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1、单晶硅切片操作与技巧,晶棒粘接与砂浆制备,单晶硅切片操作与技巧,切片工艺流程 截断线开方滚磨平面磨粘接多线切割去胶清洗检验入库,粘接工艺要点流程,粘接工艺流程 单晶领用核对单晶号和随工单准备料板和玻璃板清洁料板和玻璃板准备和调整工装配胶粘接玻璃板加压固化检查玻璃板粘接结果清洁晶棒与玻璃板准备和调整工装配胶粘接晶棒加压固化检查晶棒粘接结果,粘接工艺要点主要原辅材料,美国胶：湾泰 AD1339A AD3905B日本胶：Q胶 主剂 固化剂玻璃板、料板、无水乙醇、卫生纸、胶杯等。,粘接工艺要点环境要求,稳定的室温252 保证粘接剂和固化剂的粘度没有大的变化，保证固化时间稳定。较低的湿度65%保证粘接剂
2、和固化剂中的含水率，保证粘接面的干燥。,粘接工艺要点准备料板和玻璃板,平板要求：圆弧直径165mm的晶棒使用的玻璃板要求宽度111mm；圆弧直径150mm的晶棒使用的玻璃板要求宽度860.5mm，圆弧直径156的晶棒使用的玻璃板要求宽度96mm。玻璃要求双面喷砂，粗糙度240，倒角1.5mm。使用前将弯曲变形的玻璃板挑出不用；玻璃平整度小于0.2mm。,粘接工艺要点清洁料板和玻璃板,将料板与基座用酒精擦拭干净后用螺栓紧固在一起（12Nm的力）；再用酒精将料板的粘接面与将要粘接的玻璃板擦拭干净然后彻底干燥。擦拭后不能再用手或其它抹布等物品接触粘接面。擦拭干净的标准为不在擦出黑色杂质为准,粘接工艺
3、要点清洁料板、玻璃板和单晶,单晶的清洁同料板和玻璃板无水乙醇擦拭主要去处水分及灰尘、铁屑等杂质，去油污、胶液等有机物的能力弱。丙酮或石油醚擦拭主要去除油污、胶液等有机物。由于丙酮或石油醚的挥发速率极高，挥发时吸热，使擦拭表面迅速降温，有可能在擦拭表面形成冷凝水。所以在清洁被大量油污或有机物污染的表面时应先用丙酮擦拭去除有机物再用无水乙醇擦拭去除水分。,粘接工艺要点配胶,将主剂及固化剂按照1：1的比例进行混胶。将胶碗放在电子秤上，清零，称重主剂（黑色）15-20g，之后将电子秤清零，然后称重固化剂（白色）15-20g。注意配胶最大误差为0.2g（即称重15g主剂后固化剂的重量为14.8g15.2
4、g）。美国胶的配胶与日本胶相同。,粘接工艺要点粘接玻璃板,将搅拌好的胶涂在玻璃板粘接面上，之后用双手捏住玻璃板两个侧面迅速反转，将涂胶面朝下放在料板上，并且玻璃板外侧边缘靠在粘接工装的定位螺栓上，左右滑动排除空气。用卫生纸蘸酒精将蹭在玻璃板上表面的胶擦除干净，查看玻璃粘胶面是否有气泡。将胶皮垫或卫生纸铺在玻璃板上方。上方放上2块配重块。察看胶是否从玻璃板底下挤出，如果没有挤出胶，需要人工在相应位置施压，将胶挤出。再次将玻璃板外侧边缘与粘接工装的定位螺栓靠齐。记录现在时间为粘接时间。在胶初步固化之前将流到料板侧面的胶清理干净。在胶初步固化之后取下压在玻璃板上的重物，将料板搬走待彻底固化。,粘接工
5、艺要点粘接晶棒,将已经固化完毕的单晶托搬到粘接工装上，检查确认粘好的玻璃板与料板之间没有缝隙和脱胶的现象，用刀片划固化的胶，感觉坚硬，不柔软，玻璃板上无气泡，定为合格品。用直尺量出晶体最短的一面定为粘接面。用纸胶带在贴在玻璃和晶体倒角下方，用酒精将玻璃和晶体粘接面清洁干净，并充分干燥。配胶混胶用铲子将胶均匀的平抹在单晶粘接面上。将清洁过的单晶粘接面朝下，轻放在玻璃板上，外侧面与定位螺栓靠齐，单晶靠近把手的断面与晶托边缘对齐，在用清洁布蘸酒精或丙酮将蹭在单晶除粘接面以外部位的胶擦除干净。,粘接工艺要点粘接晶棒,将胶皮垫铺在单晶上方。取1块配重块压在胶皮垫上。察看胶是否从单晶下方挤出，如果没有挤出
6、胶，需要人工在相应位置施压，将胶挤出。观察胶水在玻璃表面是否平整。再次将单晶外侧面与粘接工装的定位螺栓靠齐。记录现在时间为粘接时间，记录平板编号。在胶初步固化前揭掉玻璃板侧面和单晶周边的纸胶带。在胶初步固化后可以取下压在单晶上的重物，擦除多余的胶，将粘好的整个部分搬走待彻底固化,粘接单晶注意事项,使用日本胶时配胶时搅拌30秒，之后涂胶必须在1分钟内操作完毕，否则取下玻璃板、单晶，擦拭干净料板和单晶重新配胶粘接。使用美国胶配胶时搅拌1分钟，之后必须在10分钟内操作完毕，否则取下玻璃板、单晶，擦拭干净料板和单晶重新配胶粘接。注意配胶搅拌要完全搅拌充分、均匀，目测搅拌后的胶液及胶杯边缘、搅拌刀上的胶
