声学扫描显微镜.ppt_三一办公31ppt.com

2、观测。仪器类别：03040701/仪器仪表/光学仪器/电子光学及离子光学仪器/透射式电子显微镜指标信息：加速电压：1000kV 放大倍数：150倍30万倍晶格分辨率：0.27nm 选区衍射相机长：26m 试样可加热温度：1000 附件信息：加热台（室温-1000），拉伸台加伸台（室温-1000），动态过程摄象录象系统。双倾台（45该仪器是我国最大型的透射电子显微镜，它主要用于各种材料的微结构分析，组织特征和相鉴定，缺陷研究等。与普通电子显微镜相比较，它可以进行微观过程的动态实验观察、辐照效应研究、厚试样和粗大析出物的观察分析以及半导体微器件结构研究。同时，本实验室样品制备、数据结果处理等附属

3、设备齐全，为科研实验创造了良好条件。,透射电子显微镜,JEM-2010F透射电镜在光学显微镜下无法看清小于0.2m的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。,扫描电子显微镜,扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散

4、射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动（声子）、电子振荡（等离子体）。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场,场离子显微镜,场离子显微镜是最早达到原子分辨率，也就是最早能看得到原子尺度的显微镜。只是要用FIM看像，样品得先处理成针状，针的末端曲率半径约在2001000埃。工作时首先将容器抽到1.3310-6Pa的真空度，然后通入压力约1.3310-1Pa的成像气体例如惰性气体氦。在样品加上足够高的电压时，气体原子发生极化和电离，荧光屏上即可显

5、示尖端表层原子的清晰图像，图象中每一个亮点都是单个原子的像。超声扫描显微镜全球最新一代的超声测试设备,可在生产线中用手工扫描方法来检测器件的缺陷等。该设备可利用不同材料对超声波声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度不同，来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析。先进的声学显微成像（AMI）的技术是诸多行业领域在各类样品中检查和寻找瑕疵的重要手段。在检查材料本身或粘结层之间必须保持完整的样品时，这项技术的优势尤为突出。超高频超声检查可以比其他任何方法都更有效地检测出脱层，裂缝，空洞和孔隙。,扫描声学显微镜,声学扫描显微镜(SAM)是一种多功能、高分辨率的显微成像仪器，兼具电子显微术高分辨

6、率和声学显微术非破坏性内部成像的特点,被广泛的应用在物料检测（IQC）、失效分析（FA）、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域，可以检测材料内部的晶格结构、杂质颗粒、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡、空隙等，为司法鉴定提供客观公正的微观依据。,BACK,扫描声学显微镜的原理,一、引言扫描声学显微镜(ScanNIng Acoustic Microscope，简称SAM)测试技术是一种新型的测试技术。其主要特点为:它有一个所谓“表层能力”，即声透镜使超声波在样品表面及内部聚焦，并利用测量点的反射回波进行成像，因而能观察光学不透明材料的表层组织;扫描声学显微镜所产生

7、的图像反映了样品的材料力学参量，如刚度、粘度、韧度、密度、形貌等，由于是超声测量，扫描声学显微镜对绝大多数样品是无损害的，甚至活细胞也能够无明显损害而被检验。声学显微镜的无损检测特性，使其在材料检测中具有十分重要的意义。由于扫描声学显微镜的以上特征.使其在材料科学、电子科学、机械工程及生物科学方面具有广泛的应用价值。用声波显微成像的设想最早是由苏联学者于30年代中期提出的，由于技术原因，该设想长期未能实现。70年代中期，美国斯坦福(Stanford)大学的Quate教授和他的合作者研制成功了世界上第一台扫描声学显微镜。如今，西德、美国、日本等国已生产出扫描声学显微镜商品，工作频率范围在50MH

