理不善，致使空气洁净度等级下降或出现安全事故，其经济损失巨大，甚至造成严重的社会影响。,（二）管理的原则,为了保持洁净室内的空气洁净度，必须建立一套科学的维护管理规定，对于具
4、体的某一洁净室在制定维护管理规定时，必须按自身的特点和具体的构造、空气洁净度等级、生产工艺要求以及配置的系统、设备情况确定，但是都应该以防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖和安全生产为宗旨，通用的洁净室维护管理的原则大体如下：（1）进入洁净室的管理：包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不将微粒、微生物带入洁净室。（2）操作管理技术：对洁净室内人员洁净工作服得制作、穿着和清洗，操作人员的移动和动作，室内设备及装修材料的选择和清扫、灭菌等，尽可能的减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。,（二）管理的原则（3）严格各类设备、设施
5、的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括洁净空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具等，以确保产品生产工艺要求和空气洁净等级。（4）清扫、灭菌管理：对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭菌以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、消除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。,（三）洁净室维护管理内容,（1）人员管理，包括制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度。（2）洁净服的管理，包括洁净服采购和制作（含材料选择）、洁净服使用管理、洁净服的清洗规定。（3）物流管理，包括进入洁净室的物料准入制度
6、，物料的清洗和清扫规定，“物净程序”管理、废弃物管理制度。（4）洁净室内设备及工器具管理，包括设备及工器具的搬入管理，清扫和清洁规定，设备及工器具的退出管理等。（5）洁净室用洁净空调系统及设备的维护管理，制定相应的操作规程、维修制度等，包括洁净空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，例如，空气过滤器、空调机、局部洁净设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等。,（三）洁净室维护管理内容（6）洁净室的清洁、清扫和灭菌管理，包括清扫、情节和灭菌规定，清扫和情节设备管理，清洗和灭菌设施管理等。（7）洁净室安全管理、包括安全报警方面的管理制度，洁净室安全管理制度。,（四）
7、洁净室定期检查的项目 洁净室在设计建造、竣工验收后应进行综合性能测定、评价。为了监控洁净室在使用过程中的正常运行和维护，应对洁净室的运行状况及相关设施进行定期检查，一般定期检查的项目如下表：,二、人员管理,（一）人员与室内空气污染 洁净室内的尘源，主要来自生产工艺设备运转中发尘，产品和材料运送过程中发尘，洁净室内建筑没表面等的发尘和人员产尘。来自生产设备运转中的尘粒有的通过局部排风装置排除；按洁净室的额管理规定，材料和产品均应进行清洁，在运送过程中的发尘量与人体发尘量相比是很少的；洁净室内表面只要严格按规定进行清扫，其发尘量也可以控制到很少。,（一）人员与室内空气污染 洁净室的尘源主要来自操作