7、液呈现深灰色（日本Q胶）或淡紫色（美国胶），粘接20分钟至1小时内不要移动玻璃板或者单晶、单晶托，以免脱胶。配粘接剂AD1339A：AD3905B=1：1（重量比）或主剂：固化剂=1：1（重量比），误差小于0.2g。粘接单晶时，单晶要与靠近单晶托手柄的一侧在玻璃板上留出5毫米的距离方便线切割工序对刀。粘接后的胶不能接触水，不能加热，少搬动，避免碰击，滞留时间不要超过3天胶的初步固化时间为20分钟，撕胶带时间为粘接后10-15分钟。,砂浆制备流程,准备原辅材料准备悬浮液向砂浆缸内抽入悬浮液按照比例和入SiC砂持续搅拌测量密度继续搅拌抽入线切割机的砂浆缸。,砂浆制备原辅材料,悬浮液（切割液、冷却液
8、）聚乙二醇PEGSiC砂（研磨剂）绿碳化硅,砂浆制备原辅材料,聚乙二醇作为悬浮液使SiC砂在切削过程中分散均匀。聚乙二醇作为冷却剂可及时带走切削过程中产生的巨大的摩擦热和破碎颗粒。,砂浆制备原辅材料,聚乙二醇的性质：相对密度：液体1.1271.128g/cm3粘度：4.310.510-6m2/s聚乙二醇（PEG）具有很强的吸水性，在常温 条件下可从空气中吸收水分液体可与水任意比例混溶,砂浆制备原辅材料,用于切割液的聚乙二醇（PEG）分子量通常为 200-400这一级别的PEG具有适宜的粘度指标有良好的流动性对碳化硅微粉具有良好的分散稳定性带砂能力强,砂浆制备原辅材料,SiC的性质：硬度介于刚玉
9、和金刚石之间，机械强度高于刚玉；因所含杂质的种类和含量不同，而呈浅 黄、绿、蓝乃至黑色，透明度随其纯度不同 而异；碳化硅有黑碳化硅和绿碳化硅两个常用的基本品种绿碳化硅自锐性好,砂浆制备原辅材料,SiC在切割中的作用切削介质：在切割过程中，通过钢线带动使碳化硅微粉颗粒持续快速冲击硅棒表面，利用碳化硅颗粒的坚硬特性和锋利菱角将硅棒逐步截断。,砂浆制备原辅材料,砂浆制备环境要求,稳定的室温252 保证聚乙二醇悬浮液的粘密度没有变化。较低的湿度65%保证聚乙二醇悬浮液的含水率；保证碳化硅砂的干燥。,砂浆制备原辅材料准备,将SiC砂置入烘干箱架子上，打开袋子封口，设定温度70，烘干8小时以上，以手抓握后
10、的砂依然松散为准来检查烘干质量；配制砂浆时，应将砂浆缸清洗干净，保证缸内无沉淀SiC及残余水分；使用计量叉车，按其指示牌指示的刻度向砂浆缸中抽取悬浮液。,砂浆制备搅拌过程,切断烘干箱电源，取出要使用的SiC砂，使SiC温度降至室温。注意在取出后，应及时补充未烘干过的SiC砂进烘箱以保证下次使用。按悬浮液：碳化硅=1L：1.1Kg或重量比1：1，将SiC以均匀的速度缓慢的倒入缸内（约10-15分钟/袋，每袋之间间隔10分钟），混合均匀然后再继续搅拌，并观察计量叉车标示的位置是否相符。将混合好的砂浆连续搅拌6小时或以上。其密度必须保持在1.625-1.635kg/l，否则继续添加砂或悬浮液达到目标
11、值；在砂浆的混合和搅拌过程中要绝对避免水和其它液体与固体颗粒进入砂浆内，砂浆混合完毕后，砂浆缸盖盖保存；,砂浆制备注意事项,砂浆一旦开始配制，必须保持持续不断的搅拌，以免砂子沉淀。砂浆配制过程中严防异物进入。操作人员应按规定穿戴防护用品。维护与保持室内环境温度、湿度和洁净度。混合好的砂浆至少连续搅拌6小时以上才可使用。砂浆一旦中途停止搅拌，必须在半小时之内恢复搅拌，否则底部的砂浆开始沉淀、接团，将严重影响切割质量。如果半小时没有恢复搅拌，则此缸砂浆报废，重新制备。,砂浆制备注意事项,聚乙二醇悬浮液在其他工业通常用做除水剂。其可与水以任意比互溶，吸水能力极强。过高的含水率（一般认为砂浆含水率应1%）会严重影响SiC砂在悬浮液中的悬浮性，使砂子结团或者沉淀，严重影响切割质量，产生线痕。砂浆制备过程及持续搅拌时要坚决避免与水的接触。,感谢各位！,有研硅股于晋京,