8、Z-2GHz之间，分辨率为0.5wm-20wm范围。在50MHz-400MHz频率范围内工作的设备属于低频扫描声学显微镜，主要用于观察材料内部;而在0.8 GHz-2.O GHz频率范围内工作的设备属于高频扫描声学显微镜，可以高分辨率地观察表面及亚表层状况。目前，美国斯坦福大学已获得了工作频率为SGHZ、分辨为200人的扫描声学显微镜的研究成果，正试图研制工作频率为100GHz、分辨率为50人的声学显微镜，一旦此研究获得成功，将使声学显微技术产生一个飞跃。,扫描声学显微镜基本原理,扫描声学显微镜是一种集声学、电子、机械、计算机等技术为一体的高科技产品，有透射型和反射型两种，透射型只能观察很薄的

9、试件，对样品制备有一定要求。而反射型的优点是试件厚度不受限制，因而有着更为广泛的应用领域，目前可购买到的扫描声学显微镜商品为反射型。反射式扫描声学显微镜原理如图所示。,微波信号源输出连续微波信号，经脉冲调制器形成脉冲调制微波信号，该微波信号通过环行器加到压电换能器上，使高脉冲信号转化为声脉冲，这些超声脉冲经声学透镜的凹端聚焦，并通过藕合介质，投射在样品的表面上，激励样品表面产生表面波。由于声束受到样品的反射、散射和吸收，声波从样品表面返回到压电晶体换能器，并被转换成电信号，通过对该电信号放大、检波、采样、送入计算机处理，可以得到一个象素;随着声束在样品表面上二维(Xy方向)扫描，即可得到一幅完

10、整的声图象。图像上每个信号的灰值，反映了样品相应部分反射信号的强度。同时在垂直于样品方向上(Z方向)移动探头，改变声波在样品内的聚焦位置，就可得到样品内部的声图像。测得的信号电压V)取决于透镜的聚焦性能和焦点材料的物理一机械性能。扫描声学显微镜的核心部分是声学透镜。为了降低声学衰减，透镜体选用高纯材料蓝宝石制成，同时，蓝宝石还是一种高声速晶体，该性质能够有效地减少像差。在透镜体的下端呈凹球面，凹球面尺寸取决于工作频率。当换能器发射平面声波时，由于凹球面的折射，声波聚焦。在蓝宝石透镜体的顶部经抛光后，安装了一个氧化锌压电换能器，其作用是将电振荡与声振荡相互转换。,由于空气对高频声波具有极大的衰减

11、作用，因此声透镜与试件之间是通过祸合介质来连接的。对藕合介质的要求主要有三:一是对声波的衰减尽量小。二是声波在其中的传播速度尽量慢，以获得最低的衍射限制，从而提高分辨率。三是报合介质应具备合适的粘度和湿润能力。研究结果表明，在常温下，蒸馏水是合适的报合介质，且在测试时将水温适当升高，声波衰减特性可得到改善。低温藕合介质(液氮、液氮)有着更优的性能，但受使用条件的限制，目前全世界只有几个大学实验室能够使用低温藕合介质。声学显微镜的分辨率主要决定于焦点处的波长，而波长又受制于声速及声波频率。频率越高，分辨率就越高。另外，扫描声学显微镜的入射波和反射波都聚焦在样品的同一点上，这使显微镜提高了深度鉴别

12、能力并有助于消除聚焦外面的反射。在应用电子反差增强技术后，显微镜的分辨率可提高到稍优于工作波长的水平。当用热水作藕合介质在2 GHz频率工作时，实用分辨率可达0.65yAm左右。,声学显微镜的穿透能力基本上取决于声波频率和样品材料。频率越低，穿透深度就越深。例如，当工作频率为2 GHz时，声波可贯穿样品表面以下0.5-2.5m的深度范围，而当工作频率为2 5 OMHz时，其穿透能力则可能达到250um左右。,BACK,声扫描显微镜的性能及在材料科学中应用（以超声波扫描显微镜C-SAM为例）,以下为C-SAM的一些说明近年来，超声波扫描显微镜（C-SAM）已被成功地应用在电子工业，尤其是封装技术