8、人员的发尘，即使按规定对洁净室人员“人净程序”进行了人身清洁，洁净室内人员产尘仍是主要污染源。在洁净生产环境内，工作人员的发尘量多少与其穿着的洁净服种类、形式和洁净服的材质类型有关，与工作人员在洁净室内的活动、动作的幅度等因素有关。洁净室内工作人员所散发的尘粒，也有来自口腔等产生的微粒，。进入洁净室人员涂抹化妆品也是不适宜的，因其散到洁净室的环境空气中，对产品质量造成很坏的影响,（二）洁净室专职管理人员及职责,洁净厂房的规模和工厂的组织机构设置情况，确定设置洁净室专职管理人员或管理机构，负责进行洁净室及相关设施的管理。洁净室管理人员宜少而精，并在洁净室投入运行前久必须确定和制定出洁净室的各项管
9、理制度。洁净室专职管理人员应熟悉洁净室内设备和相关设施、洁净室构造、保持空气洁净度等级的技术措施、洁净室检测技术、确保产品质量的相关洁净技术措施等；善于管理维护洁净室及其相关设施（含安全报警设施等），具有处理安全事故的能力；必须具有生产环境技术方面的广泛知识，丰富的管理资历、经验和认真负责的公共精神等。洁净室专职管理人员的主要职责和要求如下：,（二）洁净室专职管理人员及职责（1）产品质量管理应熟知洁净室内生产产品用途、生产工艺特点；为确保产品质量与企业技术负责人共同确定对洁净厂房内各生产工序或房间的空气洁净度等级、受控生产环境的各要求，如温度、相对湿度、压差和产品生产所需水、电、气的供应品质等
10、；洁净室内产品生产所需原材料和排出的废水、废气以及固体废弃物的数量、性能特点等；（2）洁净室管理熟知本企业洁净室的构造、洁净空调系统的技术性能和保持空气洁净度等级的技术措施；熟知本企业洁净室产品生产环境所需水、电、气等供应系统技术性能，以及确保水、电、气等品质的技术措施；熟知并掌握洁净厂房的各项检查方法，并确定检测评价要求和时间；熟知洁净室清扫、清洗和消毒方法，确定清扫、清洗、消毒时间和检查的要求；决定洁净室及其相关技术设施的运行或停止，并定期检查运行日志及相关记录；当洁净室发生故障或出现安全隐患时，决定采取有效处理措施，并发布相关命令直至停止运行。,（三）洁净室人员数量和出入管理,（1）严格
11、控制进入洁净室的人员数量，由洁净室专职管理人员、企业负责人共同确定洁净室的操作人员数量，一经商定必须严格控制；严格控制临时进入洁净室的维护、检测人员和其他人员（2）下列人员不准进入洁净室：皮肤有晒焦、剥离、外伤和炎症、瘙痒症者；鼻子排出物过多者；感冒、咳嗽、冻伤、湿疹等疾病患者；过多掉头皮头发者，有搓皮肤、挖鼻孔、搔头等不良习惯者；没有按规定洗去化妆品、指甲油和未穿洁净工作服者，没有及时刮须、剪指甲者。,（三）洁净室人员数量和出入管理（3）对洁净室工作人员应按规定进行定期考核、培训；对临时进入人员应进行监督、记录。（4）进入洁净室的工作人员不准带入下列物品：未按规定进行洁净处理的各类材料、设备
12、和仪器等物件；纸（包括硬纸和记录用纸）和笔（包括铅笔、钢笔、墨水以及橡皮等）工作人员的各种个人物品，如手表、化妆品、手纸、钱包、钥匙、装饰品、食品、香烟、打火机、火柴等；（5）洁净室人员须知：进入洁净室的人员应严格执行人身洁净制度、线路和程序，在洁净室内必须按规定着装、带帽、换鞋；作业人员在洁净室内工作时，动作要轻，严格执行操作规程，不允许跑跳，打闹，不做易发尘和大幅度的动作；,（三）洁净室人员数量和出入管理为不干扰气流，在作业区上游侧不应放物品，生产操作一般应在洁净工作台或气流的上游进行；不允许将与生产无关和易产尘的物品带入洁净室；严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动；在生物洁净室，特
13、别是生物安全实验室的工作人员，操作完成后，首先脱去防护衣，然后立即洗手、淋浴、洗脸刷牙等，再做其他事。（6）为了保持洁净室的空调洁净度，应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物，所有进入洁净室的人员必须严格按规定程序进行人身洁净个人衣服物品全部放到指定的柜子里，换上指定的服装。在脱衣室内必须按空气洁净度等级所对应的脱衣顺序脱衣，放到规定的衣柜内；进入脱衣室前将拖鞋、帆布鞋脱下放在鞋柜内；,（三）洁净室人员数量和出入管理在盥洗室用洗手器洗手。洗手器供给与洁净区的空气洁净度等级相适应的洁净洗涤剂和洁净水。洗手器阀门的开关宜采用脚踏式，先用洁净洗涤剂洗涤，再用洁净水清洗。西斯后用自动烘干器烘干。手是交叉
