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1、,LCD 培訓教材(一),圖案制作,LCD基本構造(其斷面如下圖),塗佈光阻劑Photoresist Coating,顯 影Developing,蝕 刻Etching,剝 膜Stripe,配向膜塗佈Polyimide Coating,灌 液LC Injection,定 向Rubbing,印 框Screen Printing,印 點Cross-over Printing,預 烤Pre-Curing,塗 佈Spacer Spray,組 合Glass Assembly,曝 光Exposure,清 洗Clean,清 洗Clean,貼 片Polarizer Assembly,LCD製程流程圖,塗佈光阻劑
2、Photoresist Coating,顯 影Developing,蝕 刻Etching,剝 膜Stripe,配向膜塗佈Polyimide Coating,灌 液LC Injection,定 向Rubbing,印 框Screen Printing,印 點Cross-over Printing,預 烤Pre-Curing,撒 佈Spacer Spray,組 合Glass Assembly,曝 光Exposure,清 洗Clean,貼 片Polarizer Assembly,清 洗Clean,顯 影Developing,蝕 刻Etching,剝 膜Stripe,配向膜塗佈Polyimide Coa
3、ting,灌 液LC Injection,定 向Rubbing,印 框Screen Printing,印 點Cross-over Printing,預 烤Pre-Curing,撒 佈Spacer Spray,組 合Glass Assembly,曝 光Exposure,塗佈光阻劑Photoresist Coating,塗佈光阻劑Photoresist Coating,貼 片Polarizer Assembly,清 洗Clean,塗佈光阻劑Photoresist Coating,顯 影Developing,蝕 刻Etching,剝 膜Stripe,配向膜塗佈Polyimide Coating,灌
4、液LC Injection,定 向Rubbing,印 框Screen Printing,印 點Cross-over Printing,預 烤Pre-Curing,撒 佈Spacer Spray,組 合Glass Assembly,曝 光Exposure,曝 光Exposure,清 洗Clean,塗佈光阻劑Photoresist Coating,蝕 刻Etching,剝 膜Stripe,配向膜塗佈Polyimide Coating,灌 液LC Injection,定 向Rubbing,印 框Screen Printing,印 點Cross-over Printing,預 烤Pre-Curing,
5、撒 佈Spacer Spray,組 合Glass Assembly,曝 光Exposure,顯 影Developing,顯 影Developing,貼 片Polarizer Assembly,清 洗Clean,塗佈光阻劑Photoresist Coating,顯 影Developing,剝 膜Stripe,配向膜塗佈Polyimide Coating,灌 液LC Injection,定 向Rubbing,印 框Screen Printing,印 點Cross-over Printing,預 烤Pre-Curing,撒 佈Spacer Spray,組 合Glass Assembly,曝 光Exp
6、osure,蝕 刻Etching,蝕 刻Etching,貼 片Polarizer Assembly,清 洗Clean,塗佈光阻劑Photoresist Coating,顯 影Developing,蝕 刻Etching,配向膜塗佈Polyimide Coating,灌 液LC Injection,定 向Rubbing,印 框Screen Printing,印 點Cross-over Printing,預 烤Pre-Curing,撒 佈Spacer Spray,組 合Glass Assembly,曝 光Exposure,剝 膜Stripe,剝 膜Stripe,貼 片Polarizer Assemb
7、ly,導電玻璃材料 就是在普通玻璃(不導電)的一個膠面層鍍上透明導電膜的玻璃.目前常用的導電玻璃是氧化銦,氧化錫玻璃,通常簡稱ITO玻璃,在生產過程中,每片玻璃都必經過万用電表檢 測,導電面為ITO正面,不導電面無ITO面為背面.一、ITO玻璃的結构,如圖1,SIO,玻璃,ITO,圖1,二、LCD制造用的ITO導電玻璃規格,玻璃厚度:0.55mm 0.7mm 1.1mm玻璃面積:14*16(或355.6mm*406.4mm)300*350SiO2 阻擋層:200 500A(1 A=10 10米)ITO層厚:250 2000 ASiO2 絕緣層厚:500 1000 A ITO導電玻璃的主要技術透
8、光率8%方塊電阻R R 10、15、30、80 相對R 越小越好 若R 10/膜厚1000 2000 A R 100-300/膜厚200-300 A,ITO玻璃的技術要求,平整度好,一般要求平整度0.5um/20mm机械強度与化學抗蝕性能,ITO層對玻璃(SiO2)表面的粘附力要強,不易脫落,抗划傷強.ITO膜能抗強鹼,但易被酸腐蝕.,光刻膠性能的主要指標.感光度.光刻膠對光敏感的性能.所以說,對于固定光強的曝光机,光刻膠的感光度越高,則曝光時間越短,反之,則差.分辯率.光刻精度的標志.它不僅与光刻膠本身有關.還与光刻工藝條件和操作技術等因素有關.抗蝕性 只是在針孔密度小,粘附性能良好的情況下
9、,才能有較強的抗酸.鹼能力.,接上,粘附力 光刻膠与ITO面之間沾附的牢固程度也直接影響光刻后的精度,光刻膠的沾附力与光膠本身性質有關.而且与玻璃面有密切關系.平整.清洁.干燥.無油質污染的表面有利于光刻膠的粘附.此外.光刻膠的配比,前烘條件,顯影液配方因素有關.,穩定性 光刻膠在常溫和暗房內(黃色光).光刻膠不發生暗反應.針 孔 視其光刻膠膜上針孔形成密度盡可能低,它將直接影響光膠質量.粘度和含固率 光刻膠越濃,粘度就越大,涂膜就越厚,反之.就越薄,因此.我們常采用改變光膠濃度調節粘度,控制膜厚度.例中:光刻細小圖表時,為了提高分辯率,膠層相對薄些故采用濃度較稀的光刻膠.溫度高.固含率低.粘度變小,膜薄,反之則厚.,光刻膠的分類,負性膠 在襯底表面將得到与光刻掩蓋版遮光圖形完全相反的圖形(不适用LCD制造業).正性膠 這种膠在曝光前對某些溶劑是不可溶的,而曝光后就變成可溶性,能与掩模遮光圖形相同的圖案.,接上,此膠分辨率高,邊緣整齊,邊緣陡度好,以及反刻時易對准等优點,較易顯影,常被LCD制造業采用.正性膠經強紫外線照射后,發生光合反應,經光照后的生成物能溶解于弱鹼性水溶液中,而顯示出正圖形.,主要不良影響：,主要不良影響：,主要不良影響：,主要不良影響：,共同進步,