13、研究及实验室之中。由于超音波具有不用拆除组件外部封装之非破坏性检测能力，故C-SAM可以有效的检出IC构装中因水气或热能所造成的破坏如脱层、气孔及裂缝等。超声波在行经介质时，若遇到不同密度或弹性系数之物质时，即会产生反射回波。而此种反射回波强度会因材料密度不同而有所差异.C-SAM即最利用此特性来检出材料内部的缺陷并依所接收之讯号变化将之成像。因此，只要被检测的IC上表面或内部芯片构装材料的接口有脱层、气孔、裂缝等缺陷时，即可由C-SAM影像得知缺陷之相对位置。,声扫描显微镜下的缺陷,C-SAM的服务,超声波扫描显微镜(C-SAM)主要使用于封装内部结构的分析，因为它能提供IC封装因水气或热能

14、所造成破坏分析，例如裂缝、空洞和脱层。C-SAM内部造影原理为电能经由聚焦转换镜产生超声波触击在待测物品上，将声波在不同接口上反射或穿透讯号接收后影像处理，再以影像及讯号加以分析。C-SAM可以在不需破坏封装的情况下探测到脱层、空洞和裂缝，且拥有类似X-Ray的穿透功能，并可以找出问题发生的位置和提供接口数据，是互补的两种设备,主要应用范围,晶元面处脱层锡球、晶元、或填胶中之裂缝晶元倾斜各种可能之孔洞（晶元接合面、锡球、填胶等）覆晶构装之分析非破坏性材料内部结构测试广泛应用于半导体工业，材料测试，生命科学等领域,视觉效果定量分析自动控制,3D形貌再现同时观察多个层面显示样品的机械性能

15、（硬度，密度，压力等）实时超声波飞时图表（A-Scan）纵向截面图像（B-Scan）XY图像（C-Scan,D-Scan,自动扫描,多层扫描）第二个监视器便于图像的观察和操作柱状图显示长度测量膜厚测量多方式图像处理,超声波传输时间测量无损伤深度测量数字信号分析相位测量自动XYZ扫描自动存储仪器参数运用分层运算方法进行自动失效鉴别自动滤波参数设置换能器自动聚焦高分辨率下自动进行高速扫描,KSI v-400E 性能参数,频率范围：1550MHz 换能器选择：5400MHz 扫描范围：0.200.20mm400400mm 扫描速度：2000mm/秒扫描机构分辨率：0.1m

16、扫描模式：A,B,C,D,G,X,3D 最小门限时间1ns FFT(快速傅里叶变换）阻抗测量，伪彩色表示图像输出可保存为BMP及SAM格式仪器尺寸：20065130cm,在材料科学中的应用,声波在固体中传播，呈现出不同的声能传播类型。除了常见的体声波(纵波和剪切波)外，声表面波(SAW)同样存在于许多材料之中。声波的不同类型以复杂的方式与材料的弹性特征相互作用，从而产生了携带大童信息的反差。在声显微术中，这些信息可从下述四个方面获得，通过分析可以得到大量的所需材料特征。,1.表层成像,在这种模式中，体声波透入样品并在样品内部折射而聚焦.因此，表层的特征能导致反射，从而在所形成材料工程的图象

17、中产生相应的反差以反映所检测的表层状况。,扫描声学显微镜的表层成像能力使其可应用于检查样品表面下夹杂物，检验复合材料粘合质童，检验半导体组件中的晶片与其散热片的结合质量等方面。扫描声学显微镜还可以观察集成电路表层及亚表层结构，从而可以检测出集成电路中存在的细微缺陷，如裂纹、杂质、脱层等。,电路板成像,2.阻抗成像,介质的声学阻抗被表示为声速与密度的乘积(Z=CP)，当声波入射于两种介质界面时，按反射系数产生反射:R=CZz一Zi)/CZz-ZO(此处Z:和Zz是两种介质的声阻抗)，反射功率为R的平方。当显微镜聚焦于表面时，阻抗的变化将表现为反差的变化。因此，聚合物及其复合材料的组成能用声学法测