14、污染的媒介，要经常洗涤。不要用手触及高洁净产品和高洁净包装材料等，要按规定戴手套和指套。人员进入洁净室首先由个人洁净工作服专用柜或收纳处取出洁净工作服。穿鞋套时要把裤腿下摆紧紧裹在鞋套内设有吹淋室时，按规定进行吹淋后再进洁净室（7）洁净室人员退出时应注意的事项：在更衣区之前不得脱掉洁净工作服，进入更衣室先脱洁净室用鞋，放在规定的场所。必要时脱鞋前洗手，脱鞋后再摘掉帽子，放在规定处。,（三）洁净室人员数量和出入管理脱洁净工作服时不要触及地板、桌子和其他物品，一般由下至上脱，用衣架挂在规定的场所。脱去洁净工作服后，若需再进洁净室时，仍需按进入洁净室的顺序进行。退出洁净室时，不需要空气吹淋。不能穿洁
15、净工作服上厕所，上厕所按上面出入洁净室的注意事项处理。（8）对进入洁净室人员情况的登记：进入洁净室的人员要限制在最少数量，5级（100级）和要求更严的洁净室人员密度不大于0.1，要求差于5级的洁净室，人员密度不大于0.25为好对上、下午进入洁净室的人数、时间要分别登记。对正式工作人员以外的人员进入洁净室的数量和时间进行登记。,（四）洁净室的卫生管理,1、洗手和消毒 作业人员进入洁净室前均需洗手；对药品生产的作业人员，在进入洁净室前还需消毒处理（1）洗手和下毒设备一般有下列几项：冲洗设备和排水槽洗涤剂筒指甲刷子装有消毒液的洗脸盆（2）消毒液一般使用下列溶液：双氯苯类（酚醛、甲酚肥皂水）氯化苯,（
16、四）洁净室的卫生管理（3）洗手和消毒一般安息恶劣步骤进行：用洗涤剂洗掉手上的污物；轻轻地冲洗手上的洗涤剂；把手放到消毒液内约10s，然后自然干燥。2、日常应注意的事项：（1）宜每天冲澡、换衣，经常洗头，保持身体清洁。（2）男子尽量每日刮胡须（3）经常洗手、剪指甲，洗手后擦洁净室用润肤膏，以防皮肤干裂（4）不接触易使手皮肤干裂、剥夺的粉类或溶剂（5）在洁净室内动作要轻（6）在洁净室内不要拖足行走，不要振臂、转动，不做不必要的动作或走动（7）在洁净室内要按要求戴手套，不要露出手腕，不要触及不洁净的东西，手套要经常换,（五）对进入洁净室人员的培训教育,（1）对洁净室工作人员特别是技术人员进行培训教育
17、，应掌握的内容如下：所在洁净室的特点、构造及其相关技术性能和各工序的空气洁净度等级要求；洁净技术的一半知识，如尘粒、菌类的产生、滞留及危害性人员洁净程序和物料洁净路线及要求；洁净室的尘源、尘粒或菌类与产品质量的关系，尘类或菌类的控制以及空气洁净度等级的测试方法、仪器和评价方法的知识；洁净工作服的使用、清洗要求；洁净设备、系统的使用规程，故障排除方法；洁净室的清扫、清洗和消毒的方法和规定；洁净室人员的卫生保健要求和规定,（五）对进入洁净室人员的培训教育洁净室的安全设施及安全管理规定；其他相关规定、规程。（2）对洁净室人员进行训练的内容，一半有下列各项：按规定的方法练习脱去个人服装并保管起来；按规
18、定的方法练习穿洁净工作服；按规定的方法练习洗手、烘干，使用洁净室专用纸巾；做不妥足行走的练习；做带进洁净室器材、物品的情节洁净练习；练习使用洁净室的消防器材；做从洁净室内紧急疏散的练习。,三、洁净室的清扫,洁净室的一般清扫必须在生产工艺操作结束后进行，若有必要在生产前清扫，则工艺生产必须在洁净空调系统开机运行时间达到自净要求后方可开始运行。为了防止交叉污染，清扫洁净厂房设施的工具均应按产品特点、工序要求、空气洁净度等级的不同分别专用。洁净室的清扫工具那一半采用集中固定式或便携式移动真空清扫设备，以确保在定期清扫时能去除微粒污染，也能有效、适时的清楚某些不适合在洁净室外进行工作所带来的污染。当设