18、出，因为图象反差的变化与声学阻抗的变化相对应，因而也就与密度和模蚤的变化相对应。阻抗成像形式适用于如聚合物类的低密度材料。例如，这种成像方式能用于区分两相聚合物间的界面。阻抗成像也适用于半导体加工中的光刻胶残余量的检查，这是因为光刻胶的声阻抗大大低于硅或氧化物，因而其表现出声反射的减少。,阻抗成像方式不适用于高密度材料(大部分金属、陶瓷和半导体)中的阻抗变化成像。如果Zz;Zi，反射系数R的变化不明显，R接近于1。在这种情况下，可以采用声表面波(SAW)成像模式。,陶瓷镀层成像,3.声衰面波成像,当一束平面声纵波以一个临界入射角(式中Cw和Cx分别为藕合液及表面声波的速度)通过藕合液投射到固体

19、样品的表面时，就会产生有泄漏的Rayleigh波，即Rayleigh波在沿材料表面传播的同时，将不断向藕合液中以纵波的形式辐射声波，而且所辐射的声纵波的方向同表面的法线也成0a角。有泄漏的Rayleigh波是纵波及横波的混合波，它离开表面后按指数规律衰减。当满足共焦条件时，泄漏Rayleigh波被透镜体上的换能器所接收并激励起电压。Rayleigh波的传播对弹性变化非常灵敏，这就使得图像反差得以提高。通过改变透镜相对于样品的位置，可以获得较优的图像反差。,因此，材料的晶粒组织及结晶学取向的图像在无需侵蚀试样表面的条件下即可获得。这些材料可以是光学各向同性或各向异性的，当侵蚀表面(揭示这些结构的

20、标准技术)是困难的、太费时的或不可能时，这项能力就显得尤为重要。由于表面裂纹能极大地影响Rayleigh波传播特征，因此，声学显微镜是探测裂纹的灵敏技术。可以探测到多么细的裂纹是没有限制的。通过对扫描声学显微镜和扫描电子显微镜的对比试验表明，只要表面间出现原子大小的分离，声图像即会出现较强的反差。,铬合金表面,铬合金内表面,4.V(Z)曲经分析及应用,扫描声学显微镜除了显微成像一大功能外，另一功能就是测试V(Z)曲线。当声透镜的聚焦声束在样品内部沿垂直于样品表面方向上(Z)向的不同位置时，换能器的输出电压不同。输出电压V与焦点坐标Z的函数关系称之为V(Z),V(Z)曲线对可激发Rayleigh

21、波的材料有重要意义，V(Z)曲线的周期性受材料特征所致，并且是反射波和Rayleigh波间干涉的结果。V(Z)曲线的周期由下式表达:式中是在水中的波长，饭为Reyleigh角。由前述可知，饭与材料的Rayleigh波速度Ca有关。因此，由V(Z)曲线，我们能够确定表面波的速度及衰减。,这就提供了一种在微小区域内辨识材料的手段，它既能用来测不同材料的祥品，也可以用来发现同一样品上各点材料性质的不同。此外，由于表面上存在薄膜时会改变Rayleigh波的速度，因而这种方法又是无损地测量薄膜性质或其厚度的一种手段。V(Z)曲线的另一个重要应用研究内容是它决定着所得到的声显微图像的对比度。通过对V(Z)

22、曲线的分析，可以调整透镜位置来使得到的声显微图像有最满意的对比度。,金属表面镀层附着物,结束语,扫描声学显微镜是提供材料信息的一种非常有用的检测工具，它无需复杂的样品制备，就可无损地对材料表面及表层内部成像而进行显微分析，它能独具特色地提供材料内部结构及材料力学参数等重要材料性能参数。声学显微镜的出现，弥补了其他现有微观测试手段(如光学显微镜，扫描电子显微镜)的不足，从而使人们获得了研究认识物质结构的有力工具。可以预料，声学显微镜在材料科学研究中将会得到越来越广泛的应用，声学显微镜，光学显微镜、扫描电子显微镜及其他材料微观检测手段的综合应用，将使材料科学的研究进入一个新时代,谢谢大家,2013年6月1日,

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