19、置集中固定式真空清扫系统时，其排风机应安装在洁净室外；洁净室内的连接插座在不使用时应严密封盖，以免危及洁净室内的压差或气流形式。当设置便携式真空清扫设备时，应配置有排风过滤器，其过滤应至少与所在洁净环境的等级相同，还应注意在使用时对洁净室内气流的影响,三、洁净室的清扫 若洁净室不具备上述清扫条件时，也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布等进行擦拭，每天一次或一次以上。对于高级别的洁净室，应使用过滤后的水；有特殊要求的场所，也可采用符合要求的有机溶剂进行擦拭。当洁净室内产品生产要求不能进行擦拭时，应采用真空清扫设备进行清扫。一般对于小面积的洁净室宜采用移动式真空清扫机，而大面积或高级别的洁净室
20、宜采用集中或真空吸尘系统。集中吸尘系统的设置要求如下：（1）吸尘装置宜布置在靠近负荷的中心，并要考虑隔声和隔振措施（2）洁净室内吸尘口位置和数量，要根据软管作用半径确定，使洁净室内各处都得到清扫,三、洁净室的清扫（3）集尘器要设置在真空泵的吸入端，集尘器可采用布袋除尘器等。（4）吸尘系统的管道材料要选用耐磨，气密性好、有一定强度的材质，如无缝钢管或硬塑料管。管道弯头的曲率半径为管道直径的46倍，夹角一般为30，最大不超过45。水平管道要有一定的坡度，坡向立管或集尘器。,四、设备管理,（一）洁净室设备管理的内容 1、生产工艺设备的防污染处理 在洁净室产品生产过程中，生产设备的尘粒污染是不可忽视的
21、。据资料介绍，在大规模集成电路生产过程中，生产设备的发尘量占总微粒污染量的30%左右，可见其影响之大。污染的类型，除了影响制作微尘污染外，还有可使器件物性恶化的纳、钾等碱金属和铜、铁等重金属分子或分子级污染。所谓生产设备的污染，虽然有的是生产设备固有的污染，但是还有源于设备制作材料、生产过程的原辅材料，工器具使用不当和机械运动及其润滑剂等的各类污染。,（一）洁净室设备管理的内容 还有在产品生产过程中由于操作失误也会造成不应有污染。各种洁净室内产品生产的实践表明，加强洁净室内产品生产过程中生产工艺和设备的管理，是降低室内污染程度，提高产品质量的重要措施。要十分认真、细致的观察洁净室在生产过程中可
22、能发尘的情况，特别是运输装置、运动部件、机械手等可能成为污染源，还有各类泵、风机等的电动机内部轴承之间的摩擦的发尘情况，并针对这些污染源的情况制定相应的管理措施和必要的对策。,（一）洁净室设备管理的内容 2、洁净空调系统设备的管理 洁净空调系统时确保洁净室内空气洁净度等级的主要装置，对其管理包括各类空气过滤器、洁净工作台、层流罩、空气吹淋室、传递窗、空调装置等的正常维护、定期检查和规定的测试、论证等。在下列任一情况下，应更换高效过滤器的是：（1）气流速度降到了最低限度，即使跟换初效、中效过滤器后，气流速度仍不能增大；（2）高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.52倍；（3）高效空气过滤器专家学者
23、修补的渗漏。,（一）洁净室设备管理的内容3、动力公用设施的管理 这些设施是实现洁净室正常、安全运行的重要装置，对其管理包括水、电、气的供应 以及通信、安全报警装置等的日常维护、定期检查和规定的测试、论证。4、设备和人身安全方面的管理 按规定记录各类状态及有关参数，分析定期检查、维修、清洗状况，尤其注意定期检查转动部件、通信和安全报警装置以及自动装置等的完好状况和即时分析可能出现的各种问题，确保洁净室的正常、安全运行。5、定期检查、校正各类测试、测量仪器、仪表 若采用计算机管理、监控时，就定期检验、校正各类测试、测量仪器，确保测量、控制的准确，可靠。,（二）生产工艺设备和工器具的防污染管理措施,以大规模集成电路生产用洁净室为例，生产工艺和工器具的防污染管理措施较彻底的方法是实现生产过程自动化，不再采用手工操作方式运送硅片，不再用镊子进行硅片的装送，宜杜绝工、器具和人身带来的污染。同时，生产大规模集成电路随着硅圆片直径的不断增大，人工操作已不能适应工艺生产要求，所以全面实现自动化操作，已经不仅是改善生产环境空气洁净度的需要，而且与改善企业的经济利益密切相关。洁净厂房设计时，应根据建筑平面与空间、人员通行，操作、生产设备的移动，维护以及公用动力设施和管线等的实际情况，进行综合协调，选择不同的方式、不同的布置。,谢谢观看,
